資源描述：
《用于硅基氮化鎵可調(diào)微鏡的梳齒型微驅(qū)動(dòng)器的研究》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在學(xué)術(shù)論文-天天文庫。
1、—‘＇＇‘’．■一、？、＂滬？Ｖ：；：＇．．？＾＇Ｖ＇一．＾＾＾？…－＇、、＇－＇＾甘．Ｖ單位代碼：＾、；１０２９３密級(jí)．；片￣，托￣＇、．－設(shè)一巧，．．：‘一—―．＇．、‘：於．．．知：？戶產(chǎn)？．：奸：戶．＇＇．心－－■，．．一盧三＇，，—－：，ｒ；，．．舞為＾《分—．．顆綻；；；奇！；｜喔碁．＇呼ｗ碩女緣僅訟戈；＃媒；；１，■－’、一、＇、。＇？．．一，－、’、．尸‘＇－？．．，．戶：義．巧ｋ。．，．。．？；—＂－＇／，一—．，部聲．ｉ｜Ｓｉ杳：Ｔ山堿＇．；．＞’．
2、：Ｙ．．滿—於，作拜Ｖ＂＂論文題目；于娃基氮化傢巧調(diào)微鏡的梳巧型微驅(qū)動(dòng)器的研究穿聲？用．｜－－．＇－一＇ｖ＇；、‘；．ｆ譯節(jié)．１０１３０３０９２０．＿：Ｖ：學(xué)＼號(hào)＿；苗文度－－—－ｒ，Ｖ，，－；：豐．‘【八次；、一趣名悲＞巧穿每：６心’二＇，導(dǎo)師盤ｊ教授．窺駐．，苗－：心．苗寒學(xué)科專業(yè)並堂王置硏究方向並王趕型蘭式：，心．如苗ｆ／‘‘：．．ｖ；．養(yǎng)蔓申請(qǐng)學(xué)位類別工學(xué)碩±＼Ｖ，４、？＇＇＾；＇＂＂芯２－；論文提器曰期２０?。赌辏丛拢墸牐埽郑埽?，．．、＾思．；．ｃ
3、：心．？．＇‘女去Ｖｒ：心作足；ｒ．．則’軟．氏從－．、．＇．＞．詩一六麵，１誦；滬弊－基．＼織，藻；StudyofelectrostaticcombdriverusedformovableGaNmicromirrorThesisSubmittedtoNanjingUniversityofPostsandTelecommunicationsfortheDegreeofMasterofEngineeringByLiuXinSupervisor:Prof.HuFangrenApril2016摘要基于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的可調(diào)微鏡在通信、計(jì)算、投影、成像等領(lǐng)域具
4、有較好的發(fā)展趨勢(shì)。微驅(qū)動(dòng)器作為一種驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，為實(shí)現(xiàn)微鏡的連續(xù)可調(diào)提供了關(guān)鍵的技術(shù)支撐。近年來，微驅(qū)動(dòng)器在結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)上已經(jīng)比較成熟，但使用材料仍相對(duì)比較單一。氮化鎵作為新一代半導(dǎo)體的代表，與無法自行發(fā)光的傳統(tǒng)硅材料相比，是一種理想的短波長發(fā)光材料。它與硅基材料有著不同的物理特性，因此把氮化鎵材料集成到硅基光微機(jī)電系統(tǒng)從而制備新型微系統(tǒng)或微器件可以擴(kuò)展MEMS的適用領(lǐng)域?；陟o電驅(qū)動(dòng)的梳齒型微驅(qū)動(dòng)器是一種性能優(yōu)良的驅(qū)動(dòng)方式，具有無遲滯、響應(yīng)快、動(dòng)態(tài)范圍大等優(yōu)點(diǎn)，在微驅(qū)動(dòng)器中有著最廣泛的應(yīng)用。本文提出并設(shè)計(jì)了一種用于硅基氮化鎵(GaN)可調(diào)微鏡的梳齒型微驅(qū)動(dòng)器。首先介紹了MEMS系統(tǒng)的
5、概念、應(yīng)用以及發(fā)展現(xiàn)狀，描述了氮化鎵材料的特性和課題研究的背景及意義，概述了靜電梳齒型驅(qū)動(dòng)的基本原理。然后利用有限元軟件COMSOLMultiphysics建立了該器件的幾何結(jié)構(gòu)模型，對(duì)器件的結(jié)構(gòu)(梳齒間隔、梳齒個(gè)數(shù)、梳齒長寬、支撐梁長寬等)進(jìn)行了仿真優(yōu)化，得出施加200V電壓時(shí)，微鏡位移1.93μm。之后對(duì)器件進(jìn)行模態(tài)分析，得出前六階的模態(tài)振型與相應(yīng)的諧振頻率，描述各模態(tài)的運(yùn)動(dòng)情況。此外，采用MEMS制備工藝加工出了用于氮化鎵可調(diào)微鏡的梳齒型微驅(qū)動(dòng)器，并對(duì)其驅(qū)動(dòng)特性進(jìn)行測試。測試結(jié)果表明，所制作的微驅(qū)動(dòng)器的位移隨著電壓的變化呈二次方關(guān)系，與仿真結(jié)果基本一致。當(dāng)施加200V的電壓
6、時(shí)，微驅(qū)動(dòng)器可平移1.08μm。關(guān)鍵詞:MEMS系統(tǒng)，氮化鎵，可調(diào)微鏡，靜電梳齒結(jié)構(gòu)IAbstractMovablemicromirrorbasedonmicroelectromechanicalsystem(MEMS)hasagoodapplicationprospectinthefieldsofopticalcommunication,opticalcomputing,projectiondisplay,opticalimagingandsoon.Asadrivingmechanism,microdriverprovidesthekeytechnologysupportfor
7、thetunablemicromirror.Inrecentyears,microdriverinthedesignofthestructurehasbeenmoremature,buttheuseofmaterialsisstillrelativelysimple.GaNasthethirdgenerationsemiconductormaterials,isakindofidealshortwavelengthlight-emittingmaterials.Comparewi
