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《平行雙關(guān)節(jié)坐標(biāo)測(cè)量機(jī)連桿微變形測(cè)量系統(tǒng)》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在工程資料-天天文庫(kù)。
1、第２９卷第１１期電子測(cè)量與儀器學(xué)報(bào)Voｌ．２９No．１１２０１５年１１月JOURNALOFELECTRONＩCMEASUREMENTANDＩNSTRUMENTATＩON·１６２１·ＤＯＩ：１０．１３３８２／ｊ．ｊｅｍｉ．２０１５．１１．００７*平行雙關(guān)節(jié)坐標(biāo)測(cè)量機(jī)連桿微變形測(cè)量系統(tǒng)于連棟魯思穎張煒趙會(huì)寧（合肥工業(yè)大學(xué)儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院合肥２３０００９）摘要：為準(zhǔn)確測(cè)量平行雙關(guān)節(jié)坐標(biāo)測(cè)量機(jī)零件彈性變形量，從而對(duì)由此引起的測(cè)量誤差進(jìn)行補(bǔ)償，進(jìn)一步提高平行雙關(guān)節(jié)坐標(biāo)測(cè)量機(jī)測(cè)量精度和可靠性，介紹了一種基于ＰＳＤ位移檢測(cè)的桿件微變形
2、測(cè)量方法，通過激光參考光束將變形量的測(cè)量轉(zhuǎn)化為位移量的測(cè)量。以ＦＰＧＡ為核心搭建信號(hào)轉(zhuǎn)換、采集及傳輸電路。在ＬａｂＶＩＥＷ環(huán)境編寫上位機(jī)軟件分析測(cè)量數(shù)據(jù)。使用ＡＮＳＹＳ軟件進(jìn)行力學(xué)仿真分析提出測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)具備的精度指標(biāo)及測(cè)量范圍。使用激光干涉儀標(biāo)定系統(tǒng)響應(yīng)特性，通過２Ｄ等電壓間隔輸出實(shí)驗(yàn)測(cè)定ＰＳＤ有效面積內(nèi)的位移響應(yīng)矩陣，采用２Ｄ雙三次樣條插值法修正系統(tǒng)響應(yīng)的非線性誤差。實(shí)驗(yàn)證實(shí)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)１．３２μｍ（２σ）的位移測(cè)量精度。可用于平行雙關(guān)節(jié)坐標(biāo)測(cè)量機(jī)桿件變形測(cè)量，且其安裝尺寸較小，可以實(shí)現(xiàn)在線檢測(cè)。關(guān)鍵詞：微位移；平行雙關(guān)節(jié)坐標(biāo)
3、測(cè)量機(jī)；ＰＳＤ；變形；誤差；樣條插值＋中圖分類號(hào)：ＴＮ３６４．２文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：Ａ國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)學(xué)科分類代碼：５１０．５０１５Measuringsystemofmicro-deformationofparalleldouble-jointcoordinatemeasuringmachinelinkageＹｕＬｉａｎｄｏｎｇＬｕＳｉｙｉｎｇＺｈａｎｇＷｅｉＺｈａｏＨｕｉｎｉｎｇ（ＳｃｈｏｏｌｏｆＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＯｐｔｏ-ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＨｅｆｅｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇ
