實(shí)習(xí)報(bào)告(景寶慶)

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1、實(shí)習(xí)報(bào)告學(xué)院：機(jī)械與動(dòng)力工程學(xué)院專業(yè)名稱：測(cè)控技術(shù)與儀器指導(dǎo)教師：趙彥如姓名：景寶慶學(xué)號(hào)：3108040402132012年3月一，實(shí)習(xí)目的由于己經(jīng)和華微電子簽訂了就業(yè)協(xié)議，大四下學(xué)期的實(shí)習(xí)在華微進(jìn)行，實(shí)習(xí)時(shí)間為一個(gè)月，通過實(shí)習(xí)，了解半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀，熟悉半導(dǎo)體元器件和集成電路制造工藝，測(cè)試技術(shù)，熟悉集成電路封裝技術(shù)，了解企業(yè)生產(chǎn)技術(shù)，主要產(chǎn)品等相關(guān)信息，為畢業(yè)后工作盡快融入企業(yè)打下基礎(chǔ)。二，實(shí)習(xí)時(shí)間2012年2月10曰?2012年3月10口三，實(shí)習(xí)地點(diǎn)及單位情況單位簡(jiǎn)介-平微電子位于秀麗的吉林省吉林市，吉林華微電子股份有限公司是集功

2、率半導(dǎo)體器件設(shè)計(jì)研發(fā)、芯片加工、封裝測(cè)試及產(chǎn)品營(yíng)銷為一體的高新技術(shù)企業(yè)。公司經(jīng)科技部、中科院等國(guó)家機(jī)構(gòu)論證，被列為國(guó)家級(jí)企業(yè)技術(shù)中心、國(guó)家博士后科研工作站、國(guó)家創(chuàng)新型企業(yè)。公司總資產(chǎn)32億元，員工3000余人，技術(shù)人員占公司總?cè)藬?shù)的30%以上，占地面積近40萬平方米，建筑面積13.5萬平方米，凈化面積17000平方米，主要浄化級(jí)別為0.3微米百級(jí)。公司于2001年3月在上海證券交易所上市，股票代碼600360,總股本67808萬股，為國(guó)內(nèi)功率半導(dǎo)體器件領(lǐng)域首家國(guó)內(nèi)上市公司。華微電子擁有3英寸、4英寸、5英寸與6英寸等多條功率半導(dǎo)體分立器

3、件及TC芯片生產(chǎn)線，芯片加工能力為每年360余萬片，封裝資源為30億只/年。公司在終端設(shè)計(jì)、工藝制造和產(chǎn)品設(shè)計(jì)方面擁有多項(xiàng)專利，各系列產(chǎn)品采用雙極、M0S技術(shù)及集成電路等核心制造技術(shù)，公司主要生產(chǎn)功率半導(dǎo)體器件及1C,應(yīng)用于消費(fèi)電子、節(jié)能照明、計(jì)算機(jī)、PC、汽車電子、通訊保護(hù)與工業(yè)控制等領(lǐng)域，商標(biāo)被認(rèn)定為“屮國(guó)馳名商標(biāo)”。FI前公司已形成VDMOS、IGBT、FRED,SBD、BJT等為營(yíng)銷主線的系列產(chǎn)品，成為功率半異體器件領(lǐng)域?yàn)榭蛻籼峁┙鉀Q方案的制造商。四，實(shí)習(xí)內(nèi)容查閱相關(guān)資料了解半導(dǎo)體知識(shí)N型硅：摻入V族元素一磷P、砷As、銻SbP

4、型硅：摻入III族元素一鎵Ga、硼B(yǎng)PN結(jié):半導(dǎo)體元件制造過程可分為前段(Frontend)制程晶圓處理制程(waterfab)、晶圓針測(cè)制程(WaferProbe)；後段(BackEnd)構(gòu)裝(Packaging)、測(cè)試制程(InitialTestFinalTest)由人力資源部相關(guān)人員安排帶上公司進(jìn)場(chǎng)許可證進(jìn)行公司參觀了解半導(dǎo)體設(shè)備，生產(chǎn)工藝及相關(guān)操作。具體內(nèi)容如下：我第一個(gè)參觀.午.間是凈化午.間，里面分為測(cè)試間，生產(chǎn)車間，金屬蒸發(fā)臺(tái)，濺射臺(tái)，表面顆粒測(cè)試儀，快速退火爐，激光打印機(jī)，清洗機(jī)，真空合金爐，擴(kuò)散爐，離子注入機(jī)和環(huán)境監(jiān)測(cè)

