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《氮化鎵(GaN)襯底晶片實現(xiàn)國產(chǎn) 蘇州納維的2英寸氮化鎵名列第一.doc》由會員上傳分享,免費(fèi)在線閱讀,更多相關(guān)內(nèi)容在學(xué)術(shù)論文-天天文庫。
1、氮化鎵(GaN)襯底晶片實現(xiàn)國產(chǎn)蘇州納維的2英寸氮化鎵名列第一 氮化鎵單晶材料生長難度非常大,蘇州納維的2英寸氮化鎵名列第一。真正的實現(xiàn)了“中國造”的氮化鎵襯底晶片。氮化物半導(dǎo)體的產(chǎn)業(yè)發(fā)展非???,同樣也是氮化物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展不可或缺的要素?! ∫幻犊此撇黄鹧?、“又輕又薄”的晶片,卻能做出高功率密度、高效率、寬頻譜、長壽命的器件,是理論上電光、光電轉(zhuǎn)換效率最高的材料體系。這個“小身體大能量”的晶片叫作氮化鎵(GaN)襯底晶片,是蘇州納維科技有限公司(以下簡稱蘇州納維)的主打產(chǎn)品。 “不會游泳的時候就跳下了水” 蘇州納維依托中科院蘇州納米所而建。作
2、為中國首家氮化鎵襯底晶片供應(yīng)商,團(tuán)隊從氮化鎵單晶材料氣相生長的設(shè)備開始研發(fā),逐步研發(fā)成功1英寸、2英寸、4英寸、6英寸氮化鎵單晶材料,實現(xiàn)了氮化鎵單晶材料生長的n型摻雜、補(bǔ)償摻雜,研制出高電導(dǎo)率的和半絕緣的氮化鎵單晶。 中科院蘇州納米所所長特別助理、蘇州納米所測試分析平臺中心主任、蘇州納維董事長徐科對記者說:“通過10年努力,我們在氮化鎵晶體結(jié)晶質(zhì)量與塊體材料電子遷移率等綜合指標(biāo)方面均步入國際第一方陣,2英寸氮化鎵產(chǎn)品開始批量生產(chǎn)銷售,2017年在國際上率先推出4英寸氮化鎵單晶襯底,用戶覆蓋了國內(nèi)外80%以上的研發(fā)機(jī)構(gòu)和企業(yè)?!薄 ‖F(xiàn)在公司的發(fā)展蒸
3、蒸日上,而回想起自己剛剛“下?!遍_始做科研成果轉(zhuǎn)化時的情景,徐科直言“不會游泳的時候就跳下了水”?! ⌒炜茝?995年開始做氮化鎵材料生長研究,2004年回國后曾任教于北京大學(xué)物理學(xué)院。他說:“當(dāng)我回國的時候,氮化物半導(dǎo)體的產(chǎn)業(yè)發(fā)展非???,當(dāng)時回來的定位就是瞄準(zhǔn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展瓶頸選擇方向?!薄 {著精準(zhǔn)的觸覺和創(chuàng)業(yè)的夢想,徐科毅然辭去北京大學(xué)的職務(wù)來到蘇州,成為最早加入蘇州納米所的幾個研究員之一。“氮化鎵單晶材料生長難度非常大,那個時候國際上只有少數(shù)幾個大的企業(yè)能夠拿出樣品,只有日本住友能夠提供產(chǎn)品,我們一開始也沒有絕對的信心一定能夠研發(fā)成功?!毙炜普f?!?/p>
