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1、CarlZeissSMT場發(fā)射掃描電鏡技術文件儀器型號：SIGMA2011年8月26日CarlZeissSMT附件一：聚焦CARLZEISS世界可見光及電子光學的領導企業(yè)----德國蔡司公司始創(chuàng)于1846年。其電子光學前身為LEO（里奧）,更早叫Cambridge（劍橋）和Zeiss。積掃描電鏡領域40多年及透射電鏡領域60年的經(jīng)驗，ZEISS電子束技術在世界上創(chuàng)造了數(shù)個第一：?第一臺靜電式透射電鏡(1949)?第一臺商業(yè)化掃描電鏡(1965)?第一臺數(shù)字化掃描電鏡(1985)?第一臺帶有成像濾波器的透射電鏡(1992)?第一臺場發(fā)射掃描電鏡(1990)?第一臺具有Koehler照明
2、的200kV場發(fā)射透射電鏡(2003)?第一臺具有鏡筒內校正Omega能量濾波器的場發(fā)射透射電鏡(2003)CARLZEISS其前瞻性至臻完美的設計融合歐洲至上制造工藝造就了該品牌在光電子領域無可撼動的王者地位。自成立至今，一直延續(xù)不斷創(chuàng)新的傳統(tǒng)，公司擁有廣泛的專有技術，，隨著離子束技術和基于電子束的分析技術的加入、可為您提供鎢燈絲掃描電鏡、場發(fā)射掃描電鏡、雙束顯微鏡(FIBandSEM)、透射電子顯微鏡等全系列解決方案。。其產(chǎn)品的高性能、高質量、高可靠性和穩(wěn)定性已得到全世界廣大用戶的信賴與認可。作為全球電鏡標準締造者的CARLZEISS將一路領跑高端電鏡市場為您開創(chuàng)探求納米科技的嶄
3、新紀元。?上海歐波同儀器有限公司做為CarlZeissSMT下屬的納米技術系統(tǒng)部的合作伙伴，在北京，上海，廣州，鞍山設有營銷公司和維修服務站，致力于蔡司電鏡的技術咨詢，銷售和售后服務工作。CarlZeissSMT附件二：設備主要用途掃描電鏡是以電子束作為光源，電子束在加速電壓的作用下經(jīng)過三級電磁透鏡，在末級透鏡上部掃描線圈的作用下，在試樣表面做光柵狀掃描，，產(chǎn)生各種同試樣性質有關的物理信息（如二次電子，背反射電子），然后加以收集和處理，從而獲得表征試樣形貌的掃描電子像。掃描電鏡（SEM）廣泛地應用于金屬材料（鋼鐵、冶金、有色、機械加工）和非金屬材料（化學、化工、石油、地質礦物學、橡膠
4、、紡織、水泥、玻璃纖維）等檢驗和研究。在材料科學、金屬材料、陶瓷材料半導體材料、化學材料等領域，進行材料的微觀形貌、組織、成分分析。各種材料的形貌組織觀察，材料斷口分析和失效分析，材料實時微區(qū)成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面掃描和線掃描分布測量，晶體/晶粒的相鑒定，晶粒尺寸、形狀分析，晶體、晶粒取向測量。選配附件：能譜儀：即X射線能量色散譜儀,簡稱EDS主要是用來分析材料表面微區(qū)的化學成分,分析方式有定點定性分析、定點定量分析、元素的線分布、元素的面分布。波譜儀：(即X射線波長色散譜儀,簡稱WDS)，用作微區(qū)成分分析。分析精度方面比能譜儀精度更高，可以做成分的定量分析
5、。EBSD(電子背散射衍射儀)：EBSD主要可做單晶體的物相分析,同時提供花樣質量、置信度指數(shù)、彩色晶粒圖,可做單晶體的空間位向測定、兩顆單晶體之間夾角的測定、可做特選取向圖、共格晶界圖、特殊晶界圖,同時提供不同晶界類型的絕對數(shù)量和相對比例,即多晶粒夾角的統(tǒng)計分析、晶粒取向的統(tǒng)計分析以及它們的彩色圖和直方統(tǒng)計圖,還可做晶粒尺寸分布圖,將多顆單晶的空間取向投影到極圖或反極圖上可做二維織構分析,也可做三維織構即ODF分析。離子濺射儀：樣品鍍覆導電膜（金膜），噴碳，使絕緣材料能夠導電，是配合掃描電子顯微鏡制樣必備的儀器。CarlZeissSMT附件三：技術指標ZEISS的場發(fā)射掃描電鏡全部
6、采用新一代專利鏡筒（GEMINI）設計，具有優(yōu)良的高、低加速電壓性能；創(chuàng)新的InLens設計是目前世界上唯一真正的內置鏡筒電子束光路上二次電子探測器，其具有最佳的靈敏度和最高的接收效率，而且只接收來自樣品表面的二次電子，因此具有業(yè)界最高等級的分辨率和圖像質量，二次電子探測器和背散射電子探測器均內置于鏡筒電子束光路上，試樣的工作距離不受背散射探測器的影響，可以非常接近極靴，這樣可以同時獲得最高的二次電子像分辨率和背散射電子像分辨率，且接收的背散射電子的能量可以控制。創(chuàng)造性的采用電磁、靜電復合式物鏡，雜散磁場小，可對鐵磁體樣品進行高分辨率成像。SIGMA是一臺高性能、功能強大的高分辨應用
7、型掃描電子顯微鏡。系統(tǒng)采用多接口的大樣品室和藝術級的物鏡設計，提供高真空成像功能，可對各種材料表面作分析。并且具有業(yè)界領先的X射線分析條件，樣品臺為五軸全自動控制。標準的高效率無油渦輪分子泵滿足快速的樣品更換和無污染成像分析。主要參數(shù)：1.工作條件1.1.電源電壓：220V±10V,單相50Hz1.2.工作溫度：18°C～25°C1.3.接地：獨立的接地線1.4.儀器運行的持久性：長時間連續(xù)工作1.5.磁場：≤3mGauss1.6.濕度：≤60%RH2.性
