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《形狀記憶合金驅動微泵的研究》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關內容在學術論文-天天文庫。
1、中文摘要中文摘要Ni前基形狀記憶合金由于具有出色的形狀記憶效應(SME)和超彈性(SE)效應而倍受人們關注。因其具有可恢復應變大、輸出應力高、驅動電壓低和生物相容性好等顯著優(yōu)點，NiTi基薄膜已成為MEMS微驅動器中最具應用潛力的驅動方式之一。但是為了實現(xiàn)器件的實用化，有些相關基礎問題尚需研究。本文首先從形狀記憶合金的研究發(fā)展歷程，分析了國內外同類課題的發(fā)展現(xiàn)狀，探討了SMA薄膜作為微驅動材料目前存在和要解決的問題和發(fā)展趨勢，通過熱彈性馬氏體相變和形狀記憶原理兩個方面詳細地闡述了形狀記憶合金的工作原理。經過磁控濺射制備薄膜實驗研究，分析了
2、薄膜的化學組分和制備工藝因素對薄膜性能的影響，研究了制備工藝中靶材，基片和本底真空度對工藝的影響，為制備出理想的形狀記憶合金薄膜微驅動器材料奠定了實驗基礎，并探索出一條與MEMS工藝兼容可批量制作的SMA薄膜工藝。對實驗制備的SMA合金薄膜的DSC曲線進行分析，發(fā)現(xiàn)實驗制備合金薄膜的相變點在60℃左右；合金薄膜的AFM表征表明，制備的薄膜材料表面晶粒的排列比較緊密，晶粒的尺寸約在200衄。通過對收縮／擴散管的流動特性的分析，得出了收縮／擴散管單向流動工作原理。并用IntelliSuite軟件對制作工藝進行模擬，確定了微泵的制作方案。通過A
3、NSYS軟件對圖形化和非圖形化的驅動器進行了對比，得出了具有具大驅動力的圖形化方案。關鍵詞：形狀記憶合金薄膜；微泵；收縮／擴散管黑龍江大學碩士學位論文AbstractMorea11dmoreanentionisbeingpaidtoNiTiShapememo巧alloysduet0itseXcellentShapeMemoryE舵ct(SME)鋤dSuperelaSticE髓ct(SE)．Theshapememo巧alloythinfilmsarebecomingoIleofthemostpotemialmicro—actuatiIlgm
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