1 . 膜厚儀操作說(shuō)明1-30頁(yè)

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1、(XULM-XYm.M9A(6.14))P.1螢光膜厚儀Fischerscope使用手冊(cè)機(jī)型﹕FischerscopeXULM-XYm(德國(guó)Fischer公司)(2006/6)(版本6.14)頁(yè)數(shù)1、儀器理想放置環(huán)境………………………………………………P.22、測(cè)試臺(tái)簡(jiǎn)介(包括電源開關(guān)及更換保險(xiǎn)絲)…………………….P.23、電源開啟…………………………………………………………P.44、電腦開機(jī)…………………………………………………………P.55、定位………………………………………………………………P.56、選擇測(cè)試項(xiàng)

2、目……………………………………………………P.97、正?;?Norm)……………………………………………………P.108、測(cè)試步驟及樣品放置方向……………………………………….P.129、印表抬頭之編輯、更改………………………………………….P.1410、快速列印步驟…………………………………………………….P.1511、刪除讀值………………………………………………………….P.1712、測(cè)試時(shí)間之更改………………………………………………….P.1813、測(cè)試單位公制(um)或英制(u”)之選擇………………………..P

3、.1914、光譜分析………………………………………………………….P.2015、樣品顯像放大倍率……………………………………………….P.2116、中英文版軟體更換……………………………………………….P.2217、列印測(cè)試樣品之影像…………………………………………….P.2318、產(chǎn)品程式備份之製造與備份存回至電腦……………………….P.2519、電腦當(dāng)機(jī)之排除………………………………………………….P.3020、電腦關(guān)機(jī)步驟…………………………………………………….P.3021、注意事項(xiàng)……………………………………

4、…………………….P.3222、輻射安全方面…………………………………………………….P.3223、電器安全方面…………………………………………………….P.3324、儀器和附件的維修……………………………………………….P.3325、常用元素符號(hào)、原子序、密度及合金之代表………………….P.3326、列表符號(hào)意義…………………………………………………….P.3427、列表文字意義…………………………………………………….P.3528、測(cè)試範(fàn)圍A、單層B、合金比例及厚度………………….P.35C、雙層………………………

5、……………………..P.3629、StandardDeviation(S)標(biāo)準(zhǔn)差之計(jì)算公式及意義……………..P.3730、C.O.V.[%]變動(dòng)率公式…………………………………………P.3831、影像不清、無(wú)法顯示之處理步驟……………………………….P.3932、底材修正步驟…………………………………………………….P.4133、複製……………………………………………………………….P.4434、附錄:如何重新安裝VideoCard影像擷取卡驅(qū)動(dòng)程式………P.45(XULM-XYm.M9A(6.14))P.21、儀器

6、理想放置環(huán)境A、使用工作環(huán)境:1)溫度:10-25℃2)濕度:40~50%RH3)避免高溫、潮濕及酸氣腐蝕工作環(huán)境B、耗電量:5A(安培)2、測(cè)試臺(tái)簡(jiǎn)介可位移抬面X-Y:250×280mmX-光管:微小聚焦型(Mini-focus)測(cè)試孔徑(collimators):共4組No.1圓型、直徑:0.10mm(4.0mils)No.2圓型、直徑:0.20mm(8.0mils)No.3正方型:0.05×0.05mm(2.0×2.0mils)No.4長(zhǎng)方型:0.03×0.20mm(1.0×8.0mils)測(cè)試臺(tái)左方圖示1.焦距

7、調(diào)整2.X光開關(guān)3.電源開關(guān)4.影像輸出5.RS-232系統(tǒng)連結(jié)接頭6.電源接頭(XULM-XYm.M9A(6.14))P.3測(cè)試臺(tái)右方圖示1.X,Y-Tatle2.系統(tǒng)散熱進(jìn)氣口過(guò)濾海綿測(cè)試臺(tái)正面圖示1.量測(cè)鍵2.停止鍵3.高壓指示燈4.燈管指示燈5.閘門指示燈6.測(cè)試蓋未緊閉指示燈7.電源指示燈8.樣品測(cè)試口(XULM-XYm.M9A(6.14))P.4電源更換保險(xiǎn)絲:保險(xiǎn)絲位於電源座下,請(qǐng)用E型起子,打開保險(xiǎn)絲座,換上同等安培數(shù)之保險(xiǎn)絲即可。3、電源開啟*開啟電腦主機(jī)*開啟測(cè)試臺(tái)(含:照明與高壓開關(guān))*開啟印表機(jī)

8、(註:開機(jī)後,請(qǐng)預(yù)熱約30分鐘後,再行使用)(XULM-XYm.M9A(6.14))P.54、電腦開機(jī)1)啟動(dòng)位於桌面上的FTM圖示FTMXLLM-XYm版本6.14移至確定(OK)位置,按滑鼠一下5、定位1)將定位片(Ag)置於測(cè)試臺(tái)量測(cè)口,將焦距調(diào)整至清晰。(XULM-XYm.M9A(6.14))P.62)移至功能表一般(Ge

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