國內(nèi)微型器件裝配技術(shù)的現(xiàn)狀與應(yīng)用

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1、研究生論壇"#$%&’()*(%+,#’*-國內(nèi)微型器件裝配技術(shù)的現(xiàn)狀與應(yīng)用段瑞玲李玉和李慶祥!清華大學(xué)精密儀器及機(jī)械學(xué)系"北京!"""#$#!摘要"微機(jī)電系統(tǒng)!%&%’$以飛快的速度發(fā)展成為一個集微型機(jī)械%微傳感器%微能源%微致動器%微控制器%微執(zhí)行器%信號處理和智能控制于一體的新興研究領(lǐng)域&微機(jī)電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的復(fù)雜性促進(jìn)了微裝配技術(shù)的蓬勃發(fā)展"吸引了大批國內(nèi)外研究人員對其進(jìn)行廣泛研究&本文首先分析了微器件裝配技術(shù)對微機(jī)電系統(tǒng)的重要性及其產(chǎn)生的深遠(yuǎn)影響"然后介紹了近年來國內(nèi)微裝配技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀和參與微裝配項目研發(fā)的研究單位的一些有應(yīng)用價值的研究成果"最后闡述了微裝

2、配系統(tǒng)的發(fā)展趨勢&關(guān)鍵詞#微裝配’微機(jī)電系統(tǒng)’微操作中圖分類號#()$"*1"22,.34353"67.89::;-073-*.6*/<-02*=566,+>;$?,0@.*;*A$./01234564+789:35;<89=4+75>4?+7".<@?AB*<+BCDEA632503B06C+7S4B;B;

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5、劃分!$%$&可分為&’()"**的微小機(jī)械$)!*(,)-其飛快的發(fā)展速度成為一個集微型機(jī)械$微傳感器$)**的微機(jī)械以及)+*()!*的納米機(jī)械%由于具微能源$微致動器$微控制器$微執(zhí)行器$信號處理和有可在狹小空間內(nèi)進(jìn)行作業(yè)而又不擾亂工作環(huán)境和((()*+,-./*)0*+!.!"#$%&&’研究生論壇#$%&’()*+)&,-$(+.對象的特點(diǎn)!!"!#的意義和應(yīng)用將涉及航空航天"基本微單元技術(shù)的研發(fā)$目前!盡管已有一些新型的軍事"生物醫(yī)學(xué)工程"太空探險和深海探查等諸多領(lǐng)三維微加工工藝!如()*+工藝%立體光刻工藝域#一旦技術(shù)成熟并形成產(chǎn)業(yè)化!必將對國民經(jīng)

6、濟(jì)建&#,-.-/(0,1/2.34156./7-88’!但大多數(shù)還僅限于傳設(shè)"國防建設(shè)乃至社會發(fā)展產(chǎn)生深遠(yuǎn)的影響!因此被統(tǒng)的光刻工藝&(0,1/2.34156./7-88’$要構(gòu)建一個微譽(yù)為$%世紀(jì)十大關(guān)鍵技術(shù)之首!是$&世紀(jì)最具代傳感器%微致動器等多微功能單元集成化的!"!#表性的技術(shù)$仍是一項具有挑戰(zhàn)性的技術(shù)$因此!三維微系統(tǒng)的實!微裝配研究的重要性現(xiàn)在一定程度上還必須依靠微裝配技術(shù)!同時微系%()MEMS的復(fù)雜結(jié)構(gòu)要求對微裝配研究高度重視統(tǒng)的改進(jìn)%修復(fù)也都離不開微裝配技術(shù)!從這個意義!"!#具有體積小%精度高"重量輕"性能穩(wěn)定"上講!微裝配技術(shù)是微系統(tǒng)的

7、一項基本和關(guān)鍵的技可靠性高"能耗低"靈敏性和工作效率高"多功能和術(shù)$智能化"適合大批量生產(chǎn)"制造成本低等特點(diǎn)$其基%(+實現(xiàn),-,.同宏觀系統(tǒng)聯(lián)系的橋梁本技術(shù)主要有微機(jī)械系統(tǒng)設(shè)計技術(shù)"復(fù)雜可動結(jié)構(gòu)!"!#需要在狹小的空間內(nèi)集成信號處理系微細(xì)加工&高深寬比多層微結(jié)構(gòu)加工’%微機(jī)械材料%統(tǒng)%傳感器及驅(qū)動器等!正是這種高度的集成化!使微裝配和封裝%微操作%微測量%微系統(tǒng)的集成與控產(chǎn)品能獲得非常好的性價比$近年來!在!"!#得制%微’宏接口等技術(shù)$微傳感器%微致動器和微控制到迅速發(fā)展的同時!對裝配技術(shù)也提出了更高的要器是微系統(tǒng)的基礎(chǔ)單元$隨著!"!#從基礎(chǔ)研究到求$由于

8、技術(shù)上的原因!如!"!#