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1、有機(jī)物中金屬離子去除規(guī)律的研究Researchonthelawofremovingthemetalionsintheorganicmatter學(xué)科專業(yè):化學(xué)工藝作者姓名:智娟指導(dǎo)教師:楊長(zhǎng)生副教授天津大學(xué)化工學(xué)院二零一七年五月獨(dú)創(chuàng)性聲明本人聲明所呈交的學(xué)位論文是本人在導(dǎo)師指導(dǎo)下進(jìn)行的研究工作和取得的研究成果,除了文中特別加以標(biāo)注和致謝之處外,論文中不包含其他人已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的研究成果,也不包含為獲得天津大學(xué)或其他教育機(jī)構(gòu)的學(xué)位或證書而使用過的材料。與我一同工作的同志對(duì)本研究所做的任何貢獻(xiàn)均已在論文中作了明確的說明并表示了謝意。學(xué)位
2、論文作者簽名:簽字日期:年月日學(xué)位論文版權(quán)使用授權(quán)書本學(xué)位論文作者完全了解天津大學(xué)有關(guān)保留、使用學(xué)位論文的規(guī)定。特授權(quán)天津大學(xué)可以將學(xué)位論文的全部或部分內(nèi)容編入有關(guān)數(shù)據(jù)庫進(jìn)行檢索,并采用影印、縮印或掃描等復(fù)制手段保存、匯編以供查閱和借閱。同意學(xué)校向國(guó)家有關(guān)部門或機(jī)構(gòu)送交論文的復(fù)印件和磁盤。(保密的學(xué)位論文在解密后適用本授權(quán)說明)學(xué)位論文作者簽名:導(dǎo)師簽名:簽字日期:年月日簽字日期:年月日摘要電子級(jí)丙二醇單甲醚醋酸酯(PMA)和四甲基氫氧化銨(TMAH)能夠廣泛的應(yīng)用于半導(dǎo)體材料的制備過程,而電子級(jí)化學(xué)品對(duì)金屬離子含量的要求十分嚴(yán)格,
3、一般的工業(yè)級(jí)產(chǎn)品達(dá)不到電子級(jí)化學(xué)品的要求。本課題對(duì)使用精餾法、離子交換法除去丙二醇單甲醚醋酸酯和四甲基碳酸氫銨中的金屬離子進(jìn)行了研究。本文首先采用精餾法對(duì)PMA原料進(jìn)行提純,實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明無論是常壓精餾、減壓精餾還是在通入N2作為保護(hù)氣時(shí)的常減壓精餾都不能達(dá)到預(yù)期效果。隨后考察了001×7和Amberlyst?15樹脂對(duì)PMA的提純效果,實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明這兩種類型的離子交換樹脂都能夠?qū)MA中的金屬離子控制在5ppb以下;Amberlyst?15樹脂對(duì)PMA的提純效果比001×7樹脂好;將001×7和201×7兩種類型的離子交換樹脂串聯(lián)可
4、以將PMA中各種金屬離子的含量控制在5ppb以下;將Amberlyst?15和AmberlystA21樹脂串聯(lián)使用可以將PMA中各種金屬離子的含量控制在1ppb以下;通過對(duì)陽離子交換樹脂穿透曲線的測(cè)定,確定合適的物料流速為15BV/h;測(cè)定了離子交換樹脂的轉(zhuǎn)型膨脹率和洗脫曲線,發(fā)現(xiàn)Amberlyst?15和AmberlystA21樹脂的溶脹性能良好??疾炝?01×7、Amberlyst?15、AmberlystA21、AmberliteIRC747和LEWATITMonoPLusTP260樹脂對(duì)TMAHC的提純效果,發(fā)現(xiàn)單一種類的樹
5、脂都不能達(dá)到對(duì)TMAHC提純的目的;通過將AmberliteIRC747和Amberlyst?15或LEWATITMonoPLusTP260和Amberlyst?15樹脂柱串聯(lián)能夠?qū)MAHC中每種金屬離子的含量都控制在10ppb以下;將AmberliteIRC747、Amberlyst?15和AmberlystA21或LEWATITMonoPLusTP260、Amberlyst?15和AmberlystA21的樹脂串聯(lián)使用能夠?qū)MAHC中每種金屬離子的含量控制在5ppb以下;通過對(duì)陽離子交換樹脂穿透曲線的測(cè)定,確定合適的物料流速
6、為15BV/h;測(cè)定了離子交換樹脂的轉(zhuǎn)型膨脹率和洗脫曲線,AmberliteIRC747樹脂更適合用于生產(chǎn),LEWATITMonoPLusTP260樹脂在處理TMAHC時(shí)容易破裂。關(guān)鍵詞:丙二醇單甲醚醋酸酯,四甲基碳酸氫銨,四甲基氫氧化銨,離子交換樹脂,離子交換法,精餾IIIABSTRACTPropyleneglycolmonomethyletheracetateandtetramethylammoniumhydroxideofelectroniclevelcanbewidelyusedinthepreparationofsemic
7、onductormaterialprocess,therequirementisverystrictforelectronicmaterials’metalioncontent,however,generalindustrialproductscouldnotreachtherequirementofelectronicchemicals.Distillationandionexchangeresinmethodswereusedinthisstudytoremovethemetalionsinpropyleneglycolmono
8、methyletheracetateandtetramethylammoniumbicarbonate.FirstlydistillationmethodwasappliedforthepurificationofPMA,experi