資源描述：
《雙工件臺軟件設(shè)計(jì)及晶圓傳輸系統(tǒng)的應(yīng)用》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在學(xué)術(shù)論文-天天文庫。
1、碩士學(xué)位論文雙工件臺軟件設(shè)計(jì)及晶圓傳輸系統(tǒng)的應(yīng)用THEDESIGNOFDUALSTAGESOFTWAREANDAPPLICATIONONWAFERTRANSPOARTSYSTEM徐加彥哈爾濱工業(yè)大學(xué)2015年6月國內(nèi)圖書分類號：TP273.5學(xué)校代碼：10213國際圖書分類號：681.52密級：公開工程碩士學(xué)位論文雙工件臺軟件設(shè)計(jì)及晶圓傳輸系統(tǒng)的應(yīng)用碩士研究生：徐加彥導(dǎo)師：張廣瑩副教授申請學(xué)位：工程碩士學(xué)科：控制科學(xué)與工程所在單位：航天學(xué)院答辯日期：2015年6月授予學(xué)位單位：哈爾濱工業(yè)大學(xué)ClassifiedIndex:TP27
2、3.5U.D.C:681.52DissertationfortheMasterDegreeinEngineeringTHEDESIGNOFDUALSTAGESOFTWAREANDAPPLICATIONONWAFERTRANSPOARTSYSTEMCandidate：XuJiayanSupervisor：ViceProf.ZhangGangyingAcademicDegreeAppliedfor:MasterofEngineeringSpecialty:ControlTheoryandEngineeringUnit：Dept.ofC
3、ontrolScienceandEngineeringDateofOralExamination：July,2015University：HarbinInstituteofTechnology哈爾濱工業(yè)大學(xué)工學(xué)碩士學(xué)位論文摘要雙工件臺是光刻機(jī)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)的核心部件，雙工件臺的運(yùn)動(dòng)由多個(gè)電機(jī)共同驅(qū)動(dòng)。由于雙工件臺是高速運(yùn)行的平臺，這樣使得雙工件臺伺服控制系統(tǒng)對實(shí)時(shí)性要求極高。晶圓傳輸升降機(jī)構(gòu)在雙工件臺中負(fù)責(zé)晶圓的上下片，其動(dòng)態(tài)性能和穩(wěn)態(tài)誤差影響光刻機(jī)的產(chǎn)率和晶圓硅片質(zhì)量。本文主要針對雙工件臺嵌入式上下位機(jī)進(jìn)行設(shè)計(jì)，并對晶圓傳輸升降機(jī)
4、構(gòu)進(jìn)行了運(yùn)動(dòng)控制研究。首先，針對雙工件臺的功能需求，確定異構(gòu)平臺的上下位機(jī)系統(tǒng)的軟件總體架構(gòu)。對下位機(jī)Vxworks嵌入式系統(tǒng)結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)介紹，并設(shè)計(jì)了嵌入式主控CPU板與多塊運(yùn)動(dòng)控制卡間的通信機(jī)制；接下來對下位機(jī)Vxworks嵌入式系統(tǒng)進(jìn)行任務(wù)規(guī)劃，包括Vxworks嵌入式系統(tǒng)任務(wù)間同步與通信，任務(wù)間調(diào)度等任務(wù)，最后具體實(shí)現(xiàn)下位機(jī)嵌入式的多任務(wù)實(shí)時(shí)系統(tǒng)。其次，基于MFC開發(fā)了上位機(jī)界面，對異構(gòu)平臺的大小端模式進(jìn)行研究，解決了上下位機(jī)的數(shù)據(jù)傳輸問題，最后基于功能需要詳細(xì)介紹了上位機(jī)程序設(shè)計(jì)，并通過實(shí)驗(yàn)，驗(yàn)證了上位機(jī)的正確性。再次，
5、針對晶圓升降機(jī)構(gòu)控制系統(tǒng)進(jìn)行軟硬件介紹，設(shè)計(jì)了包括傳感器模塊、信號采集卡在內(nèi)的硬件電路，并對運(yùn)動(dòng)控制卡的軟件進(jìn)行了設(shè)計(jì)，最后驗(yàn)證各功能模塊的正確性。最后，利用搭建的軟硬件平臺，進(jìn)行晶圓升降控制系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)，設(shè)計(jì)基于前饋控制的PID控制算法，通過實(shí)物驗(yàn)證控制系統(tǒng)的正確性。關(guān)鍵詞：Vxworks嵌入式系統(tǒng)；MFC上位機(jī)；光刻機(jī)晶圓升降機(jī)構(gòu)；I哈爾濱工業(yè)大學(xué)工學(xué)碩士學(xué)位論文AbstractDualstageisthecorepartofthelithographymotioncontrolsystem.Dualstageisdrivenby
6、multiplemotors.Asthedualstageisaplatformforhigh-speedoperation,whichmakesthedualstagemotioncontrolsystemsfordemandingreal-time.Waferhandlingliftingmechanismresponsibleforthewafertransportindualstagelithographic,itsdynamicperformanceandsteady-stateerroraffecttheyieldof
7、waferlithographyandqualityofsilicon.Inthispaper,theupperandlowersetsofembeddedmachineforthedualstagearedesignedandwafertransferelevatormotioncontrolsystemisdesigned..Firstly,theoverallsoftwarearchitectureofheterogeneousplatformsupperandlowermachinesystemisdeterminedba
8、sedonthefunctionalrequirementsofdualstage.LowermachineVxworksembeddedsystemstructureisintroducedindetailandacommunicationmec
