mod法制備ybco薄膜及工藝的研究

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1、西南交遴大學(xué)碩士研究生鬻位論文第1頁摘要YBCO嵩滏越罨薄貘在軍事、藤攀及毫子等眾多領(lǐng)域有菲鬻廣溺的應(yīng)用前景,哥前制備這種薄膜的主要方法有磁羧濺射、激光脈沖沉積等。本論文旨在采用無氟MOD法制得具有鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的致密YBCO薄膜。以無機(jī)鹽為初始原料研究了溶膠形成過程中的化學(xué)反應(yīng)及成膜機(jī)理,探討了LaALO?;迳媳∧こ练e技術(shù)等。逃一步用x射線錯瓣紋纛掃攢電鏡磺究了薄膜維梭、維鑫情凝窺表囂影貌,分撰了楗廉瓣YBCO薄貘麓備的影豌,戳及舉潮熬處理條籜辯薄膜結(jié)晶結(jié)構(gòu)、形貌及性能的影響.研究結(jié)果如下;(1)采用釔、鋇、銅的無機(jī)熊Y。0。,BaCO。

2、,CuO作出發(fā)原料,絡(luò)念荊采用聚乙烯酵縮丁醛樹脂的丙酸溶液,可以制得成膜質(zhì)量好的穩(wěn)定溶膠。(2)舞搽索袋穗MOD方法在LaAIO。(001)擎菇蒸舞主麓冬掛魏良好的YBCO怒鼯薄膜的最佳熱簸毽條件,我稍在分解熱處理條件確嗣的情況下改變成相、滲氧熱處理的溫度,確定了游膜制備的最佳熱處理工藝。(3)XRD測試襲明由溶膠制成魄YBCO薄膜形成了比較完全的YBa。Cu。0,一。超導(dǎo)鞠,分褥表明YBCO具有受妊。轆敬囪,目眩雜穗較痧。(4)SEM測試分析YBCO薄膜熊有較好的表面彤貌,但樣品轉(zhuǎn)變?yōu)|度(7c)較低。關(guān)鍵詞;YBCO,憑氟MOD,結(jié)晶織

3、構(gòu),熱處理,外延生長一西南交滋犬學(xué)碩士研究生攀位論文第1I頁AbstractYBCOhightemperaturesupercOnduclorfilmholdsgreatpromiseforapplicationsinmilitaryaffairs,iatrology,electronicandsoon.PresentlythemainmethodsofpreparingYBCOfilmshavemagnetronsputteringandlaserdeposition.InthispaperthedenseYBCOfilmswithpe

4、rovskitestructurewereexpectedtobepreparedbymetalorganicdeposition(MOD)process.Theconfectingmethodsofsotwerediscussedusinginorganicsaltasprecursors,andtheFTIRwasadoptedtoanalysethechemicalreactionandfilmformingmechanismofstables01.Thetechniquesofpreparingfilmbufferlayerson

5、LaAL03werestudied。TheSEM,TEMandXRDwereadoptedtostudythecrystalstructureoffiIres.Thein蠡uencesofsubstrateandheattreatmentconditiononthecrystalstructureandperformanceoftheYBCOfilmswerediscussed.Theresultsarelistedasfollows:(1)TheinorganicformateofY,BaandCuwasusedasprecursors

6、,forexample,Y203,BaC03andCuO,andPVBofPropionateascomplexedagents。Thestablefluorine·freeYBCOsolcanbeobtained。(2)InordertosearchafterthebesttemperatureinwhichYBCOsuperconductoffilmcanbepreparedonthesinglecrystalofLaAl03byMODmethod.Wechangethehightemperatureofheattreatmentin

7、theconditionofthesamedecomposedtemperature.(3)TheXRDtestingshowthatthefilmofYBCOsupefconducti霸gstructurehadbeenprepared,AnditwasindicatedthatYBCOistropismofCaxes.FewAaxestropismexist.(4)TheSEMtestingshowthatthefilmofYBCOsurfaceisverygood。buttheTcislow.keywords:YBCO,F(xiàn)-free

8、MOD,crystal,heattreatment,epitaxialgrowth西南交通大學(xué)碩士研究生學(xué)位論文第1頁第一章緒論1.1高溫超導(dǎo)材料發(fā)展歷程1911年,昂內(nèi)斯Ⅲ(Onnes)等人

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