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《精密超精密加工技術(shù)研究論文》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在學(xué)術(shù)論文-天天文庫。
1、精密超精密加工技術(shù)摘要：超精密加工是多種技術(shù)綜合的一種加工技術(shù)，是獲得高形狀精度、表面精度和表面完整性的必要手段。根據(jù)當前國內(nèi)外超精密加工技術(shù)的發(fā)展狀況，對超精密切削、磨削、研磨以及超精密特種加工及復(fù)合加工技術(shù)進行綜述，簡單地對超精密加工的發(fā)展趨勢進行預(yù)測。關(guān)鍵詞:加工精度;超精密加工技術(shù);超精密特種加工;加工方法；0引言精密超精密加工技術(shù)是衡量一個國家制造技術(shù)水平的一個重要指標，精密超精密加工技術(shù)并不特指某一種加工技術(shù)，并且其加工精度也沒有特定的衡量標準。在不同的發(fā)展時期，不同的科學(xué)技術(shù)水平情況下，有不同的理解。超精密加工是現(xiàn)代
2、機械制造技術(shù)的重要研究方向，是從精密加工發(fā)展而來的。通常我們把被加工零件的加工精度在0.1~1、加工表面粗糙度在0.02~0.1之間的加工方法稱為精密加工，而把加工精度高于0.1、加工表面粗糙度小與0.02,以及所用機床定位精度的分辨率和重復(fù)性高于0.01的加工方法稱為超精密加工，亦稱之為亞微米加工技術(shù)，且正向納米級加工技術(shù)發(fā)展。所以精密超精密加工代表的是某個時代的先進加工技術(shù)，具有很強的時代性。1、國內(nèi)外研究現(xiàn)狀精密超精密加工技術(shù)在國際上處于領(lǐng)先地位的國家是美國、英國、日本。美國是開展精密超精密加工技術(shù)研究最早的國家，早在20世
3、紀50年代由于航天等尖端技術(shù)發(fā)展的需要，美國就研發(fā)出了精密超精密切削技術(shù)(簡稱“SPDT”技術(shù))，極人地推動了美國航天事業(yè)的發(fā)展?，F(xiàn)如今，美國在很多技術(shù)方而也遙遙領(lǐng)先。例如，美國研發(fā)了人型精密超精密金剛石車床D'1'M一3型，被世界公認為技術(shù)水平最高、精度最高的精密車床之一。1962年美國UnionCarbide公司研制首臺精密超精密車床，可加工100mm的半球，尺寸精度士0.8}m，粗糙度RaO.0025lamoTaylor公司生產(chǎn)了Nanoform250精密超精密加工車床，其軸系軸向、徑向精度優(yōu)于50nm。進入90年代以后，精
4、密超精密銑磨和拋光技術(shù)在幾個發(fā)達國家競相發(fā)展，個別實驗室可以達到很高的水平，特別是其中包含的納米制造技術(shù)，到很大的關(guān)注。開發(fā)精密超精密銑磨和納米拋光制造技術(shù)較好的公司及機構(gòu)有:美國MOORE公司、英國的TAYLOR、德國的ZEISS,LOH、日本的NACHI,TOSHIBA、荷蘭PHILIP等。80年代末，日本研制出了的精密超精密數(shù)控范成法研磨機，使用該研磨機加工出的光學(xué)零件，其面形精度達到了0.8lam，表面粗糙度的均方根值為QSnm。最近，日本采用門型機械加工中心，使用4000#一8000#鑄鐵絲結(jié)合金剛石砂輪，利用SLID(
5、在線電解修正法)銑磨法，銑磨BIB7光學(xué)玻璃，所獲得的非球面的面形精度為1lam，表面粗糙度為43nm。德國的計算機數(shù)控研磨拋光技術(shù)發(fā)展很快。Loh公司生產(chǎn)的數(shù)控SPM50和120研磨拋光機，不僅可以粗、精磨球面光學(xué)零件，而且還可以粗、精磨非球面光學(xué)零件。施耐德(SCHEIDER)光學(xué)機械公司90年代末制造的ALG100型計算機數(shù)控非球面磨床和ALP100型計算機數(shù)控非球面拋光機，可以高效率地進行非球面光學(xué)零件的生產(chǎn)。國外發(fā)展的2個典型方向:(1)、隨著納米技術(shù)的發(fā)展，納米加工機床功能向復(fù)合型方向發(fā)展。一些精密超精密機床本身具備了
6、測量機的基礎(chǔ)條件，機床可以實現(xiàn)加工、測量一體化。(2)、應(yīng)用納米加工技術(shù)的加工工件規(guī)格范圍逐漸加大，機床向大型化發(fā)展。由于航天技術(shù)的不斷發(fā)展，要求精密精密超精密機床的加工工件尺寸越來越大，精密精密超精密機床加工大型工件的記錄不斷被刷新。國內(nèi)發(fā)展狀況方面:在我國，超精密精密加工技術(shù)的第一次發(fā)展高潮出現(xiàn)在上世紀}o年代末至80年代初。在這段時期內(nèi)，我國精密超精密加工技術(shù)的發(fā)展卓有成效，取得了許多顯著成果。例如，在當時，我國研制出了具有世界水平的精密超精密機床和部件。目前，北京機床研究所是研究精密超精密加工技術(shù)的主陣地之一，為國家做出了
7、突出的貢獻。例如，北京機床研究所研制出了許多不同類型的精密超精密部件、機床以及相關(guān)的高精度測試儀器，如精度達0.025um的精密軸承、NAM一80型納米數(shù)控車床、JCS一031精密超精密銑床等等，這些技術(shù)在世界上都是首屈一指。哈爾濱工業(yè)大學(xué)是國內(nèi)最早從事精密超精密加工技術(shù)研究的單位之一，于19%年研制出了亞微米級的精密超精密機床，2006年研制成的大平而精密超精密銑床，已用于激光核聚變關(guān)鍵零件鐵電磷酸二氫鉀晶體的精密超精密加工。但總的來說，我國在精密、超精密加工的效率、精度可靠性，特別是規(guī)格(大尺寸)和技術(shù)配套性方而與國外比，與生
8、產(chǎn)實際要求比，還有相當大的差距。具體有:1)大型、微型的精密超精密機床國內(nèi)仍很缺乏;2)在精密超精密機床的制造精度方面仍存在差距;(3)產(chǎn)業(yè)化的精密超精密機床產(chǎn)品較少;(4)精密超精密機床在高剛性、高效化方面仍存在不足;(5)精密超精密機床的品種類
