soi多模干涉型馬赫-曾德光開關(guān)機(jī)理的研究論文

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1、攘簧摘要光電子器件的發(fā)展與應(yīng)用推動(dòng)著光通信系統(tǒng)的進(jìn)步,SOl(SiliconOninsulator)光波導(dǎo)技術(shù)具有優(yōu)異的電學(xué)和光學(xué)性能,并鼠與成熟的硅基CMOS:E藝完全兼容,是發(fā)展低成本光子集成回路的重要趨勢(shì)之~。光耦合器和光開關(guān)都是密集波分復(fù)用(DWOM)光通信系統(tǒng)中必不可少的關(guān)鍵器件?;桫勭R像效應(yīng)(sl黔的多模干涉(MMI)波導(dǎo)型光藕合器具有結(jié)構(gòu)緊湊、撬入損耗低、頻帶寬、劊作工藝簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn),日益得到重視。本文圍繞基于SOl單模脊形光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的MMI耦合器、光微環(huán)諧振器秘馬赫.曾德光開關(guān)震開研究工作。本文首先對(duì)光耦合器、微環(huán)諧振結(jié)構(gòu)和SOl技術(shù)的基本概念、圉外國(guó)內(nèi)外的研究現(xiàn)狀、發(fā)展趨勢(shì)

2、和應(yīng)用前景做了簡(jiǎn)單的介紹。分析比較了凡種主要數(shù)值計(jì)算方法:光束傳播法(BeamPropagationMethod,BPM)、時(shí)域有限差分法(FiniteDifferenceTimeDomain,FDTD)、有效折射率法(EffectiveRefractiveIndexMethod,ElM)等。,然瑟余紹了單模S01脊形光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的攘關(guān)理論,網(wǎng)對(duì)結(jié)合有效折射率方法設(shè)計(jì)出滿足單模傳輸?shù)腟Ol光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)參數(shù),并利用BPM對(duì)設(shè)計(jì)的波導(dǎo)進(jìn)行理論驗(yàn)證,其結(jié)果表明所設(shè)計(jì)的波導(dǎo)結(jié)構(gòu)合理可行。接下來(lái)概述了多模予涉自鏡像效應(yīng)酶原理和研究方法,分別分櫥了普逶多模干涉自鏡像效應(yīng)和重疊多模干涉自鏡像效應(yīng),設(shè)計(jì)并優(yōu)化了

3、兩種2×2多模干涉耦含器:1)多模區(qū)長(zhǎng)、寬分別為41.8Iam、6

4、lm,插入損耗O.1lOdB,分光眈為0.49:0。49的3嘏型藕合器;2)多模區(qū)長(zhǎng)、寬分黲j為88。51am、4“m,插入損耗0。058dB,分光比為O.83:O.12的85:15型耦合器。在上述分析設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)上開展了基于MMI耦合器的光微環(huán)諧振腔的研究,并對(duì)波導(dǎo)諧振環(huán)模型多個(gè)參數(shù)進(jìn)行了仿真模擬,得出了一系列輸如端口光功率的變化覯律。同時(shí),應(yīng)髑FDTD算法模擬了SOI材料的折射率細(xì)微變化所引起的諧振波長(zhǎng)偏移性能,以及諧振波長(zhǎng)偏移鬃隨折射率變化量的曲線關(guān)系,總結(jié)出了鐓環(huán)各參數(shù)對(duì)微環(huán)諧搬性能以及一些參數(shù)的影響《熱FSR、FWH

5、M等)。最后,提出了帶微環(huán)諧振結(jié)構(gòu)的馬赫.曾德光開關(guān),采用FDTD模擬分析了微環(huán)調(diào)制區(qū)引入折射率變化所引起的光開關(guān)輸密端目光功率的改變:未加調(diào)制對(duì)輸磁端蜀光功率分剮為0.21和0.33,舞關(guān)工作在交叉態(tài);當(dāng)微環(huán)調(diào)制區(qū)引入0.001折射率變化后,輸出端口光功率分別為O.50和O.21,開關(guān)工作在直通態(tài)。關(guān)鍵詞:耦合器;馬赫.曾德光開關(guān);多模千涉;微環(huán)諧振腔;柬傳播法;有效折射率法;時(shí)域有限差分法;SOl表鬻大學(xué)醺圭掌緞?wù)撐腁bstractThedevelopmentandapplicationofoptoelectronicdeviceskeepsondrivingtheprogressofh

6、ighspeedandlargecapacityopticalcommunicationsystem,Silicon-on-insulator(soowaveguideisahilghlypromisingstructureforfuturelow-costphotonicintegratedcircuitsduetoexcellentopticalandelectronicprope燃esandtheimplantationofCMOScompatibility,Opticalcouplersandopticalswitchesarethebasiccomponentsforphotoni

7、csystems.Multimodeinterferencecouplers(MMI)basedonselfimagingeffect(SIE)attractconsiderableattentionfortheirexcellentadvantagesincludingcompactsize,lowloss,andeasyfabrication.Inthisthesis,MMIcoupler,opticalmicroringresonator,andMaeh—zehnderswitchbasedOnSOlwaveguidestructuresaleanalyziedanddesignedi

8、ndetail。Thebasicconceptsofconventionalopticalcouplers,microringresonatorandSOItechnology,arereviewed.Thedevelopmenttrendandapplicationprospectarealsointroduced.Andthen,thepronciplesofthebeampropagationmetho

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