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《微流控芯片的材料與加工方法研究進展.pdf》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關內(nèi)容在行業(yè)資料-天天文庫。
1、2011年第3O卷第6期傳感器與微系統(tǒng)(TransducerandMicrosystemTechnologies)彳＼綜述與評論、微流控芯片的材料與加工方法研究進展鄭小林，鄢佳文，胡寧，楊靜，楊軍(1．重慶大學生物工程學院生物流變科學與技術教育部重點實驗室，重慶400030；2．重慶通信學院軍事信息工程系。重慶400035)摘要：綜述了微流控芯片的制作材料及其加工方法的研究進展。在介紹了傳統(tǒng)硅質(zhì)材料，如硅、玻璃、石英等的基礎上，著重描述了高分子聚合物材料在微流控芯片的應用趨勢。針對不同材料，詳敘了其材料特性、應用范圍及加工方法。特別介紹了
2、一些新的加工方法，如激光刻蝕法、軟光刻、LIGA方法在該領域的應用。針對微流控芯片的材料與加工做了～個簡要而系統(tǒng)的回顧，對微流控芯片和其他微型全分析系統(tǒng)的研究者有重要參考價值。關鍵詞：微流控芯片；材料；微加工；高分子聚合物中圖分類號：TN305．7文獻標識碼：A文章編號：1000-9787(2011)06-0001-94R'～esearCn1Drot~ressof^materi‘a(chǎn)l■Sanc1If^a1Dri‘cati‘Onmet·h’oc1ISOtnmi●croH?uidi■CCl'li‘pZHENGXiao1in，YANJia．we
3、n，HUNing，YANGJing。，YANGJun(1．KeyLaboratoryofBiorheologicalScienceandTechnologyofMinistryofEducation，SchoolofBioengineering，ChongqingUniversity，Chongqing400030，China；2．DepartmentofMilitaryInformationEngineering，ChongqingCommunicationCollege，Chongqing400035，China)Abstract：R
4、esearchprogressofmaterialsandfabricationmethodsofmicrofluidicchipisreviewed．Onthebasisoftheintroductionoftraditionalmaterialssuchassilicon，glassandquartz，theapplicationtrendofpolymerinthechip—fabricationfieldsisemphasized．Fordiferentmaterials，theirproperties，applicationra
5、ngeandfabricationmethodsaredescribedindetail．Somenewfabricationmethodssuchaslasercutting，softlithographyandLIGAandtheirapplicationinthisfieldarespeciallyintroduced．Asimpleandsystemicreviewonthematerialsandfabricationmethodsinmierofluidicchipisgiven，andithasimportantrefere
6、ncevaluefortheresearchersinmicrofluidicchipandminiaturizedtotalanalysissystemfields．Keywords：microfluidicchip；materials；microfabrication；polymer0引言優(yōu)點，具有較高的分析效率、并能極大地降低試劑的消耗，ManzA等人于20世紀90年代初首次提出了微型全從本世紀初開始，微流控芯片技術得到了飛速發(fā)展。作為分析系統(tǒng)(miniaturizedtotalanalysissystem，一TAS)的概微流控芯片
7、的基本載體，材料對芯片加工精度和功能實現(xiàn)念J。其中，芯片式．TAS也稱為芯片實驗室(1abona等有極其重要的意義，芯片材料的研究也在不斷深入。針chip)，根據(jù)工作機理的不同又可分為微流控芯片和微陣列對不同芯片材料常常需要選擇不同的加工方法。而且，微芯片。微陣列芯片的發(fā)展歷史更長，主要利用分子靶標陣流控芯片發(fā)展中對更高加工精度、更復雜結(jié)構(gòu)和更低價格列來檢測DNA和蛋白質(zhì)等，技術水平和產(chǎn)業(yè)化程度已經(jīng)較的不斷追求也對加工工藝的創(chuàng)新提出了越來越多的要求。為成熟。而微流控芯片綜合了分析化學、微機電系統(tǒng)(mi—本文將就微流控芯片中常采用的加工材料
8、、加工工藝及其cro．electro-mechanicalsystem，MEMS)、計算機、材料學、生物發(fā)展做簡要綜述。醫(yī)學等多學科領域，可以實現(xiàn)多種分析功能，如采樣、稀釋、1微流控芯片材料加
