《蝕刻材料》課件

《蝕刻材料》課件

ID:39111412

大?。?.54 MB

頁數(shù):28頁

時間:2019-06-25

《蝕刻材料》課件_第1頁
《蝕刻材料》課件_第2頁
《蝕刻材料》課件_第3頁
《蝕刻材料》課件_第4頁
《蝕刻材料》課件_第5頁
資源描述:

《《蝕刻材料》課件》由會員上傳分享,免費在線閱讀,更多相關內容在教育資源-天天文庫。

1、蝕刻材料ElectronicMaterials電子材料1234圖6.1蝕刻的底切度5圖6.2(a)等方向蝕刻,(b)非等方向蝕刻6789101112圖6.3 三種乾蝕刻終點偵測器之原理圖131415圖6.4桶狀蝕刻反應器內的正視圖16圖6.5(a)電漿蝕刻和(b)RIE蝕刻的比較17圖6.6三極RIE的概略圖18圖6.7(a)RIE蝕刻機的概略圖,(b)電位分佈圖19圖6.8 濺擊蝕刻和濺鍍的概略圖20圖6.9MERIE(a)以永久磁鐵,(b)以電磁線圈產(chǎn)生磁場21圖6.10 磁場約束電漿蝕刻機的概略圖22圖6.1

2、1離子輔助蝕刻反應的原理23圖6.12ECR蝕刻機的概略圖24圖6.13ICP蝕刻機的概略圖25圖6.14CMP的概略圖262728

當前文檔最多預覽五頁,下載文檔查看全文

此文檔下載收益歸作者所有

當前文檔最多預覽五頁,下載文檔查看全文
溫馨提示:
1. 部分包含數(shù)學公式或PPT動畫的文件,查看預覽時可能會顯示錯亂或異常,文件下載后無此問題,請放心下載。
2. 本文檔由用戶上傳,版權歸屬用戶,天天文庫負責整理代發(fā)布。如果您對本文檔版權有爭議請及時聯(lián)系客服。
3. 下載前請仔細閱讀文檔內容,確認文檔內容符合您的需求后進行下載,若出現(xiàn)內容與標題不符可向本站投訴處理。
4. 下載文檔時可能由于網(wǎng)絡波動等原因無法下載或下載錯誤,付費完成后未能成功下載的用戶請聯(lián)系客服處理。