基于狹縫光闌的剪切散斑干涉動態(tài)測量.pdf

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1、第23卷第3期光學(xué)精密工程Vo1.23No.32015年3月0pticsandPrecisionEngineeringMar.2O15文章編號1004—924X(2015)03—0645—07基于狹縫光闌的剪切散斑干涉動態(tài)測量王永紅,馮家亞,王鑫,劉佩,李駿睿,楊連祥(合肥工業(yè)大學(xué)儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院,安徽合肥230009)摘要:為了精確、實(shí)時地測量物體表面的動態(tài)形變,提出了基于狹縫光闌的空間載波剪切散斑干涉系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過傾斜邁克爾遜干涉儀的一個平面鏡來產(chǎn)生剪切量和載波頻率,實(shí)現(xiàn)空間頻譜的移動;采用一個可調(diào)節(jié)的狹縫光闌控制散斑大小和空間頻譜寬度?;诟道锶~變

2、換與反變換在空間頻率域上提取所需的頻譜并計算相位圖,最后通過一幅干涉條紋圖得到相位分布信息。采用該系統(tǒng)對一個中心加載、四周固支的薄鋁板進(jìn)行了動態(tài)測量,分析了光學(xué)系統(tǒng)參數(shù)對測量結(jié)果的影響。結(jié)果表明,采用像素尺寸為4.65m×4.65m的高分辨率相機(jī),焦距為8mm的成像鏡頭,設(shè)置剪切量為25mm,狹縫光闌X方向的尺寸為1mm時,可得到高質(zhì)量的剪切散斑相位圖。該方法可以在25frarne/s的采集速度下,以43.6。的視場角實(shí)現(xiàn)動態(tài)形變的測量,可測形變峰值為0.5~3Ogm。關(guān)鍵詞:剪切散斑干涉術(shù);空間載波相移;傅里葉變換法;邁克爾遜干涉儀;狹縫光闌;動態(tài)形變中圖分類

3、號:0436.1文獻(xiàn)標(biāo)識碼:Adoi:10.3788/OPE.20152303.0645ShearingspeckleinterferometrybasedonslitaperturefordynamicmeasurementWANGYong—hong,F(xiàn)ENGJia—ya,WANGXin,LIUPei,LIJun—rui,YANGLian—xiang(SchoolofInstrumentScienceandOpto—electronicsEngineering,HefeiUniversityofTechnology,Hefei230009,China)*C0r

4、jrPs0gauthor,E-mail:yhwang(hfut.edu.cnAbstract:Tomeasurethedynamicdeformationofanobjectsurfaceinrealtimeaccurately,thispaperproposesaspatialcarrierphase—shiftingshearingspecklesystembasedonaslitaperture.AMichelsoninterferometerwasusedtogenerateashearingdistanceandaspatialfrequencyshi

5、ftbytiltingasmallangleinoneofthetwOmirrors.AslitaperturewasusedtocontrolthespecklesizeandthespatialsDectralwidth.TheFouriertransformandinversetransformwereappliedtoaccuratecalculationofthephaseandtoobtainthephasedistributionbyusingonlyasingleimage.Finally,theshearingsDecklesvstemwasu

6、sedtomeasurethedynamicdeformationofacircumferentiallyfixedthinaluminumplatewithapointloadatthecenter.Theeffectsofopticalsystemparametersonthemeasuringresuitswereanalyzed.Theexperimentalresultsshowthatwhentheshearingdistanceis25mmandtheslitaperturesizeinXdirectionis1mm,itispossibletoo

7、btainabetterphase—mapqualitybyusingahigherspatialfrequencyCCDcamerawithapixelsizeof4.65“m×4.65/,mandanimage收稿日期:2014—08—11;修訂日期:2014—09—24.基金項目:國家自然科學(xué)基金資助項目(No.51375136);安徽省國際科技合作計劃資助項目(No.12030603012);中航工業(yè)產(chǎn)學(xué)研專項資助項目(No.CXY2013HFGD22)646光學(xué)精密工程第23卷lenswithafocuslengthof8mm.Itdemonstrat

8、esthattheshe

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