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《有機(jī)電致發(fā)光器件的新型薄膜封裝技術(shù)研究_駱楊》由會員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在教育資源-天天文庫。
1、------------------------------------------------------------------------------------------------有機(jī)電致發(fā)光器件的新型薄膜封裝技術(shù)研究_駱楊DOI:10.16136/j.joel.2014.05.015第２５卷光電子·激光第５期 ２·Ｌ０１４年５月ｏｌ．２５Ｎｏ．５?。停幔玻埃保矗。郑剩铮酰颍睿幔欤铮妫希簦铮澹欤澹悖簦颍铮睿椋悖螅幔螅澹颉 。鹩袡C(jī)電致發(fā)光器件的新型薄膜封裝技術(shù)研究２，李天驕３，段 羽１＊駱 楊１，（；吉林大
2、學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院，集成光電子學(xué)國家重點(diǎn)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室吉林大學(xué)實(shí)驗(yàn)區(qū)，吉林長春１１．３００１２；中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所，吉林長春１吉林大學(xué)汽車工程學(xué)院，吉林長春２．３００３３３．）１３００２２摘要：針對有機(jī)電致發(fā)光器件（在空氣中水汽和Ｏ提出一種對ＯＬＥＤ）２作用下壽命下降的問題，ＯＬＥＤ進(jìn)行薄膜封裝方法。封裝薄膜由電子束蒸鍍ＡｌＡＬＤ，ａｔｏｍｉｃｌａｅｒ ｙ２Ｏ３薄膜和原子層沉積（）ｄｅｏｓｉｔｉｏｎＡｌａ薄膜電學(xué)測試方法測定封裝薄膜的水汽透過率ｐ２Ｏ３薄膜相結(jié)合形成。利用Ｃ（。具體實(shí)現(xiàn)方法是，采用玻璃
3、作為襯底，在１然ＷＶＴＲ）００ｎｍ的Ａｌ電極上蒸鍍２００ｎｍ的Ｃａ膜，——————————————————————————————————————------------------------------------------------------------------------------------------------只留出Ａ采用電子束后對整個系統(tǒng)進(jìn)行薄膜封裝，ｌ電極的一部分作為探針接觸電極。實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)，蒸鍍結(jié)合ＡＬＤ的ＡｌＣａ薄膜變成透明的時間比未封裝或采用單一結(jié)構(gòu)封裝得到了延２Ｏ３薄膜封裝，／Ｍ／長
4、。為了檢驗(yàn)薄膜封裝效果，制作了一組綠光Ｏ器件結(jié)構(gòu)為ＩＬＥＤ，ＴＯｏＯＸ（５ｎｍ）ｍＭＴＤＡＴＡ（／／／／，實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，本文提出的薄膜封裝方法對器２０ｎｍ）ＮＰＢ（３０ｎｍ）Ａｌ５０ｎｍ）ＬｉＦ（１ｎｍ）Ａｌｑ３（器件的壽命得到了延長。件進(jìn)行封裝，；原子層沉積（關(guān)鍵詞：薄膜封裝；水汽透過率（ＷＶＴＲ）ＡＬＤ）；（）中圖分類號：ＴＮ３８３１１ＴＮ８７３１３Ａ 文章編號：１００５００８６２０１４０５０８４００５ 文獻(xiàn)標(biāo)識碼：－－－Ａｎｅｗｔｈｉｎｆｉｌｍｅｎｃａｓｕｌａｔｉｏｎｔｅｃｈｎｏｌｏｆｏｒｏｒａｎｉｃｌｉｈｔ
5、ｅｍｉｔｔｉｎ －?。穑纾纾纾纭。洌澹觯椋悖澹螅保玻常保椋幔铮蹋眨希伲幔睿蹋桑裕椋幔睿模眨粒巍。伲酢 。辏?，，（，，１．ＳｔａｔｅＫｅＬａｂｏｒａｔｏｒｏｎＩｎｔｅｒ——————————————————————————————————————------------------------------------------------------------------------------------------------ａｔｅｄＯｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓＣｏｌｌｅｅｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＳｃｉ
6、ｅｎｃｅａｎｄＥｎｉｎｅｅｒｉｎＪｉｌｉｎＵｎｉｖｅｒ－ｙｙｇｐｇｇｇ ，，；，，ｓｉｔＣｈａｎｃｈｕｎ１３００１２Ｃｈｉｎａ２．ＣｈａｎｃｈｕｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＯｔｉｃｓＦｉｎｅＭｅｃｈａｎｉｃｓａｎｄＰｈｓｉｃｓＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｏｆ ?。纾纾穑?，，；３，，ＳｃｉｅｎｃｅｓＣｈａｎｃｈｕｎ１３００３３Ｃｈｉｎａ．ＣｏｌｌｅｅｏｆＡｕｔｏｍｏｔｉｖｅＥｎｉｎｅｅｒｉｎＣｈａｎｃｈｕｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔＣｈａｎｃｈｕｎ ｇｇｇｇｇｙｇ，）１３００２２Ｃｈｉｎａ：）ＡｂｓｔｒａｃｔＥｎｃａｓｕｌａ
7、ｔｉｏｎｉｓｉｍｏｒｔａｎｔｆｏｒｏｒａｎｉｃｌｉｈｔｅｍｉｔｔｉｎｄｅｖｉｃｅｓ（ＯＬＥＤｓｔｏｏｘｉｄａｔｉｏｎｏｆｒｅｖｅｎｔ ?。穑穑纾纾纾稹。欤椋瑁簦澹恚椋簦簦椋睿恚幔簦澹颍椋幔欤螅幔睿洌澹欤澹悖簦颍铮洌澹螅猓猓欤铮悖耄椋睿鳎幔簦澹颍觯幔铮颍幔睿洌铮澹睿幔睿洌簦铮颍铮簦澹悖簦洌澹觯椋悖澹螅妫颍铮恚?------------------------------------------------------------------
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