精密蝕刻藥水蝕刻狀況評(píng)估

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1、ME技術(shù)報(bào)告書(shū)文件編號(hào):05092001收件ZETCH2/1#ETCH2﹑采購(gòu)部﹑2#ME作成胡雄輝2005/9/19抄送高生﹑鄧生﹑肖生﹑趙生﹑鄧﹑楊副經(jīng)理審核葉漢雄FAX批準(zhǔn)肖承偉技術(shù)項(xiàng)目精密蝕刻藥水蝕刻狀況評(píng)估目標(biāo)指標(biāo)符合我司蝕刻品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)報(bào)告摘要現(xiàn)況：現(xiàn)時(shí)我司使用順澤蝕刻藥水生產(chǎn)成本較高﹐品種單一﹐需拓展供應(yīng)商QDC﹕C1﹕降低生產(chǎn)成本30%試驗(yàn)方案設(shè)計(jì)原理考察精密蝕刻藥水對(duì)細(xì)密線(xiàn)路蝕刻品質(zhì)試驗(yàn)方案及結(jié)果1．選擇底銅為H/HOZ基板﹐板尺寸﹕17.5”*13.5”﹐數(shù)量﹕20塊﹔UNIPLATE電板電銅10um共10塊板,1#PLAT電板電銅8um共10塊板2．DF生產(chǎn)widt

2、h:4mil﹑3milspacing:2mil﹑2.5mil實(shí)驗(yàn)菲林﹐圖電生產(chǎn)﹕取uniplat/1#plat生產(chǎn)之板各取5塊進(jìn)行電Ni/Au﹑電Cu/Sn3．蝕刻﹕精密蝕刻液﹐蝕刻相關(guān)工藝條件﹕PH:8.54Cu2+:141.03g/lCl-:193.44g/lP:25psiTemp:51℃比重﹕1.2v:2.0~2.5m/min4．蝕刻后任取5塊樣板(其中金板3塊﹑鍍錫板2塊)送Lab讀width/spacing,取樣示意圖和讀數(shù)示意圖如下切片取樣示意圖讀數(shù)示意圖cdab5．每塊板作5個(gè)切片﹐編號(hào)1~3塊板為金板﹐4~5板為鍍錫板﹔Lab切片讀數(shù)分AB面讀﹐要求讀蝕刻因子E=c/

3、d﹑線(xiàn)寬a﹑線(xiàn)距b6．width:4milspacing:2mil切片編號(hào)﹕1-2﹑1-4﹑1-5﹑2-2﹑2-3﹑3-1﹑3-3﹑4-2﹑4-3﹑4-5﹑5-1﹑5-3﹑5-5width:3.5milspacing:2.5mil切片編號(hào)﹕1-1﹑1-3﹑2-1﹑2-4﹑2-5﹑3-2﹑3-4﹑3-5﹑4-1﹑4-4﹑5-2﹑5-4試驗(yàn)結(jié)果1．例曲線(xiàn)圖表為金板width:4mil﹑3milspacing:2mil﹑2.5mil﹔蝕刻后AB面蝕刻因子的狀況(判定標(biāo)準(zhǔn)蝕刻C/D≦12．鍍錫板width:4mil﹑3milspacing:2mil﹑2.5mi﹔蝕刻AB面線(xiàn)寬﹑線(xiàn)距曲線(xiàn)分布圖

4、(單位﹕mil)試驗(yàn)結(jié)果考察1．從對(duì)金板蝕刻后蝕刻因子曲線(xiàn)圖來(lái)看﹕width﹕4mil/3.5mil蝕刻因子是符合判定標(biāo)準(zhǔn)C/D≦1,下圖為金板蝕刻后圖片2．鍍錫板曲線(xiàn)圖表顯示﹕精密蝕刻藥水蝕刻對(duì)width﹕4mil﹑3milspacing﹕2mil﹑2.5mil不能滿(mǎn)足我司現(xiàn)時(shí)對(duì)蝕刻側(cè)蝕量接允收標(biāo)準(zhǔn)﹕標(biāo)準(zhǔn)線(xiàn)寬﹑線(xiàn)距的±20%﹔均有超標(biāo)﹐從而出現(xiàn)有蝕刻不足﹑蝕刻過(guò)度不良品質(zhì)的出現(xiàn)﹔產(chǎn)生原因分析﹕設(shè)備的影響﹐其一噴嘴是圓錐形﹐噴灑形狀成圓形﹐不是扇形的﹐其二噴嘴嚴(yán)重堵塞﹐導(dǎo)致壓力分布不均﹔下例圖為精密蝕刻藥水蝕刻后不良品質(zhì)圖3．從生產(chǎn)工藝條件來(lái)看﹐其工藝條件與我司現(xiàn)時(shí)工藝條件差不多結(jié)論

5、初步試驗(yàn)精密蝕刻液對(duì)我司底銅﹕H/HOZ﹑平板銅﹕8~10um的細(xì)密線(xiàn)路從對(duì)金板蝕刻因子是達(dá)標(biāo)的﹐但從其側(cè)蝕量看﹐則是超標(biāo)的﹐因設(shè)備的影響﹔精密蝕刻液可進(jìn)行小批量試用跟進(jìn)行動(dòng)出采購(gòu)單小批量訂購(gòu)進(jìn)行試用。(供應(yīng)商送開(kāi)缸量)備注