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《硅微型多槽道平板熱管的研究》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在學(xué)術(shù)論文-天天文庫(kù)。
1、國(guó)內(nèi)圖書(shū)分類(lèi)號(hào)：TK127.4國(guó)際圖書(shū)分類(lèi)號(hào)：621.382工學(xué)碩士學(xué)位論文硅微型多槽道平板熱管研究碩士研究生：辛欣導(dǎo)師：劉曉為教授申請(qǐng)學(xué)位：工學(xué)碩士學(xué)科、專(zhuān)業(yè)：微電子學(xué)與固體電子學(xué)所在單位：微電子科學(xué)與技術(shù)系答辯日期：2007年7月6日授予學(xué)位單位：哈爾濱工業(yè)大學(xué)ClassifiedIndex:TK127.4U.D.C:621.382DissertationfortheMasterDegreeinEngineeringRESERCHONSILICONMICROFLATHEATPIPESWITHAXIALGROOVESCandidate:Supervisor:AcademicDe
2、greeAppliedfor:Specialty:Affiliation：DateofDefence:Degree-Conferring-Institution:XinXinProf.LiuXiaoweiMasterofEngineeringMicroelectronicsandSolid-StateElectronicsDept.ofMicroelectronicsScienceandTechnologyJuly,2007HarbinInstituteofTechnology哈爾濱工業(yè)大學(xué)工學(xué)碩士學(xué)位論文摘要本文針對(duì)三角形截面的硅微型多槽道平板熱管進(jìn)行理論分析以及建模仿真方面
3、的研究。論文所研究的微槽平板熱管不僅在高熱流密度微電子芯片冷卻方面有著良好的應(yīng)用前景，還可廣泛應(yīng)用于航空航天、生物、醫(yī)藥等領(lǐng)域。首先介紹了微型熱管的工作原理以及傳熱極限。然后對(duì)三角形槽道的硅微型平板熱管，進(jìn)行軸向毛細(xì)流動(dòng)的理論分析和數(shù)值模擬。通過(guò)簡(jiǎn)化采用控制體積法建立了一維穩(wěn)態(tài)模型，以分析工質(zhì)在熱管內(nèi)的軸向分布，液體和蒸汽壓力、流速的軸向變化，并計(jì)算其最大傳熱量。該一維穩(wěn)態(tài)模型更精確的考慮了具有互相連通蒸汽空間的微型平板熱管中，汽液界面剪切摩擦力對(duì)其傳熱性能的影響。模型預(yù)測(cè)結(jié)果與文獻(xiàn)報(bào)道的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)取得較好的符合，能夠更準(zhǔn)確的預(yù)測(cè)微熱管最大傳熱量。隨后論文考察了微型多槽平板熱管微細(xì)槽
4、道內(nèi)，蒸發(fā)薄液膜區(qū)的傳熱特性。通過(guò)建立模型求解，得到了蒸發(fā)段薄液膜區(qū)液膜厚度、熱流密度、修正后毛細(xì)力以及汽—液分界線上溫度的橫向分布，并進(jìn)一步分析了脫離壓力對(duì)蒸發(fā)薄液膜傳熱特性的影響。這些模擬結(jié)果及相關(guān)分析可以用來(lái)幫助微型多槽道平板熱管的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和優(yōu)化。關(guān)鍵詞微型平板熱管；多槽道；一維穩(wěn)態(tài)模型；蒸發(fā)薄液膜-I-哈爾濱工業(yè)大學(xué)工學(xué)碩士學(xué)位論文AbstractThetheoreticalanalysisandnumericalsimulationofasiliconmicroflatheatpipewithaxiallymicromachiningtrianglegroovesare
5、describedinthispaper.Thismicroflatheatpipenotonlyhavegoodprospectoncoolingofhigh-power-densityICchips,butalsocanbeusedinmanyotherfieldssuchasaviation,spaceflight,biologyandmedicine.FirstlytheworkingprincipleandoperationlimitsofMHP(MicroHeatPipe)areintroduced.Thennumericalsimulationisundertaken
6、toanalyzethethermalperformanceofthemicroflatheatpipe.Afteraone-dimensionalsteady-statemodelisestablished,theflowofliquidandvaporintrianglegroovesarenumericallysolvedusingMATLAB.Theeffectofinterfacialandvaporshearstressontheheattransportperformanceisconsideredmoreprecisely.Theresultsobtainedfro
7、mthissimulationcontainaxialvariationofpressuredifferencebetweenvaporandliquid,velocityofliquidandvaporandfilmthickness.InadditionmaximumheattransportcapacityofMHPiscalculated.Theresultspredictedbythemodelarecomparedwiththepublishedresul
