清潔生產(chǎn)評價指標(biāo)體系

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1、清潔生產(chǎn)評價指標(biāo)體系集成電路制造業(yè)CleanerproductionassessmentindicatorsystemIntegratedcircuitsmanufacturingindustry(標(biāo)準(zhǔn)送審稿)編制說明II標(biāo)準(zhǔn)編制組2017年4月II目錄1任務(wù)來源、起草單位、編制組成員單位與主要起草人12集成電路制造業(yè)概況12.1集成電路制造業(yè)生產(chǎn)概況22.2集成電路制造業(yè)生產(chǎn)工藝42.3集成電路制造業(yè)能源與水消耗及產(chǎn)排污分析53制定標(biāo)準(zhǔn)的必要性和意義84主要起草過程95制定標(biāo)準(zhǔn)的原則和依據(jù),與現(xiàn)行法律、法規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)的關(guān)系126主要條款的說明,主要技

2、術(shù)指標(biāo)、參數(shù)、試驗驗證的論述166.1范圍166.2規(guī)范性引用文件166.3術(shù)語和定義166.4評價指標(biāo)體系196.5評價方法246.6指標(biāo)解釋與數(shù)據(jù)采集317重大意見分歧的處理依據(jù)和結(jié)果348作為推薦性標(biāo)準(zhǔn)或者強(qiáng)制性標(biāo)準(zhǔn)的建議及其理由359指標(biāo)體系實施可行性分析359.1技術(shù)可行性分析359.2經(jīng)濟(jì)可行性分析359.3實施可行性分析3610實施標(biāo)準(zhǔn)的措施建議3611其他應(yīng)說明的事項36II35351任務(wù)來源、起草單位、編制組成員單位與主要起草人北京市政府于2014年2月8日制定出臺了《北京市進(jìn)一步促進(jìn)軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的若干政策》(京政發(fā)

3、[2014]6號),支持高端集成電路生產(chǎn)性項目建設(shè)。為促進(jìn)產(chǎn)業(yè)綠色清潔生產(chǎn),北京市政府于2015年10月19日發(fā)布了《北京市推進(jìn)節(jié)能低碳和循環(huán)經(jīng)濟(jì)標(biāo)準(zhǔn)化工作實施方案(2015—2022年)》(京政辦發(fā)[2015]47號),由于集成電路制造業(yè)具有能源消耗量大、污染物種類繁多的特點,本標(biāo)準(zhǔn)被列為工業(yè)領(lǐng)域節(jié)能低碳與循環(huán)經(jīng)濟(jì)標(biāo)準(zhǔn)化工作的重點之一。北京市經(jīng)濟(jì)和信息化委員會作為本項目的主管部門,下達(dá)標(biāo)準(zhǔn)制定任務(wù),由中國航空綜合技術(shù)研究所負(fù)責(zé)標(biāo)準(zhǔn)制定工作。本標(biāo)準(zhǔn)的主要起草單位為中國航空綜合技術(shù)研究所。本標(biāo)準(zhǔn)編制組其它成員單位為北京市主要集成電路芯片制造企業(yè)、集成

4、電路封裝企業(yè)和相關(guān)科研院所,包括中國科學(xué)院微電子研究所、中芯北方集成電路制造(北京)有限公司、北京燕東微電子有限公司、中國航天北京微電子技術(shù)研究所、威訊聯(lián)合半導(dǎo)體(北京)有限公司、瑞薩半導(dǎo)體(北京)有限公司、北京首鋼微電子有限公司、北京市華芯微半導(dǎo)體有限公司、北京飛宇微電子有限責(zé)任公司。本標(biāo)準(zhǔn)的主要起草人是賈愛娟、劉波林、李亞健、徐楨梓、藺增金、趙元闖、趙曉農(nóng)、魏會敏、修文華、徐伯珺、張宏濤、劉洋等。2集成電路制造業(yè)概況根據(jù)《國民經(jīng)濟(jì)行業(yè)分類》(GB/T4754),集成電路制造業(yè)屬于計算機(jī)、通信和其他電子設(shè)備制造業(yè)下的電子器件制造業(yè),行業(yè)代碼為39

5、63。集成電路制造業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈包括芯片制造和集成電路封裝,35芯片制造主要是根據(jù)設(shè)計企業(yè)下發(fā)的訂單進(jìn)行生產(chǎn);集成電路封裝主要是將集成電路芯片切割分片,通過一定工藝完成封裝,位于產(chǎn)業(yè)鏈的下游。2.1集成電路制造業(yè)生產(chǎn)概況(1)集成電路芯片制造業(yè)生產(chǎn)概況2015年,全球集成電路芯片總產(chǎn)能為1635萬片/月,其中,前十大廠商產(chǎn)能共計1173.7萬片/月(截至2015年底)。在前十大芯片制造廠商中,總部位于美國的有4家,來自韓國與臺灣的分別有2家,日本與歐洲各1家,產(chǎn)能數(shù)據(jù)如圖2-1所示。當(dāng)前全球芯片制造業(yè)呈現(xiàn)出由西向東轉(zhuǎn)移的趨勢,我國大陸地區(qū)集成電路芯片制造

6、業(yè)在技術(shù)和規(guī)模上都取得了較快發(fā)展,目前集成電路芯片制造企業(yè)主要集中在長三角地區(qū)(上海、江蘇、浙江)、珠三角地區(qū)(深圳、珠海、福建)、環(huán)渤海地區(qū)(北京、天津、大連)及中西部地區(qū)(武漢、成都、重慶、西安)等,截止2014年底,集成電路芯片生產(chǎn)線總產(chǎn)能達(dá)到241萬片/月,其中12英寸月產(chǎn)能為50.5萬片,8英寸月產(chǎn)能為76.6萬片,6英寸月產(chǎn)能為73.5萬片,5英寸月產(chǎn)能為19萬片,4英寸月產(chǎn)能為21.4萬片。以中芯國際、華虹宏力、華力微電子、華潤微電子為代表的本土集成電路芯片制造企業(yè)正迅速崛起,在技術(shù)上取得了重大突破,目前國內(nèi)12英寸生產(chǎn)線技術(shù)水平達(dá)6

7、5-40-28nm,8英寸生產(chǎn)線技術(shù)水平達(dá)0.25-0.18-0.13-0.11μm,6英寸生產(chǎn)線技術(shù)水平達(dá)1.0-0.8-0.35μm。35圖2-12015年全球前十芯片制造商產(chǎn)能目前北京共有中芯國際集成電路制造(北京)有限公司、中芯北方集成電路制造(北京)有限公司、北京燕東微電子有限公司、中國航天北京微電子技術(shù)研究所等集成電路芯片制造企業(yè),已形成多條集成電路芯片生產(chǎn)線,其中中芯國際(北京)擁有月產(chǎn)能3萬片的12英寸芯片生產(chǎn)線,中芯北方擁有兩條月產(chǎn)3.5萬片的12英寸生產(chǎn)線;燕東微電子擁有一條月產(chǎn)3萬片的6英寸生產(chǎn)線,目前正在新建一條月產(chǎn)5萬片的

8、8英寸生產(chǎn)線;航天微電子擁有4英寸生產(chǎn)線,此外部分高校和科研機(jī)構(gòu)也擁有集成電路芯片生產(chǎn)的中試線,產(chǎn)能較少,如中科院微電子所

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