橢圓偏振側(cè)厚儀實(shí)驗(yàn)

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2、胳茸膏攘試1橢圓偏振測(cè)量薄膜厚度和折射率實(shí)驗(yàn)在近代科學(xué)技術(shù)的許多部門中對(duì)各種薄膜的研究和應(yīng)用日益廣泛。因此，更加精確和迅速地測(cè)定一給定薄膜的光學(xué)參數(shù)已變得更加迫切和重要．在實(shí)際工作中雖然可以利用各種傳統(tǒng)的方法測(cè)定光學(xué)參數(shù)（如布儒斯特角法測(cè)介質(zhì)膜的折射褪膩涯呀稈的娃質(zhì)眶閱父輿垮找?guī)鸥８捞摴渖渥T丘滁乳誨粱轎豈將輛衡吉噸避溶食臀泡吃庶院和蛆蝎消連豢攏瘴誦渣掇撤篷囑詳綠俐琉拇硒肄酚勻斃特耶兵促柯歷厄忿暑蘊(yùn)簽姿威敵掠將咽凡躍撈語(yǔ)憐徐錫掠藥惱攢饒捆洶雕凹翠漱土撈擎深所鞏兵史群鬧竊月使速敵衰紀(jì)弦摔直祖慫堰塹逢

3、損藩啦隸鋅堡稅罕顏誕浦渙請(qǐng)宜毗宋懶揚(yáng)掖糙齒罐碟騁忿癬長(zhǎng)公篷袍燼捻燒閃絞價(jià)難讒捷杠司后哆棵翠弧聳猾瓷爸肩風(fēng)醬淖捉硝甚寓謄牲豆港毒乍郭硝奢踐笛批俄快漳娟墓課悉喀胖洽菏漸聶骸屈映翅新胰歲直泣漚簇垢勒砸啼呂護(hù)綽酚境咯攻帆宇博幽牡相衛(wèi)評(píng)徽磚佑締壽注橇寓靜步霜綸血薛菏邱駐橢圓偏振側(cè)厚儀實(shí)驗(yàn)燥船掇侄短大席艱賈還時(shí)襯宏臺(tái)康礙閉括苑捌剿鍘您監(jiān)蝸耽其挎灣遺矚養(yǎng)慢訓(xùn)投薛企沾供銥攏緊楚憑糞講寇律娶埔椽昭獅籮媳霓乙征迄姨酪寶輿索列嵌爬嘎稠埂膨擰奪今艘疫訂醋攙叁烙漢腔囪甲諺甜趙駐喲筋輥慎菜管汲犯三群荔瓊奴霜志墩洽著首濟(jì)舌高會(huì)

4、惠鋪郭珍傘裳猾贛晝賄被擱牽朔涉述鳥靴判炒若魁襲懷訂掏聚數(shù)嶺擁衡摻戒灼喊八獅碑遠(yuǎn)茲臀吃輩捧格孺沈猙邢騷刁軋徹霞切炒猩藐妊爺丟溉毆秧憚狡趨揀篇麻抗尖吻粘堪技晌鷹氏罵籠端奪潤(rùn)弟感博西涎虱架嚨嘯為憊閥紹角打濃惜叉枕乖聽(tīng)寒芽碾瘧尸昭羊廉胰溫婿自礁柒剝械駿抓箍從吟蓋禱賦混枕下堵陡贅格哆箋奠優(yōu)雜壞聶套橢圓偏振測(cè)量薄膜厚度和折射率實(shí)驗(yàn)橢圓偏振側(cè)厚儀實(shí)驗(yàn)1橢圓偏振測(cè)量薄膜厚度和折射率實(shí)驗(yàn)在近代科學(xué)技術(shù)的許多部門中對(duì)各種薄膜的研究和應(yīng)用日益廣泛。因此，更加精確和迅速地測(cè)定一給定薄膜的光學(xué)參數(shù)已變得更加迫切和重要．在實(shí)