5、設(shè)備等。測(cè)試間主要是分析合格/不合格產(chǎn)品的數(shù)據(jù)，全自動(dòng)的/對(duì)應(yīng)打點(diǎn)數(shù)據(jù)收集，生產(chǎn)車間主要保證車間凈化，要保證車間溫度棊本一定，顆粒數(shù)要＜10,金屬蒸發(fā)臺(tái)可以同時(shí)蒸發(fā)7種金屬，主要可以用金屬熔點(diǎn)低，制造比較厚的，而濺射臺(tái)可以對(duì)難融金屬，制造比較薄的，這種方法致密性好。表而顆粒測(cè)試儀主要監(jiān)控生產(chǎn)線的污染程度，顆粒大小，數(shù)量等?？焖偻嘶馉t可以在短時(shí)間內(nèi)升/降溫。激光打印機(jī)主要用來給芯片打標(biāo)識(shí)。清洗機(jī)主要使用1、2、3號(hào)液對(duì)芯片進(jìn)行清潔，保證芯片表面的清潔度。真空合金爐是天光廠自主設(shè)計(jì)的，比市面上銷售的生產(chǎn)效率大大提高。溫度檢測(cè)包括在出風(fēng)口加熱

6、加溫等裝置，進(jìn)風(fēng)口在屋頂，回風(fēng)口在地面是為了能夠保證風(fēng)向是從上到下,因?yàn)楣饪涕g的要求是100級(jí)的，所以光刻間進(jìn)風(fēng)口和回風(fēng)口都是滿布的。然后我參觀了制造工藝所需氣體的分離廠房，在里面我們學(xué)到了如何在空氣中分離所需氣體，和分離氣體時(shí)所需溫度等的耍求和凈化。物理式凈化方式1.吸附性過濾一活性炭活性炭是一種多孔性的含炭物質(zhì)，它具有高度發(fā)達(dá)的孔隙構(gòu)造，活性炭的多孔結(jié)構(gòu)為其提供了大量的表面積，能與氣體（雜質(zhì)）充分接觸，從而賦予了活性炭所特有的吸附性能，使其非常容易達(dá)到吸收收集雜質(zhì)的目的。就象磁力一樣，所有的分子之間都只有相互引力缺點(diǎn)：普通活性炭并不

7、能吸附所以的有毒氣體，效率較低、易脫附。2.機(jī)械性過濾一HEPA網(wǎng)HEPA（HighefficiencyparticulateairFilter）,中文意思為高效空氣過濾器，達(dá)到HEPA標(biāo)準(zhǔn)的過濾網(wǎng)，對(duì)于0.3微米的有效率達(dá)到99.998%,HEPA網(wǎng)的特點(diǎn)是空氣可以通過，但細(xì)小的微粒卻無法通過。HEPA過濾網(wǎng)由一疊連續(xù)前后折疊的亞玻璃纖維膜構(gòu)成，形成波浪狀墊片用來放置和支撐過濾界質(zhì)。3，靜電式凈化方式工作原理：采用高壓靜電吸附除塵工作原理。靜電式是采用高壓靜電吸附除塵的工作原理。靜電場(chǎng)中的陰極線在高壓靜電的作用下，產(chǎn)生電暈放電，電暈層

8、中產(chǎn)生大量的負(fù)離子，負(fù)離子在靜電場(chǎng)的作用下，不斷地向陽(yáng)極運(yùn)動(dòng)。當(dāng)空氣中粉塵通過電場(chǎng)時(shí)，粉塵受到負(fù)離子的碰撞帶上電荷，帶上電荷后的粉塵同樣受到靜電場(chǎng)的作用，向陽(yáng)極（集塵極）運(yùn)動(dòng)，到達(dá)陽(yáng)極后釋放電荷。缺點(diǎn)：可去