gan材料的溶膠凝膠法制備及其團(tuán)簇結(jié)構(gòu)的研究

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1、西北大學(xué)碩士論文摘要氮化鎵(G斟)是一種壹接帶隙寬禁帶半導(dǎo)體材料,在光電子和微電子器件等方面具有廣泛的應(yīng)用。目前其研究與應(yīng)用已成為全球半導(dǎo)體研究的前沿和熱點。本文用簡單易行的低成本的溶膠凝膠法制備出了高質(zhì)量的G蠢N粉體和薄膜材料,具有創(chuàng)新性和實際意義。采用Ga203為鎵源、檸檬酸為絡(luò)合劑制備出前驅(qū)體溶膠,再通過高溫氨化退火制備G削粉體和薄膜。粉體樣品的Ⅺm與FT雙結(jié)果表明,當(dāng)前驅(qū)體溶膠pH值為中性,氮化溫度為950℃,氮化時間為90m洫時可制備出性能最佳的GaN納米粉體;XRD分析與選區(qū)電子衍射分析表明,所制備的薄膜樣品為純的六方纖鋅礦結(jié)構(gòu)的&IN薄膜,薄膜晶粒沿(002)晶面擇優(yōu)

2、取向;SEM和AFM結(jié)果表明G州晶粒的結(jié)晶度及薄膜表面平整度隨退火溫度的升高而提高;光致發(fā)光譜(PL譜)表明在35011In處出現(xiàn)了G烈本征發(fā)光峰;在拉曼譜分析中出現(xiàn)Al(TO)和El(To)兩種聲予模式;黜S測試表明樣品中存在渤塒鍵。在Mg:G拼的PL譜中,存在450。490nm處的藍(lán)光發(fā)射帶,且隨著摻雜濃度的增大藍(lán)帶向低能方向移動即發(fā)生紅移。用密度泛函理論(DFT)研究了GanN3(n=1.6)和GanN2(n=2.7)中性團(tuán)簇的幾何結(jié)構(gòu)、振動頻率及穩(wěn)定性。結(jié)果表明,N.N鍵在G洲3(n_1.6)團(tuán)簇的形成中起著決定性的作用;n=3是該團(tuán)簇的幻數(shù)。在GanN2(n_2—7)團(tuán)簇

3、中,n一6是該團(tuán)簇的幻數(shù)。研究發(fā)現(xiàn)兩類團(tuán)簇基態(tài)的最強(qiáng)振動頻率中大部分與纖鋅礦結(jié)構(gòu)GaN的聲子模式Al(陽)、El口0)、A1(LO)、El(LO)相近或相同,說明計算得到的團(tuán)簇Ga-N鍵與G2lN纖鋅礦結(jié)構(gòu)的Ga_N鍵接近。該結(jié)論對解釋納米和薄膜材料的形成有指導(dǎo)意義。關(guān)鍵詞:GaN納米材料;溶膠一凝膠法;團(tuán)簇;密度泛函理論西北大學(xué)碩士論文The鼬dyofP№pa糯tionandstmctllreofGaNmatcdals姆sol—gdMe協(xié)odAbstI曩ct£融li醒l熊砸&簿aN)isal薹0Veo蟬妁強(qiáng)dse矗eo稚uc溆謝餓a蠡費ecla芏ld誠如b鋤dgap,andc觚b

4、eextcllsiVelyusedfor叩toelec的11icandmicroelec仃oIlicdevices.Atp糟se雞氆e∞sear吐ofGaNhasbec。me髓羚幻{警otand赫髓lefor捌隨positionofgloba薹semicollductor矗eld.h讎sdisse渤圭量濰,GaN測∞paftieles粕嬉蠡l躺懈辮p刪inSol—Gcl粼犧dr鑫tkr也anwimCVD,MOCVD,MBE,orotllerH1ethods,wllichisve穢sim】坶a11dlow-cost州tll主nnoV魏主ion.圈bsolprec戳s甜wassyn氆e

5、s泌dbyGa203ta薹cenasGalliumsot搿。e越遼cftricacidascomlexillgagent,andG矗NmateriaJswereprep刪nlrou曲tlleprocessofamillating訛a娃nent洫量li曲奄emper積嗣-e.11嬸糟sultSmeasuredinⅪ乏Da塒TEMshowedmatmeG幻寸nanopa]吐icleswith也eopt蛔mprop萌tiesweres舛hesizedWhjletheprecurSor、麗也aneu按alPHV越uewaShasbeenaIIlillatedat950℃蠡)r90血n.11

6、le姍舭ofas-p】唧·∽duIldopedGaNmate矗alsbelongstoW瑚舵i鈀,姐d也e耐IlSin齜films砸el燃edpreferentia王lyalo鷦to(002)plane.W曲程1e溉c】舊aseofmea堇1e甜iI培tenlpe豫1=ure,t1始c巧stal純髓ofGaNgrainsme鍛鵬d遮SEMand觚Mbecomebe技er剃suffac:e妁ughnessis鋤越le£強(qiáng)eresubofP己specnashow日僦t量leband-edgedemittingpeal(ofGaNisat35011m.Moreov%mere棚℃tv舊ph

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