銀基電磁屏蔽鍍膜玻璃論文

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1、武漢理工大學(xué)碩士學(xué)位論文銀基電磁屏蔽鍍膜玻璃姓名：楊曉東申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專(zhuān)業(yè)：光電子及信息材料指導(dǎo)教師：趙青南;趙修建20080501武漢理工大學(xué)碩士畢業(yè)論文摘要隨著電子技術(shù)的發(fā)展，電子設(shè)備的廣泛應(yīng)用，電磁輻射對(duì)人們生活的影響日益增加。電磁干擾的危害主要有兩個(gè)方面：(1)導(dǎo)致電子設(shè)備產(chǎn)生噪音甚至是故障；(2)危害人類(lèi)的身體健康。因此，屏蔽電磁輻射顯得非常重要。很多電磁屏蔽材料被用來(lái)防止電磁輻射的干擾。在很多領(lǐng)域如高靈敏的醫(yī)療診斷設(shè)備、個(gè)人電子設(shè)備的顯示屏、航天飛行器的窗戶(hù)，要求材料既具有電磁屏蔽功能，又具有較高的可見(jiàn)光透射率。透明電磁屏蔽玻璃很好的符合了這些要求。本文的創(chuàng)

2、新點(diǎn)：用磁控濺射的方法在室溫下在載玻片襯底上制備了AZO／AgAZO三層膜和AZO／Ag／AZO／Ag／AZO五層膜，基于電磁屏蔽多層膜的光學(xué)薄膜設(shè)計(jì)矩陣法理論，對(duì)多層膜系進(jìn)行設(shè)計(jì)計(jì)算，確定各層膜材料及膜厚的基本參數(shù)，為實(shí)驗(yàn)提供了理論依據(jù)，使鍍膜玻璃具有高的可見(jiàn)光透射率和高的電磁屏蔽效能，研究了Ag納米薄膜在室溫大氣條件下的氧化過(guò)程和機(jī)理。本文得出的主要結(jié)論如下：1)對(duì)于AZO／Ag／AZO三層膜系，當(dāng)銀膜的厚度為16nm，AZO膜的厚度為45nm時(shí)，膜系有最佳的光電、電磁性能，方塊電阻為5．02D．／sq，最大可見(jiàn)光透射率為86％，紅外反射率為95％，電磁屏蔽效能為35d

3、B(5．85．8．2GHz)。2)對(duì)于AZO／Ag／AZO／Ag／AZO五層膜系，當(dāng)銀膜的厚度為16nm，AZO膜的厚度為92rim時(shí)，膜系有最佳的光電、電磁性能，方塊電阻為2．73D．／sq，最大可見(jiàn)光透射率為70％，紅外反射率為99％，電磁屏蔽效能為40dB(5．85．8．2GHz‘)。3)Ag納米薄膜暴露在室溫大氣環(huán)境中會(huì)被逐漸氧化，光學(xué)和電學(xué)性能都發(fā)生了很大的變化，失去了良好的導(dǎo)電性能和對(duì)紅外的高反射性能。A92S和A92S04先是點(diǎn)狀分布在Ag膜表面，等Ag膜完全氧化后，形成連續(xù)致密的AgES(含少量的A92S04)薄膜。Ag納米薄膜暴露在室溫大氣環(huán)境中氧化時(shí)，0

4、2開(kāi)始只是化學(xué)吸附在薄膜表面，引起表面重構(gòu)，沒(méi)有A920生成。然后含S的小分子氣體(如：H2S，S02)也化學(xué)吸附在薄膜表面，引起表面重構(gòu)。最后Ag納米薄膜在02和這些含S的小分子氣體的作用下被大量氧化成圓錐形柱狀的A92S和少量AgaS04顆粒。大氣中的C02和N2不會(huì)與Ag納米薄膜反應(yīng)。關(guān)鍵詞：Ag膜，磁控濺射，AZO薄膜，電磁屏蔽，氧化武漢理工大學(xué)碩士畢業(yè)論文AbstractWiththedevelopmentofelectronictechnologyandbroadapplicationofelectronicequipment，electromagneticra

5、diationhasallincreasingsignificantimpactonthehumanlife．Theelectromagneticinterferencecouldcausetwoproblems：(1)noisesignalandevenmalfunctionoftheelectronicappliance；(2)radiativedamageofthehumanbody．Thereforshieldingofelectromagneticradiationisveryimportant．Manyelectromagneticshieldingmateri

6、alsareusedtopreventelectromagneticinterference．Inmanyfieldssuchasmedicalinstrumentfordiagnosis，displayscreenofpersonalelectronicequipment，windowsofaerospacecraft，requestthematerialswithlargeshieldingeffectivenessandhightransparencyinthevisibleran．ge．Transparentelectromagneticshieldingglass

7、esaccordwiththeserequests．TheinnovationsinthisarticlearethatAZO／Ag：，‘AZOandAZO／Ag／AZO／Ag／AZOmultilayerfilmsareproducedbymagneticsputteringatroomtemperature；throughexperimentsandtheorycalculation，thestructureofthemultilayerfilmsisfixedwhatmakesuretheglasshashig