三氯氫硅生產(chǎn)工藝與技術(shù)路線選擇

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1、www.6chem.cn三氯氫硅的生產(chǎn)工藝與技術(shù)路線的選擇2.1三氯氫硅的生產(chǎn)原理及催化反應(yīng)機(jī)理2.1.1生產(chǎn)原理三氯氫硅是通過高純氯化氫氣體與金屬級(jí)單體硅(質(zhì)量分?jǐn)?shù)98.0%～99.0%)在一定溫度、壓力條件下反應(yīng)制備的。反應(yīng)方程式如下：……2.1.2催化反應(yīng)機(jī)理……2.2三氯氫硅的生產(chǎn)原料選擇2.2.1以四氯化硅為原料(還原法)……2.2.2以硅粉為原料(直接法、硅氫氯化法)……2.2.3工業(yè)硅粉（1）硅粉的性質(zhì)……（2）硅粉的選擇硅粉的規(guī)格對(duì)反應(yīng)與產(chǎn)品質(zhì)量有很大影響。選擇硅粉時(shí)主要考慮以下2點(diǎn)?！?）硅粉精制www.6chem.cn2.3三氯氫硅生產(chǎn)工藝流程……2.3.1氯化

2、氫的制備（1）氯化氫的性質(zhì)（2）氯化氫合成條件（3）氯化氫合成工藝2.3.2三氯氫硅合成該工序是整個(gè)三氯氫硅生產(chǎn)中最重要的部分?！?.3.3氣固分離……2.3.4合成氣冷凝……2.3.5精餾提純近年來，三氯氫硅的提純技術(shù)發(fā)展很快，但由于精餾法工藝簡單、操作方便，所以目前工業(yè)生產(chǎn)中主要用精餾法?！?.3.6廢氣處理……www.6chem.cn2.4三氯氫硅制備及精制工藝進(jìn)展2.4.1硅氫氯化法2.4.2SiCl4-H2還原法2.4.3三氯氫硅的精制2.5三氯氫硅生產(chǎn)工藝比較2.6三氯氫硅質(zhì)量指標(biāo)目前我國三氯氫硅沒有國家統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)。征求意見稿中：工業(yè)三氯氫硅分為Ⅰ、Ⅱ兩型，Ⅰ型工業(yè)三氯氫

3、硅產(chǎn)品用于生產(chǎn)多晶硅，Ⅱ型工業(yè)三氯氫硅產(chǎn)品用于生產(chǎn)硅烷偶聯(lián)劑的單體。本標(biāo)準(zhǔn)適用于由硅粉和氯化氫為原料經(jīng)提純后生產(chǎn)的工業(yè)三氯氫硅。該產(chǎn)品主要用于生產(chǎn)多晶硅和硅烷偶聯(lián)劑等。表2.1三氯氫硅質(zhì)量指標(biāo)表項(xiàng)目Ⅰ型Ⅱ型優(yōu)級(jí)品一級(jí)品合格品優(yōu)級(jí)品一級(jí)品合格品外觀無色透明液體三氯氫硅w/%≥99.599.098.599.599.098.5二氯二氫硅w/%≤0.100.300.500.200.300.50四氯化硅w/%≤0.250.500.700.250.500.70氯硅烷聚合物w/%≤0.050.100.300.050.100.30硼w/%≤0.000010.000030.00005——————詳細(xì)內(nèi)容

4、參見六鑒網(wǎng)(www.6chem.cn)發(fā)布《三氯氫硅技術(shù)與市場調(diào)研報(bào)告》。