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1、多功能納米壓印機(jī)的研制及其在自支撐光柵制備中的應(yīng)用作者：袁長(zhǎng)勝導(dǎo)師：閔乃本教授陳延峰教授南京大學(xué)物理學(xué)院固體微結(jié)構(gòu)物理國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室DesignandFabricationofMulti·-FunctionalNanoimprintMachineandItsApplicationinFabricationofFree--StandingGratingsByChang-ShengYuanSupervisedbyProf．Nai—BenMingProf．Yan—FengChenCollegeofPhysics&NationalLaboratoryofSolidStateMicrostructure
2、s，NanjlingUniversityJuly10恤2010目錄摘要???????????????????????????????????．．IAbstract?????????????????????????????????????????????．III第一部分紫外朦}壓固化多功能納米壓印機(jī)的研制???????????????．．1第一章納米壓印技術(shù)及其應(yīng)用特點(diǎn)????????????????????1參考文獻(xiàn)???????????????????????????????5第二章紫外／熱壓固化多功能納米壓印機(jī)研制????????????????7第一節(jié)多功能納米壓印機(jī)的研制背景與特色??
3、?????????????7第二節(jié)多功能納米壓印機(jī)的功能體系設(shè)計(jì)????????????????8第三節(jié)多功能納米壓印機(jī)的結(jié)構(gòu)單元與零部件設(shè)計(jì)與加工????????．12第四節(jié)多功能納米壓印機(jī)整機(jī)與外觀設(shè)計(jì)???????????????．20第五節(jié)多功能納米壓印機(jī)具體應(yīng)用實(shí)例????????????????．22第三章結(jié)論與總結(jié)??????????????????????????．．25第二部分基于納米壓印技術(shù)的自支撐金透射光柵的設(shè)計(jì)與研制?????????．27第一章金屬自支撐透射光柵???????????????????????27第一節(jié)研究背景與意義???????????????????
4、????．27第二節(jié)金屬自支撐透射光柵的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)????????????????．31第二章基于納米壓印技術(shù)的200rim周期金自支撐透射光柵的制備技術(shù)與工藝?．．33第一節(jié)納米壓印技術(shù)制備200nlTl周期自支撐透射金光柵的工藝流程設(shè)計(jì)??33第二節(jié)納米壓印技術(shù)制備光柵圖案??????????????????．35第三節(jié)金透射光柵的制備??????????????????????．38第四節(jié)金屬支撐結(jié)構(gòu)的制備?????????????????????．40第三章200nill周期金自支撐透射光柵樣品的測(cè)試與表征???????????43第一節(jié)金自支撐透射光柵樣品表面結(jié)構(gòu)表征與分析??????
5、?????．43第二節(jié)金自支撐透射光柵樣品的軟X射線衍射效率的測(cè)試與分析?????48第四章結(jié)論與總結(jié)???????????????????????????55參考文獻(xiàn)??????????????????????????????．56第三部分一維光子晶體／金屬薄膜結(jié)構(gòu)中表面電磁波物理特性的研究???????59第一章導(dǎo)言??????????????????????????????59參考文獻(xiàn)??????????????????????????????．63第二章一維光子晶體表面場(chǎng)增強(qiáng)與局域表面模???????????????67第一節(jié)一維光子晶體能帶結(jié)構(gòu)????????????????????
6、．67第二節(jié)有限周期一維光子晶體的局域表面模??????????????．692．1有限周期一維光子晶體的局域場(chǎng)表面增強(qiáng)效應(yīng)??????????．692．2有限周期1DPC的表面模色散關(guān)系???????????????．71參考文獻(xiàn)??????????????????????????????．73第三章一維光子晶體／金屬薄膜結(jié)構(gòu)中的表面模與表面波???????????75第一節(jié)一維光子晶體／金屬薄膜結(jié)構(gòu)中的表面模?????????????751．1問題的提出?????????????????????????．751．21DPC／金屬薄膜結(jié)構(gòu)的表面模與場(chǎng)分布?????????????．．78第二
7、節(jié)一維光子晶體／金屬薄膜結(jié)構(gòu)參數(shù)對(duì)表面模與表面波的影響?????．．822．11DPC／金屬銀薄膜結(jié)構(gòu)中TE和TM表面模和表面波的透射譜模擬??832．21DPC／金屬銀薄膜結(jié)構(gòu)中TE和TM表面模和表面波的反射譜與角譜模擬研究??????????????????????????????．．88第三節(jié)一維光子晶體／金屬薄膜結(jié)構(gòu)表面模與表面波的實(shí)驗(yàn)研究??????．．923．11DPC／金屬薄膜結(jié)構(gòu)設(shè)