4、 作為蘇州納米所開始籌建后成立的第一家產(chǎn)業(yè)化公司,所長楊輝當(dāng)時非常關(guān)心公司的研究進(jìn)度,經(jīng)常在上下班路過實驗室的時候與研發(fā)人員討論問題?! 皠?chuàng)業(yè)公司的一個研發(fā)問題,最好能夠在三個月內(nèi)解決,否則會影響士氣?!毙炜浦两穸加浀脳钶x對他說的這句話。在研發(fā)過程中,他們也這樣實踐著?! ⌒炜普f:“遇到問題就集中攻關(guān),經(jīng)常就一個問題討論到凌晨三四點鐘,終于花了不到三年的時間,我們拿出了第一片完整的2英寸氮化鎵單晶材料。”一鼓作氣、敢于攻堅克難逐漸成為蘇州納維員工的做事風(fēng)格。集中攻關(guān)推進(jìn)產(chǎn)業(yè)化 從成立至今,蘇州納維已經(jīng)走過10個年頭。徐科說:“在創(chuàng)業(yè)的前兩年,我們
5、經(jīng)歷了一個熱血沸騰、感到無所不能的階段。當(dāng)時有資金、有精力、有想法,認(rèn)為辦法總比困難多?!薄 赡曛?,當(dāng)研發(fā)進(jìn)入實質(zhì)性的技術(shù)攻堅階段,他們卻發(fā)現(xiàn)“困難總比想法多”?!耙环矫媸菍Φ壣L的很多基礎(chǔ)科學(xué)問題理解得還不夠,另一方面是一些看似簡單的工藝過程,很難穩(wěn)定實現(xiàn),或者發(fā)現(xiàn)實現(xiàn)的成本太高,無法在生產(chǎn)中應(yīng)用。不僅如此,我們還有一些‘按下葫蘆浮起瓢’的問題,解決了這個問題,卻引出后道工藝的其他新問題?!毙炜聘嬖V記者。 從第一個樣品到用戶愿意試用的產(chǎn)品階段,往往是科技成果轉(zhuǎn)化的“死亡之谷”。這個階段里,很多的細(xì)微技術(shù)環(huán)節(jié)要不斷地改進(jìn)和優(yōu)化,需要大量的設(shè)
6、備、人力和資金投入,研發(fā)模式完全不同于一般的科學(xué)研究,資金需求量也與前期研發(fā)有數(shù)量級的差別,這也是很多科研人員出身的創(chuàng)業(yè)者不擅長的階段?! 斑@個階段我們花了6年時間,曾多次面臨資金鏈斷裂?!毙炜铺寡裕安贿^我們非常幸運(yùn),從早期的蘇州工業(yè)園區(qū)領(lǐng)軍人才項目、蘇州市姑蘇人才項目、江蘇省重大科技成果轉(zhuǎn)化項目,到科技部的‘863’項目、中科院的STS項目、發(fā)改委的戰(zhàn)略性新型信息材料產(chǎn)業(yè)化項目,一路支持下來,每次都救我們于水深火熱之中,終于熬到了有銷售收入、風(fēng)險投資機(jī)構(gòu)能夠看得上并愿意投資的階段?!薄 τ诋?dāng)前的蘇州納維,公司主要精力集中在提升良率、降低成本、
7、提升產(chǎn)能、提高客戶服務(wù)能力上。徐科說:“我們的產(chǎn)品在技術(shù)水平上已經(jīng)站到了國際先進(jìn)行列,2016年12月美國加州大學(xué)研究組在《應(yīng)用物理》雜志(JournalofAppliedPhysics)上公開評價了國際上2英寸氮化鎵單晶產(chǎn)品的質(zhì)量,蘇州納維的2英寸氮化鎵名列第一?!薄 ‰m然產(chǎn)品已經(jīng)逐步走向成熟,但氮化鎵單晶襯底的價格仍然很高,全球企業(yè)用戶數(shù)量有限,企業(yè)級客戶主要被日本的住友和古河機(jī)械壟斷。徐科說:“現(xiàn)在我們的主要客戶在研發(fā)市場,大概占領(lǐng)了國內(nèi)研發(fā)市場的60%左右、國際研發(fā)市場的10%左右。2016年公司開始逐步進(jìn)入企業(yè)客戶的試用階段,預(yù)計2020年
8、能夠獲得20%左右的企業(yè)客戶市場份額?!薄 ∧壳肮居脩魯?shù)量有300多家,基本上包括了國際上所有的氮化鎵單晶