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《全自動(dòng)精密劃片機(jī)控制軟件的研究與設(shè)計(jì)》由會(huì)員上傳分享,免費(fèi)在線閱讀,更多相關(guān)內(nèi)容在學(xué)術(shù)論文-天天文庫。
1、學(xué)校代號(hào)10532學(xué)號(hào)S1502W0121分類號(hào)TG659密級公開工程碩士學(xué)位論文全自動(dòng)精密劃片機(jī)控制軟件的研究與設(shè)計(jì)學(xué)位申請人姓名張俊杰培養(yǎng)單位機(jī)械與運(yùn)載工程學(xué)院導(dǎo)師姓名及職稱尹韶輝教授葉青山高工學(xué)科專業(yè)機(jī)械工程研究方向智能制造技術(shù)及裝備論文提交日期2018年4月23日學(xué)校代號(hào):10532學(xué)號(hào):S1502W0121密級:公開湖南大學(xué)碩士學(xué)位論文全自動(dòng)精密劃片機(jī)控制軟件的研究與設(shè)計(jì)學(xué)位申請人姓名:張俊杰宇導(dǎo)師姓名及職稱:尹韶輝教授葉青山高工培養(yǎng)單位:機(jī)械與運(yùn)載工程學(xué)院專業(yè)名稱:機(jī)械工程院論文提交日期:2018年4月23日日論文答辯日期:2018年5月19
2、日答辯委員會(huì)主席:于德介教授授ResearchandDevelopmentofAutomaticPreciseDicingMachine’sControlSoftwarebyZHANGJunjieB.E.(WuhanUniversityofTechnology)2015AthesissubmittedinpartialsatisfactionoftheRequirementsforthedegreeofMasterofEngineeringinMechanicalEngineeringintheGraduateSchoolofHunanUniversit
3、ySupervisorProfessorYINShaohuiSeniorEngineerYEQingshanMay,2018湖南大學(xué)學(xué)位論文原創(chuàng)性聲明本人鄭重聲明:所呈交的論文是本人在導(dǎo)師的指導(dǎo)下獨(dú)立進(jìn)行研究所取得的研究成果。除了文中特別加以標(biāo)注引用的內(nèi)容外,本論文不包含任何其他個(gè)人或集體已經(jīng)發(fā)表或撰寫的成果作品。對本文的研究做出重要貢獻(xiàn)的個(gè)人和集體,均已在文中以明確方式標(biāo)明。本人完全意識(shí)到本聲明的法律后果由本人承擔(dān)。作者簽名:日期:年月日學(xué)位論文版權(quán)使用授權(quán)書本學(xué)位論文作者完全了解學(xué)校有關(guān)保留、使用學(xué)位論文的規(guī)定,同意學(xué)校保留并向國家有關(guān)部門或機(jī)構(gòu)送交
4、論文的復(fù)印件和電子版,允許論文被查閱和借閱。本人授權(quán)湖南大學(xué)可以將本學(xué)位論文的全部或部分內(nèi)容編入有關(guān)數(shù)據(jù)庫進(jìn)行檢索,可以采用影印、縮印或掃描等復(fù)制手段保存和匯編本學(xué)位論文。本學(xué)位論文屬于1、保密□,在年解密后適用本授權(quán)書。2、不保密?。(請?jiān)谝陨舷鄳?yīng)方框內(nèi)打“√”)作者簽名:日期:年月日導(dǎo)師簽名:日期:年月日I全自動(dòng)精密劃片機(jī)控制軟件的研究與設(shè)計(jì)摘要隨著半導(dǎo)體工業(yè)的飛速發(fā)展,集成電路芯片種類越來越多,精度要求越來越高,晶圓尺寸也越來越大,對劃片機(jī)控制軟件要求也越來越高,需要控制軟件做到界面友好,操作簡單,靈活性強(qiáng),兼容性高,還需要具備自動(dòng)識(shí)別對準(zhǔn)功能,同
5、時(shí)最重要的是要求軟件能夠提高劃切效率和劃切精度。本文以全自動(dòng)劃片機(jī)的控制軟件設(shè)計(jì)為目標(biāo),文中確定了軟件的整體設(shè)計(jì)方案和模塊化設(shè)計(jì)思路,通過面向?qū)ο蟮木幊碳夹g(shù)完成控制軟件設(shè)計(jì),研究內(nèi)容主要包括以下幾個(gè)方面:(1)進(jìn)行軟件功能的定制。結(jié)合晶圓生產(chǎn)工藝需要、劃片機(jī)的工作原理和結(jié)構(gòu)組成,進(jìn)行控制軟件的需求分析,采用面向?qū)ο蟮某绦蛟O(shè)計(jì)語言C#在Windows7平臺(tái)下進(jìn)行控制程序的開發(fā),可根據(jù)客戶的要求,方便增加和定制特殊功能。(2)進(jìn)行軟件模塊的劃分。采用模塊化設(shè)計(jì)方法,設(shè)計(jì)出多個(gè)相對獨(dú)立的功能單元,在主控單元模塊的協(xié)調(diào)下,相互配合實(shí)現(xiàn)各種功能。主要包括有數(shù)據(jù)管理
6、、運(yùn)動(dòng)控制、圖像處理、人機(jī)交互、故障處理、誤差補(bǔ)償、多線程控制。(3)進(jìn)行軟件結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)。控制系統(tǒng)采用主從式控制結(jié)構(gòu),工業(yè)控制計(jì)算機(jī)作為上位控制單元,以Pmac運(yùn)動(dòng)控制卡、圖像采集卡、光源控制器作為下位控制單元。通過調(diào)用運(yùn)動(dòng)控制卡庫函數(shù)和視覺系統(tǒng)庫函數(shù)分別進(jìn)行運(yùn)動(dòng)控制指令和圖像處理指令的編寫,以及進(jìn)行串口通信程序指令的編寫,并將它們整合到控制軟件中。(4)根據(jù)編程語言特點(diǎn)編寫軟件。采用面向?qū)ο蟮臄?shù)據(jù)結(jié)構(gòu)化設(shè)計(jì)和類模板編程方法,實(shí)現(xiàn)了劃片機(jī)軟件對于加工材料工藝參數(shù)變化的良好適應(yīng)能力,針對不同材料可以方便地進(jìn)行參數(shù)的填寫以適應(yīng)復(fù)雜的加工工藝要求。本文研究的控
7、制軟件已應(yīng)用于全自動(dòng)劃片機(jī)上,該劃片機(jī)已投入生產(chǎn)使用,主要用于LED、IC、晶圓的切割加工,能夠滿足半導(dǎo)體用戶方便、可靠、高效的使用需求。同時(shí),這款設(shè)備還能夠進(jìn)行玻璃、陶瓷、藍(lán)寶石的劃切,具有良好的市場應(yīng)用前景。關(guān)鍵詞:劃片機(jī);運(yùn)動(dòng)控制;圖像處理;面向?qū)ο缶幊蘄I工程碩士學(xué)位論文AbstractWiththerapiddevelopmentofthesemiconductorindustry,therearemoreandmorekindsofintegratedcircuitchips,theaccuracyrequirementbecamehighe
8、randthesizeofwaferbecamebigger.Therefore