《驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)》word版

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1、驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)1.測試項(xiàng)目：(A).無塵室之性能測試與驗(yàn)證，除按照下述要求外，若有遺漏不詳盡敘述之處，仍須依照FED209E及IES-RP-CC006.2之測試標(biāo)準(zhǔn)作驗(yàn)證。DescriptionAs-BuiltAtRestOperationAirVelocityOfCeilingFiltersüXXAirParallelismüXXCleanlinessüüüRoomPressurizationüXXAirLeakageüXXTemperature/HumidityüüüNoiseüX△Vibration△△XIl

2、luminationüXXStaticElectricityüXXAirBalanceüXü說明：1.ü：須執(zhí)行。2.△：檢測數(shù)據(jù)僅供參考。3.X：不須執(zhí)行。4.微震(Vibration)測試之測量時(shí)機(jī)為無塵室建造前及建造完成後而製程設(shè)備尚未移入前(As-Built)2.標(biāo)準(zhǔn)值(A).(氣流速度)AirVelocityofCeilingFilters(1).此檢測計(jì)畫在於確認(rèn)天花板過濾器出口風(fēng)速是否合乎規(guī)範(fàn)要求。(2).檢測儀器經(jīng)校正合格有效期一年內(nèi)之ThermalAnemometer測試，於檢測前及交付報(bào)告

3、時(shí)均須檢附校正合格文件。(3).檢測方法(a)檢測點(diǎn)檢測點(diǎn)位於過濾器下方100㎜處，且每一過濾器取六點(diǎn)測試。(b)檢測儀器檢測時(shí)須以適當(dāng)之架臺(tái)支橕或延伸架固定。(c)每一檢測點(diǎn)須至少維持10秒。(4).驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)每一過濾器出口風(fēng)速須符合設(shè)計(jì)之規(guī)格正負(fù)20%內(nèi)。(B).潔淨(jìng)度(Cleanliness)(1).此測試在於證明潔淨(jìng)度合乎無塵室規(guī)範(fàn)要求。(2).檢測儀器Laserparticlecounter–0.3μm×1cfm檢測儀器須經(jīng)校正合格且一年內(nèi)者，於檢測前及交付報(bào)告時(shí)均須檢附校正合格文件。(3).檢測方法

4、每一無塵室潔淨(jìng)度均須以Laserparticlecounter檢測。(a)檢測點(diǎn)將每一無塵室分割成數(shù)個(gè)9m2之區(qū)域供測試，而測試點(diǎn)位於9m2區(qū)域之中心點(diǎn)，高度為高架地板／地板起1,100㎜高度，每一檢測點(diǎn)測試時(shí)間為一分鐘。(a)檢測儀器檢測時(shí)須以適當(dāng)之架臺(tái)支橕或以延伸架固定。(2).驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)(a)FS209E落塵控制量清淨(jìng)度(級數(shù))測定粒子(μm)0.10.20.30.55.01357.531NA10350753010NA100NA750300100NA1,000NANANA1,000710,000NANAN

5、A10,00070100,000NANANA100,000700(b)潔淨(jìng)室各階段檢測標(biāo)準(zhǔn)清淨(jìng)度(級數(shù))測定粒子(μm)AS-BUILTAT-RESTOPERATING10251010020501001,0002005001,00010,0002,0005,00010,000100,00020,00050,000100,000(B).室內(nèi)壓力(RoomPressurization)(1).此測試在確保無塵室依甲方要求均維持在正壓狀態(tài)。(2).檢測儀器檢測儀器須經(jīng)校正合格且有效期一年內(nèi)者，使用0~5.0mmAq

6、刻度型壓力計(jì)或數(shù)字型壓差計(jì)均可，測試前或交付報(bào)告時(shí)均須檢附校正合格文件。(3).測試方法(a)檢測點(diǎn)檢測點(diǎn)取每一無塵室地板上方1,100㎜高處測試兩分鐘。(b)室外大氣壓力假設(shè)為0.0mmAq壓力。(2).於As-Built階段正常動(dòng)作下之排氣系統(tǒng)排氣量調(diào)整為平衡狀態(tài)。(3).驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)壓力測試結(jié)果須較規(guī)範(fàn)值高0~20%。(B).過濾器洩漏(FilterLeakage)(1).此測試目的在確保所有安裝在天花板格柵系統(tǒng)之過濾器絕無洩漏情形。(2).檢測儀器檢測儀器採Laserparticlecounter–0.3

7、μm×1.0cfm其須經(jīng)校正合格且有效期為一年以內(nèi)者，於檢測前及交付報(bào)告時(shí)均須檢附校正合格之文件。(3).檢測方法(a)於室溫、濕度、室壓及空氣流速等均合乎規(guī)範(fàn)之條件下調(diào)整空氣系統(tǒng)至平衡狀態(tài)。(b)以過濾器下方100㎜處作為取樣空氣點(diǎn)，取樣探針須全面掃描過濾器是否洩漏，取樣探針掃描速度須≦50㎜/sec，而每一過濾器掃描時(shí)間為八分鐘，取樣探針之取樣直徑38㎜∮。(c)過濾器四周可以塑膠覆蓋以確保不洩漏。(4).驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)於無塵室內(nèi)，洩漏量不得大於10pcs/min(≧0.3μmparticle)。(A).溫度及

8、濕度(TemperatureandHumidity)(1).此項(xiàng)檢測係確認(rèn)無塵室內(nèi)溫度及濕度均在要求範(fàn)圍內(nèi)。(2).檢測儀器(a)檢測精確能力可達(dá)±0.1℃之電子溫度計(jì)或同級品。(b)檢測精確能力可達(dá)±0.5之電子濕度計(jì)或同級品。(c)上述檢測儀器均須校正合格且在有效期一年內(nèi)者。(d)測試前或交付報(bào)告時(shí)均須檢附校正合格文件。(3).檢測方法(a)無塵室內(nèi)每區(qū)取一點(diǎn)並位於地板上方1,100㎜之高度處。