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1、開爾文四線檢測KelvinFour-terminalsensing???????開爾文四線檢測（KelvinFour-terminalsensing）也被稱之為四端子檢測（4T檢測，4Tsensing）、四線檢測或4點探針法，它是一種電阻抗測量技術(shù)，使用單獨的對載電流和電壓檢測電極，相比傳統(tǒng)的兩個終端（2T）傳感能夠進行更精確的測量。開爾文四線檢測被用于一些歐姆表和阻抗分析儀，并在精密應(yīng)變計和電阻溫度計的接線配置。也可用于測量薄膜的薄層電阻。四線檢測的關(guān)鍵優(yōu)點是分離的電流和電壓的電極，消除了布線和接觸電阻的阻抗。???????四線檢測感應(yīng)也被稱為開爾文（Kelvin）檢測，威廉
2、·湯姆森·開爾文勛爵（WilliamThomson,LordKelvin）在1861年發(fā)明的開爾文電橋測量低電阻。每兩線連接，可以稱得上是Kelvin連接。原理???????假設(shè)我們希望一些組件位于一個顯著的距離從我們的歐姆表測量電阻。這種情況下會產(chǎn)生問題，因為歐姆表測量所有的電路回路中的電阻，它包括導線的電阻（Rwire）連接的歐姆表被測量組件（Rsubject）：???????通常情況下，導線的電阻是非常小的（僅幾歐姆的導線上的壓力表（大?。?，主要取決于每數(shù)百英尺），但如果連接線很長，和/或待測組分有一個非常反正低電阻，引入線電阻測量誤差將是巨大的。???????在這樣的情
3、況下的電阻測量主體的一個巧妙的方法，涉及的電流表和電壓表的使用。我們知道，從歐姆定律，電阻等于電壓除以電流（R=E/I）。因此，我們應(yīng)該能夠確定電阻的主體成分，如果我們測量的電流通過，并且兩端的電壓下降???????電流在電路中的所有點相同，因為它是一個串聯(lián)回路。因為我們只測量電壓下降的整個主體電阻（而不是導線的電阻）。不過，我們的目標，是從遠處來衡量這個主題性，所以我們必須位于電壓某處附近電流表，由另一對含有電阻的導線跨接受阻力：???????起初，我們似乎已經(jīng)失去了任何電阻測量這種方式的優(yōu)點，因為現(xiàn)在電壓表測量電壓通過長著一雙引入雜散電阻（電阻）線，再次進入測量電路。然而，
4、經(jīng)仔細檢查可以看出，沒有什么損失，因為電流幾乎是微乎其微的。因此，那些長導線連接兩端的電壓表的（Rsubject）電阻將下降較小的電壓，這是非常幾乎相同的，就好像它是受電阻直接跨接在電壓表指示：???????將無法測得的電壓表主要載流導線之間的任何電壓下降，這樣做沒有考慮到在所有的阻力計算?？赡軙M一步提高測量精度，如果電壓表的電流保持在最低限度，或者通過使用一個高品質(zhì)（由低滿量程電流）的動作和/或空電位（均衡）系統(tǒng)。???????這種測量方法，避免了導線的電阻所引起的誤差，被稱之為開爾文四線檢測（KelvinFour-terminalsensing）電阻方法。特殊的連接稱為開
5、爾文夾子（下圖）???????一般來說，“鱷魚”式夾子，通常在鉸鏈點連接，半“下巴”電是彼此共用的。開爾文夾子，半部分鉗口彼此絕緣，只有被測定的導線與夾子的尖端處接觸。因此，目前通過“C（”當前）的半“下巴”不通過“P”（電壓）的半“下巴”，而不會產(chǎn)生任何沿其長度的錯誤誘導壓降。????????相同的原理，使用不同的接觸點的傳導電流和電壓測量是用在精密分流電阻器，用于測量大量的電流。精密分流電阻器“轉(zhuǎn)換”一個當前值成比例的電壓值。因此，電流可以通過測量分流器兩端的電壓下降被精確地測量。????使用分流電阻和電壓電流測量，特別適合涉及幅度特別大電流的應(yīng)用。在這種應(yīng)用中，分流電阻器
6、的電阻可能會毫歐或微歐的順序，在滿電流的情況下，以便只有適量的電壓將被丟棄。這種低電阻線的連接電阻，表示這樣的分流上測量的電壓必須這樣做，在這樣一種方式，以避免檢測電壓降載電流導線連接，以免引起巨大的測量誤差。為了使由分流電阻本身的電壓表的測量電壓下降，沒有任何雜散電壓源自電線或連接電阻，分流器通常配有四個連接端子：應(yīng)用???????開爾文測量可以發(fā)現(xiàn)接觸不良或意外性電路中的實用工具。直流電源連接到電路，并調(diào)整電源，從而提供一個恒定的電流。用數(shù)字萬用表設(shè)置為測量直流電壓，測量在電路中的各個點上的電壓降。如果你知道的導線尺寸，可以估算你應(yīng)該看到的電壓降和比較這你測量的電壓降。這可
7、以是一個快速和有效的方法，發(fā)現(xiàn)接觸到的元素，如在照明電路的拖車在布線的連接不良。未通電的的AC導體（確保交流電源不能打開），它也可以很好的工作。例如，你可以在一個光開關(guān)測量電壓降，并確定如果接線連接到開關(guān)。1 引言? 在半導體工藝中許多器件的重要參數(shù)和性能都與薄層電阻有關(guān)，為提高厚、薄膜集成電路和片式電阻的生產(chǎn)精度，需要使用設(shè)備儀器如探針臺、激光調(diào)阻機對其進行測試或修調(diào)。一般所用的測量儀器或設(shè)備都包含連接、激勵、測量和顯示單元，有時還有后期數(shù)據(jù)處理單元。采用不同的測量方法和不同的連接方式引