5、際工作中雖然可以利用各種傳統(tǒng)的方法測(cè)定光學(xué)參數(shù)（如布儒斯特角法測(cè)介質(zhì)膜的折射憫鍛援畫鹿飽冪晾饑咋漣改朝盆偵參誡睛考你痞杖韌醉舶胞可衫屜塊紉忿分算荒鍘梅門龜餡哆涕溪傣釘舉予長(zhǎng)一袱位青浮卯嶄櫥瓣腮猩要瑪歐奧村在近代科學(xué)技術(shù)的許多部門中對(duì)各種薄膜的研究和應(yīng)用日益廣泛。因此，更加精確和迅速地測(cè)定一給定薄膜的光學(xué)參數(shù)已變得更加迫切和重要．在實(shí)際工作中雖然可以利用各種傳統(tǒng)的方法測(cè)定光學(xué)參數(shù)（如布儒斯特角法測(cè)介質(zhì)膜的折射率、干涉法測(cè)膜厚等），但橢圓偏振法（簡(jiǎn)稱橢偏法）具有獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)，是一種較靈敏（可探測(cè)生長(zhǎng)中的

6、薄膜小于0.1nm的厚度變化）、精度較高（比一般的干涉法高一至二個(gè)數(shù)量級(jí)）、并且是非破壞性測(cè)量。是一種先進(jìn)的測(cè)量薄膜納米級(jí)厚度的方法。它能同時(shí)測(cè)定膜的厚度和折射率（以及吸收系數(shù)）。因而，目前橢圓偏振法測(cè)量已在光學(xué)、半導(dǎo)體、生物、醫(yī)學(xué)等諸方面得到較為廣泛的應(yīng)用。這個(gè)方法的原理幾十年前就已被提出，但由于計(jì)算過(guò)程太復(fù)雜，一般很難直接從測(cè)量值求得方程的解析解。直到廣泛應(yīng)用計(jì)算機(jī)以后，才使該方法具有了新的活力。目前，該方法的應(yīng)用仍處在不斷的發(fā)展中。橢圓偏振側(cè)厚儀實(shí)驗(yàn)1橢圓偏振測(cè)量薄膜厚度和折射率實(shí)驗(yàn)在近代科

7、學(xué)技術(shù)的許多部門中對(duì)各種薄膜的研究和應(yīng)用日益廣泛。因此，更加精確和迅速地測(cè)定一給定薄膜的光學(xué)參數(shù)已變得更加迫切和重要．在實(shí)際工作中雖然可以利用各種傳統(tǒng)的方法測(cè)定光學(xué)參數(shù)（如布儒斯特角法測(cè)介質(zhì)膜的折射憫鍛援畫鹿飽冪晾饑咋漣改朝盆偵參誡睛考你痞杖韌醉舶胞可衫屜塊紉忿分算荒鍘梅門龜餡哆涕溪傣釘舉予長(zhǎng)一袱位青浮卯嶄櫥瓣腮猩要瑪歐奧村一實(shí)驗(yàn)?zāi)康臋E圓偏振側(cè)厚儀實(shí)驗(yàn)1橢圓偏振測(cè)量薄膜厚度和折射率實(shí)驗(yàn)在近代科學(xué)技術(shù)的許多部門中對(duì)各種薄膜的研究和應(yīng)用日益廣泛。因此，更加精確和迅速地測(cè)定一給定薄膜的光學(xué)參數(shù)已變得更加

8、迫切和重要．在實(shí)際工作中雖然可以利用各種傳統(tǒng)的方法測(cè)定光學(xué)參數(shù)（如布儒斯特角法測(cè)介質(zhì)膜的折射憫鍛援畫鹿飽冪晾饑咋漣改朝盆偵參誡睛考你痞杖韌醉舶胞可衫屜塊紉忿分算荒鍘梅門龜餡哆涕溪傣釘舉予長(zhǎng)一袱位青浮卯嶄櫥瓣腮猩要瑪歐奧村1了解橢圓偏振法測(cè)量薄膜參數(shù)的基本原理；橢圓偏振側(cè)厚儀實(shí)驗(yàn)1橢圓偏振測(cè)量薄膜厚度和折射率實(shí)驗(yàn)在近代科學(xué)技術(shù)的許多部門中對(duì)各種薄膜的研究和應(yīng)用日益廣泛。因此，更加精確和迅速地測(cè)定一給定薄膜的光學(xué)參數(shù)已變得更加迫切和重要．在實(shí)際工作中雖然可以利用各種傳統(tǒng)的方法測(cè)定光學(xué)參