真空設(shè)備操作維護保養(yǎng)規(guī)程

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1、Lgt作業(yè)指導書文件編號：發(fā)布日期：2015年2月1日版本：A—0題目：真空泵及真空系統(tǒng)操作維護保養(yǎng)規(guī)程1．目的：按規(guī)定進行設(shè)備的管理，指導正確操作、使用、維護和保養(yǎng)設(shè)備，保證生產(chǎn)，提高產(chǎn)品質(zhì)量，改進環(huán)境績效，預防和減少事故發(fā)生。2．范圍：本規(guī)程適用于真空泵及真空系統(tǒng)的使用和維護保養(yǎng)3．操作規(guī)程3.1旋片泵操作規(guī)程3.1.1性能規(guī)范型號：2X－70幾何抽速：70L/S；極限壓力：1帕；泵轉(zhuǎn)速：450轉(zhuǎn)/分；電機：Y132L-4功率：5.5KW；電機轉(zhuǎn)速：1440轉(zhuǎn)/分；配用三角帶；B/1600：4根；冷卻水消耗量：480L/H；潤滑油：1#真空機械泵油（KK-1）

2、儲存量8Kg；口徑：進氣90mm排氣60mm。3.1.2操作規(guī)范3.1.2.1起動前的準備（1）檢查皮帶的松緊程度，起動前可以松一些，起動后調(diào)節(jié)底座上的螺栓，慢慢拉緊，以減少起動力矩。（2）檢查各部分有無松動現(xiàn)象，電機轉(zhuǎn)向是否同泵的要求符合。（3）檢查油箱內(nèi)的油位是否在視鏡的兩條油標線之間。（4）對于長期未工作的泵，起動前應(yīng)間斷起動電機，檢查是否靈活。（5）檢查冷卻水是否正常（管路上水壓表水壓≤0.2－0.3MPa）、潤滑油是否正常。第21頁共19頁Lgt作業(yè)指導書文件編號：發(fā)布日期：2015年2月1日版本：A—0題目：真空泵及真空系統(tǒng)操作維護保養(yǎng)規(guī)程3.1.2.

3、2起動（1）打開冷卻水閥。（2）合上電源的開關(guān)，起動電機。（3）泵啟動后，再緩慢打開進氣閥，以免泵的負荷急劇增加。3.1.2.3停車停泵時應(yīng)先關(guān)斷進氣口閥門，打開放棄閥法對泵放氣。3.1.3注意事項3.1.3.1應(yīng)經(jīng)常注意油位及油的清潔，新泵工作150小時后換油一次，以后每2-3個月?lián)Q油一次，如使用條件不好，真空度下降，可以縮短換油時間。3.1.3.2應(yīng)經(jīng)常保持泵及泵房的干燥清潔。3.1.3.3注意泵溫及冷卻水和油的溫度，水溫在20-40℃之間，不應(yīng)超過40℃，即泵溫不超過環(huán)境溫度加上40℃。3.1.3.4潤滑油應(yīng)符合要求，否則達不到所要求的真空度。3.1.3.5

4、入停車后泵溫要下降至5℃以下時，泵內(nèi)冷卻水必須除凈。3.2羅茨真空泵操作規(guī)程3.2.1性能規(guī)范型號：RTO,300S;抽氣速率：300L/S；極限壓力：0.6帕；進排氣口徑：160mm/100mm配用電機：3KW3.2.2操作規(guī)范3.2.2.1起動前準備第21頁共19頁Lgt作業(yè)指導書文件編號：發(fā)布日期：2015年2月1日版本：A—0題目：真空泵及真空系統(tǒng)操作維護保養(yǎng)規(guī)程（1）檢查冷卻水管是否暢通無阻（管路上水壓表水壓≤0.2MPa）。（2）檢查兩端蓋內(nèi)的潤滑是否足夠，齒輪箱側(cè)油位應(yīng)以寖沒3～4個齒高度為宜。電機側(cè)油位應(yīng)以寖沒1/3～1/2油窗高度為宜。潤滑油封的

5、油杯油位應(yīng)在油杯高度的1/3～1/2之間。（3）如果吸入氣體中有粉塵或其它金屬粉末，應(yīng)在進氣口前加裝防塵或過濾裝置，如果吸入氣體有腐蝕性，必須采取中和措施。（4）檢查各部分有無松動現(xiàn)象，較長時間不用后，應(yīng)拆下旁通溢流閥，檢查有無銹死。（5）檢查電機轉(zhuǎn)向是否同泵體上的箭頭一致。3.2.2.2起動（1）起動前級泵。（2）打開本泵的進氣閥門。（3）打開冷卻水閥門，當容器壓力達到工藝規(guī)定壓力時，起動本泵。（4）泵運轉(zhuǎn)時應(yīng)平穩(wěn)，轉(zhuǎn)子不得有沖擊聲。（5）泵的軸封處不得有漏油現(xiàn)象。（6）泵在運轉(zhuǎn)過程中如局部升溫過大，電流計讀數(shù)突然發(fā)生變化，產(chǎn)生不規(guī)則的噪聲或其它異常現(xiàn)象，應(yīng)立即

6、停泵檢查。3.2.2.3停泵（1）停泵時，應(yīng)先停羅茨泵，再停前及泵，否則會導致羅茨泵出口壓力升高，負荷增大而可能燒壞羅茨泵電機或損壞羅茨泵?；驎е虑凹壉玫罐D(zhuǎn)，前級泵泵油倒灌入管道或羅茨泵，導致前級泵缺油，并有可能污染被抽環(huán)境。（2）停止本泵并關(guān)閉排氣閥門。（3）停止前級泵。第21頁共19頁Lgt作業(yè)指導書文件編號：發(fā)布日期：2015年2月1日版本：A—0題目：真空泵及真空系統(tǒng)操作維護保養(yǎng)規(guī)程（4）關(guān)閉冷卻水進水閥。3.2.3注意事項3.2.3.1應(yīng)經(jīng)常保持使用環(huán)境清潔干凈。3.2.3.2應(yīng)經(jīng)常注意各部件的潤滑情況，如發(fā)現(xiàn)潤滑油不足時，應(yīng)及時補充，如發(fā)現(xiàn)潤滑油不清

7、潔時，應(yīng)及時更換。3.2.3.3潤滑油應(yīng)符合要求，否則達不到所要求的真空度。3.3擴散泵操作規(guī)程3.3.1性能規(guī)范型號：KT600600表示吸氣口徑；抽氣速率：≥16000L/S；極限真空：6.5X10-5Pa；加熱功率：9KW；裝油量：6-7L(ks-3)；耗水量：≤1000L/H；進口/出口：600/150。3.3.2操作規(guī)范3.3.2.1起動前準備(1)檢查冷卻水管是否暢通無阻（管路上水壓表水壓≤0.2～0.3MPa）；(2)起動前，高真空閥門應(yīng)處于關(guān)閉位置。3.3.2.2起動（1）起動前級泵，抽出擴散泵內(nèi)的氣體。（2）接通冷卻水（注意：急冷水套在擴散泵停機

8、時才能通水