umsg107-1000w射頻電源使用說明書(07修正版)

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1、UMSG107-1000W型射頻電源及匹配器使用說明書編制：何學(xué)飛審核：批準(zhǔn)：2007年10月6UMSG107-1000W型射頻電源及匹配器使用說明書中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所二OO七年十月6UMSG107-1000W型射頻電源使用說明書一、概述UMSG107-1000W型射頻電源包括射頻源和射頻匹配器。射頻源采用石英晶體它激振蕩電路產(chǎn)生13.56MHz的射頻信號，功率推動級對該信號進(jìn)行耦合放大推動輸出級，功率輸出級采用金屬陶瓷四極管FU-100F，電子管板極供電采用電抗器調(diào)壓，電子管與功率源輸出電纜之間采用固定的L型匹

2、配網(wǎng)絡(luò)，確保電子管與電纜之間良好匹配。電纜與負(fù)載之間的匹配由可調(diào)式L型網(wǎng)絡(luò)匹配器來實現(xiàn)，匹配狀態(tài)由通過式功率計指示。本電源具有頻率穩(wěn)定性高、可靠性好、效率高、功率大、體積小、調(diào)節(jié)方便等特點。二、使用環(huán)境與條件1.電源：~220V/50Hz，＞1.5KVA2.環(huán)境溫度：5℃~40℃3.相對濕度：＜70％4.大氣壓強(qiáng)：86KPa~106KPa5.具有獨(dú)立的接地點，接地電阻＜4Ω6.環(huán)境凈化等級：優(yōu)于10000級三、主要技術(shù)性能1.輸出功率：100W~1000W逐級可調(diào)2.頻率：13560KHz3.板極電壓：300V~2500V4.板

3、極電流：＜0.5A5.板極直流消耗功率：＜1.3kW6.阻抗匹配范圍：(2.7~45)Ω－j(0~70)Ω61.具有手動調(diào)節(jié)網(wǎng)絡(luò)參數(shù)達(dá)到匹配功能2.網(wǎng)絡(luò)參數(shù)由調(diào)諧Ⅰ，調(diào)諧Ⅱ的刻度直讀3.具有入射功率和反射功率指示4.具有高壓通斷外控二、使用與操作1.檢查l按裝箱單檢查包裝箱內(nèi)各構(gòu)件、配件是否齊全l打開箱蓋檢查各構(gòu)件及連接件是否緊固l如有疑問請與供方聯(lián)系2.安裝l安裝時注意輕拿輕放。l電源箱底部應(yīng)有導(dǎo)軌，且應(yīng)留有大于50mm的冷卻風(fēng)道。3.接線l檢查“預(yù)熱”開關(guān)應(yīng)處于釋放狀態(tài)。l按標(biāo)識連接供電電源線、信號線、功率傳輸電纜線。外控插

4、頭：“高壓”外控1，2腳接常閉觸點“高壓關(guān)”，3，4腳接常開觸點“高壓關(guān)”。l接線圖如下：l注意：射頻電纜的接頭要擰緊，電纜彎曲盡量自然些。4.操作程序a)逆時針調(diào)板壓電位器旋鈕到最低位置（旋鈕上的刻度線在左下方45°左右），功率計開關(guān)置于2KW檔位。6a)插上電源插頭，按下預(yù)熱開關(guān)（橙色按鈕），按鈕里面的指示燈亮，同時板壓開關(guān)（紅色按鈕）里面的指示燈也亮，預(yù)熱5~10分鐘。b)按一下板壓開關(guān)（綠色按鈕），按鈕里面的指示燈亮，同時紅色按鈕里面的指示燈滅，緩緩調(diào)節(jié)板壓，板流，功率計也會有指示，然后反復(fù)調(diào)節(jié)匹配器調(diào)諧Ⅰ、調(diào)諧Ⅱ，直到

5、反應(yīng)室起輝。繼續(xù)調(diào)節(jié)調(diào)諧Ⅰ、調(diào)諧Ⅱ，使反射功率減到最小。c)調(diào)節(jié)板壓到所需功率，注意隨時調(diào)節(jié)調(diào)諧Ⅰ、調(diào)諧Ⅱ，使反射功率最小。d)工作完畢后，板壓調(diào)到最低，按一下板壓開關(guān)紅色按鈕關(guān)斷板壓，5~10分鐘后，再按一下橙色按鈕關(guān)斷燈絲。2.聯(lián)調(diào)在確認(rèn)射頻源正常后，即可上機(jī)帶真實負(fù)載進(jìn)行調(diào)試。第一次起輝時，將板壓調(diào)到約為500V，如果沒起輝，反射功率會很大，調(diào)節(jié)匹配器調(diào)諧Ⅰ、調(diào)諧Ⅱ使之起輝，暫不管反射功率有多大。如果不起輝，可降低真空度，真空度低些容易起輝。如還不起輝，可采取短時間加大功率的方法。比如板壓加到700V，如果不起輝，馬上把板

6、壓降一點，再調(diào)節(jié)調(diào)諧Ⅰ和調(diào)諧Ⅱ，再略加高板壓，如此重復(fù)進(jìn)行，直到起輝為此。即調(diào)匹配器升高板壓降低板壓調(diào)節(jié)匹配器要按一定規(guī)律進(jìn)行，調(diào)諧Ⅰ可固定幾點，比如200、300、500，調(diào)諧Ⅱ從小到大，或從大到小調(diào)節(jié)。如果再不起輝，應(yīng)檢查反應(yīng)室及接線部分是否有問題。起輝后，調(diào)節(jié)匹配器的調(diào)諧Ⅰ、調(diào)諧Ⅱ使反射功率減至最小。如果起輝時真空度較低，起輝后可逐漸提高真空度，同時跟蹤調(diào)節(jié)匹配器使之匹配。3.加功率在起輝正常后，可提高功率，這里要注意的是，在初次起輝時，可能由于反應(yīng)室或工作氣體不干凈，設(shè)計上欠合理等因素使反應(yīng)室內(nèi)打火，這種情況功率不能提高

7、。6一、維護(hù)保養(yǎng)及注意事項1.應(yīng)建立隨機(jī)檔案，及時記錄電源運(yùn)行參數(shù)，掌握電源及負(fù)載的變化情況。做到有據(jù)可查。2.定期清潔，檢修。特別是接地電阻和絕緣電阻。3.需要長時間待機(jī)時，應(yīng)每周上電預(yù)熱通風(fēng)一小時以上。4.避免在700W以上直接起動。且更換負(fù)載后應(yīng)避免在300W以上直接起動。5.電源正常工作時，板流不要超過0.5A，板壓不要超過2500V。6.避免在高反射功率狀態(tài)下使用。7.切勿在通電狀態(tài)下開啟機(jī)箱。8.當(dāng)出現(xiàn)異常響動時，應(yīng)立即關(guān)高壓，或降低板流板壓。9.電源一定要輕拿輕放，以免損壞電子管及其他元件。10.建議用戶最好配備一

8、臺高頻（100MHz）示波器，以便維護(hù)用。11.電源在托運(yùn)發(fā)貨時必須用牢固的木箱包裝，里面用海綿或泡沫保護(hù)。二、常見故障分析與排除序號故障現(xiàn)象故障原因分析排除方法1“預(yù)熱”開不上電(1)保險管斷(2)“預(yù)熱”開關(guān)壞(1)更換保險管(2)更換開關(guān)2“高壓”開而無功