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《《高真空技術(shù)》PPT課件》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在教育資源-天天文庫(kù)。
1、真空物理與技術(shù)第7章高真空技術(shù)高真空技術(shù)真空材料選擇真空清洗技術(shù)真空密封技術(shù)真空系統(tǒng)檢漏真空系統(tǒng)計(jì)算真空系統(tǒng)真空系統(tǒng)真空泵組、真空規(guī)、閥門、管道等按一定要求組合而成，具有一定抽氣功能的裝置基本要求極限真空度和工作真空度一定的抽速合適的殘余氣體組分結(jié)構(gòu)牢靠、操作簡(jiǎn)單、維護(hù)方便真空材料結(jié)構(gòu)材料主體材料，承受大氣壓主要是金屬和玻璃輔助結(jié)構(gòu)材料彈性、絕緣材料，具有特殊性能陶瓷、玻璃、橡膠、塑料真空密封材料零部件連接處、漏氣點(diǎn)輔助密封真空油脂、真空封蠟材料的真空性能材料的擴(kuò)散與滲透性氣體的滲透過(guò)程氣體分子碰撞
2、外壁并吸附吸附時(shí)有的氣體分子能離解成原子態(tài)金屬表面非材料金屬?zèng)]有，氣體不解離惰性氣體不能溶解在晶格中，不能滲透氣體分子（原子）在壁面達(dá)到與環(huán)境氣壓相對(duì)應(yīng)的平衡溶解度與壓強(qiáng)差、溫度相關(guān)在濃度梯度作用下向內(nèi)壁擴(kuò)散（關(guān)鍵環(huán)節(jié)）在內(nèi)壁解吸和釋出滲透速率滲透率與氣體和材料種類相關(guān)金屬：SSCuAl(很小，忽略）FeNi（滲氫)非金屬：滲透過(guò)程和氣體分子直徑和材料空隙相關(guān)避免使用多孔、粗結(jié)構(gòu)、松軟層狀材料材料的真空性能材料的放氣溶解、吸附的氣體在真空環(huán)境中解溶解吸常溫放氣有機(jī)材料：水汽，放棄速率高，隨時(shí)間衰減慢
3、不宜做真空系統(tǒng)內(nèi)部材料金屬玻璃陶瓷：水汽COCO2放氣速率低，隨時(shí)間衰減快高溫放氣高溫放氣主要由體內(nèi)擴(kuò)撒過(guò)程決定金屬：COH2CO2H2O氣體呈原子態(tài)，表面反應(yīng)玻璃、金屬的表面層經(jīng)過(guò)化學(xué)清洗、去脂、拋光、烘烤降低放氣性能材料的真空性能機(jī)械強(qiáng)度材料圓柱端板半球D/hLc/DD1/h1h1/δR/h220℃Cu500℃Cu20℃Ni500℃Ni20℃Al500℃Al20℃SS500℃SS玻璃氯丁橡膠PVC有機(jī)玻璃云母845810090706210589702.5123.7108.51110.598.71
4、1.610.591.73.82.15273378916101430581585731170.291560078047083047030材料的真空性能蒸發(fā)、升華、蒸汽壓不能采用蒸汽壓很高的材料SnPb等蒸汽壓隨溫度升高而改變有機(jī)材料：不能烘烤，蒸汽壓高不能在超高真空下使用化學(xué)穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性承受溫度變化,強(qiáng)度變化電磁性能電子束、粒子束存在的條件下光學(xué)性能真空選材原則結(jié)構(gòu)材料足夠的機(jī)械強(qiáng)度和剛度（大氣壓，烘烤不變形）氣密性好，低的滲透率和放氣率工作溫度和烘烤溫度下低飽和蒸汽壓化學(xué)穩(wěn)定性好，不易氧化和腐蝕
5、，不發(fā)生化學(xué)反應(yīng)熱穩(wěn)定好高低溫下保持真空性能和機(jī)械性能密封材料足夠低的飽和蒸汽壓化學(xué)及熱穩(wěn)定性好，不軟化，不反應(yīng)，不揮發(fā)一定的機(jī)械及物理性能易清洗清除Ifyouarenotsure,don’tuseit.結(jié)構(gòu)材料金屬普通系統(tǒng)低碳鋼、SS、Cu、Al、鋁合金超高真空系統(tǒng)SS、高Ni合金、OFHCAlCu受Hg蒸汽侵襲(Al+5%Si)材料處理方法抽氣時(shí)間(h)抽氣后放氣率(Torr.L/cm2.s)低碳鋼未拋光拋光882*10-82*10-9SS機(jī)制鑄件酒精蒸汽脫脂酒精蒸汽脫脂化學(xué)清洗300C烘烤40
6、0C烘烤1000C烘烤552412241632*10-99*10-102*10-10<10-1210-123*10-1410-17(外推）Al拋光酒精脫脂400C烘烤524167*10-101.5*10-102*10-14結(jié)構(gòu)材料玻璃內(nèi)部結(jié)構(gòu)無(wú)規(guī)則的非晶態(tài)材料（玻璃態(tài)）氣密性、飽和蒸汽壓（忽略）分類鉛玻璃：SiO2、Al2O3、氧化鉛，易加工，電阻率大，照明燈具鈉鈣玻璃：SiO2,Al2O3,Na2O,CaO易加工，真空管外殼硼硅玻璃：SiO2(95%)，氧化硼熱膨脹系數(shù)低，真空系統(tǒng)石英玻璃：SiO
7、2(>98%)，熱膨脹系數(shù)非常低，>900C，加工困難機(jī)械性能差、容易炸裂、溫度（劇烈變化、高溫）破裂只是由于張應(yīng)力的緣故突然冷卻比突然加熱危險(xiǎn)的多最危險(xiǎn)：兩表面穩(wěn)定溫度差（熱梯度）輔助結(jié)構(gòu)材料彈性材料可拆連接處墊圈可活動(dòng)部分的密封圈彈性管子可彎曲彈性連接要求：良好的彈性、耐受一定的溫度、低飽和蒸汽壓、低放氣率和滲透率真空橡膠和人造橡膠彈性材料分類類別名稱化學(xué)成分特性電阻耐火不透熱阻冷阻不耐油天然橡膠丁基碘橡膠聚丁二烯異戊間二烯異戊間二烯/異丁烯丁二烯GGGPPPFEFFGFGFG耐油和耐石油聚硫橡
8、膠氯丁橡膠有機(jī)多硫聚合物氯丁二烯FFPPEEGGFF耐熱硅酮，硅橡膠氟代烴氟化橡膠聚硅氧烷乙烯叉氟化物六氟丙脂烯EEFGFEEEFE:優(yōu)G:良F:中P:差輔助結(jié)構(gòu)材料塑料塑料類別化學(xué)成分商品名特點(diǎn)丙烯聚甲基丙烯酸甲酯人造熒光樹(shù)脂有機(jī)玻璃聚異丁烯酸樹(shù)脂透明，但蒸汽壓高氟代烴聚四氟乙烯聚三氟氯乙烯PTFE特氟倫氟路昂惰性，耐熱耐冷，蒸汽壓低聚乙烯聚乙烯堿烯抗化學(xué)作用聚苯乙烯聚苯乙烯耐輻射、耐冷聚氯乙烯聚氯乙烯乙烯基樹(shù)脂輔助結(jié)構(gòu)材料絕緣材料陶瓷硬，脆，強(qiáng)度高，耐高溫(100