4、ｙ，Ａｎｈｕｉ２３０００９，Ｃｈｉｎａ）Abstract：Ｔｏａｃｃｕｒａｔｅｌｙｍｅａｓｕｒｅｔｈｅｅｌａｓｔｉｃｄｅｆｏｒｍａｔｉｏｎｏｆｐａｒａｌｌｅｌｄｏｕｂｌｅ-ｊｏｉｎｔｃｏｏｒｄｉｎａｔｅｍｅａｓｕｒｉｎｇｍａｃｈｉｎｅ（ＰＤＣＭＭ）ｐａｒｔｓ，ｔｈｕｓｔｏｃｏｍｐｅｎｓａｔｅｔｈｅｒｅｓｕｌｔ，ａｎｄｆｏｒｆｕｒｔｈｅｒｉｍｐｒｏｖｉｎｇｏｆｔｈｅａｃｃｕｒａｃｙａｎｄｒｅｌｉａｂｉｌｉｔｙｏｆＰＤＣ-ＭＭ，ｔｈｉｓｐａｐｅｒｉｎｔｒｏｄｕｃｅｓａｒｏｄｍｉｃｒｏｄｉｓｔｏｒｔｉｏｎｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｍｅｔ
5、ｈｏｄｂａｓｅｄｏｎＰＳＤｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔｄｅｔｅｃｔｉｏｎ．Ａｌａ-ｓｅｒｒｅｆｅｒｅｎｃｅｂｅａｍｉｓｕｓｅｄｔｏｔｒａｎｓｆｏｒｍｔｈｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｏｆｄｅｆｏｒｍａｔｉｏｎｉｎｔｏｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ．ＡＦＰＧＡｂａｓｅｄｃｉｒｃｕｉｔｉｓｄｅｓｉｇｎｅｄｆｏｒｓｉｇｎａｌｃｏｎｖｅｒｓｉｏｎ，ｄａｔａａｃｑｕｉｓｉｔｉｏｎａｎｄｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ．ＡＰＣｓｏｆｔｗａｒｅｉｓｄｅｓｉｇｎｅｄｗｉｔｈＬａｂＶＩＥＷｔｏａｎａ-ｌｙｚｅｔｈｅｄａｔａ．Ｔｈｅｐｒｅｃｉｓｉｏｎｉｎｄｅｘａｎｄｔｈ
6、ｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｒａｎｇｅｉｓｐｒｏｐｏｓｅｄｂｙｓｉｍｕｌａｔｉｏｎａｎａｌｙｓｉｓｗｉｔｈＡＮＳＹＳｓｏｆｔ-ｗａｒｅ．Ａｌａｓｅｒｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎｓｙｓｔｅｍｉｓｕｓｅｄｔｏｄｅｔｅｒｍｉｎｅｒｅｓｐｏｎｓｅｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓａｎｄｏｔｈｅｒｓｙｓｔｅｍｐａ-ｒａｍｅｔｅｒｓ．ＴｈｅｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔｒｅｓｐｏｎｓｅｍａｔｒｉｘｉｎｔｈｅｅｆｆｅｃｔｉｖｅａｒｅａｏｆＰＳＤｉｓｄｅｔｅｒｍｉｎｅｄｂｙ２Ｄｅｑｕａｌｖｏｌｔａｇｅｏｕｔｐｕｔｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔ，
7、ａｎｄｔｈｅｎｏｎｌｉｎｅａｒｅｒｒｏｒｏｆｔｈｅｓｙｓｔｅｍｒｅｓｐｏｎｓｅｓｃａｎｂｅｃｏｒｒｅｃｔｅｄｂｙ２Ｄｂｉｃｕｂｉｃｓｐｌｉｎｅｉｎｔｅｒｐｏｌａｔｉｏｎａｌ-ｇｏｒｉｔｈｍ．Ｔｈｅｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔａｃｃｕｒａｃｙｉｓｐｒｏｖｉｄｅｄｔｏｂｅ１．３２μｍ（２σ），ｗｈｉｃｈｉｓｓｕｆｆｉｃｉｅｎｔｆｏｒｍｅａｓ-ｕｒｅｍｅｎｔｏｆｄｅｆｏｒｍａｔｉｏｎｏｆＰＤＣＭＭ．Ｓｉｎｃｅｔｈｅｓｍａｌｌｓｉｚｅｏｆｔｈｅｉｎｓｔａｌｌａｔｉｏｎｐａｒｔ，ｉｔｉｓａｖａｉｌａｂｌｅｆｏｒｏｎｌｉ
8、ｎｅｍｅａｓｕｒｅ-ｍｅｎｔ．Keywords：ｍｉｃｒｏ-ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ；ＰＤＣＭＭ；ＰＳＤ；ｄｅｆｏｒｍａｔｉｏｎ；ｅｒｒｏｒ；ｓｐｌｉｎｅｉｎｔｅｒｐｏｌａｔｉｏｎ計(jì)算機(jī)融于一體的高精度測(cè)量設(shè)備。用于測(cè)量三1引言維空間內(nèi)的位置信息，可以通過一次夾裝，多點(diǎn)測(cè)量結(jié)
