資源描述：
《明暗場正置金相顯微鏡照明系統(tǒng)設計》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關內容在行業(yè)資料-天天文庫。
1、萬方數(shù)據(jù)第32卷第1期2010年2月光學儀器0PrICALINS汀RUMENTSV01．32。No．1February，2010文章編號：1005—5630(2010)01—0039—05吵暗場正置金相顯微鏡照明系統(tǒng)設計李彌高，古成昌，羅小英(廣州粵顯光學儀器有限責任公司，廣東廣州510095)*摘要：明／暗場正置金相顯微鏡是一種多用途的工業(yè)檢測儀器，近年來應用領域越來越廣泛。現(xiàn)從暗場顯微鏡的光學原理入手，分析明／暗場正置金相顯微鏡照明系統(tǒng)的結構特點，提出照明系統(tǒng)的結構方案，著重介紹落射式暗場聚光鏡的設計方法，以實例的
2、形式得到相應暗場聚光鏡反射面的主截面雙曲線方程，并運用PRO／ENGINEER的基準曲線創(chuàng)建功能，提出一種有效的曲線創(chuàng)建與曲面加工方法。結果證明采用雙曲面作為落射式暗場聚光鏡的反射面能有效提高軸外照明光束的利用率，設計與加工方法是可行的。關鍵詞：暗場顯微鏡；照明系統(tǒng)；暗場聚光鏡；雙曲線方程；Pro／ENGINEER中圖分類號：TH742．4文獻標識碼：Adoi：10．3969／j．issn．1005—5630．2010．01．009Designofilluminatingsysteminbrightordarkfiel
3、duprightmetallurgicalmicroscopeLIMigao，GUChengchang，LUOXiaoying(GuangzhouLissOpticalInstrumentsCo．，Lt也，Guangzhou510095．China)Abstract：Thebrightordarkfielduprightmetallurgicalmicroscopeisakindofmultipurposeindustrycheckandmeasureinstrument，thiskindofmicroscopeapp
4、licationfieldismorewiderinrecentyears．Beginnedwiththeopticalprincipleofdarkfieldmicroscope，thestructurecharacteristicsofilluminatingsysteminbrightordarkfieldmicroscopeareanalyzed．Thestructureschemeofilluminatingsystemisbringedforward．Emphaticallyintroducethedesi
5、gnmethodofreflecteddarkfieldcondenserandobtainthehyperbolicequationofmainsectionofthereflectedsurfaceofdarkfieldcondenserinthedesignexample，andbringforwardthemethodthatcreatdatumcurveandmachiningcurvedsurfacetakingadvantageofthefunctionofcreatingcurveinPro／ENGIN
6、EER．Resultsshowthattheoff-axisilluminatingbeamutilizationfactorisincreasedeffectivelywhenadoptthehyperboloidasthereflectedsurfaceofreflecteddarkfieldcondenser，themethodofdesignandmachiningispractical．Keywords：darkfieldmicroscope；illuminatingsystem；darkfieldconde
7、nser；hyperboloidequation；Pro／ENGINEER引言已有一百多年歷史的光學金相顯微鏡，由于它具有觀察范圍大、使用方便、設備成本低等優(yōu)點，目前仍然是生產和科學研究中最常用的一種工具。隨著電子信息產業(yè)的快速發(fā)展，集成電路的集成度不斷提高，在線檢測或非接觸無電檢測已成為產品制造過程中必不可少的工序，明／暗場正置金相顯微鏡特別適’收稿日期：2009-07—29作者簡介：李彌高(1975一)，男，湖南邵東人，工程師，學士，主要從事光學顯微鏡設計方面的研究。萬方數(shù)據(jù)·40·光學儀器第32卷用于非均質材料表
8、面組織與形態(tài)的檢測與分析，是材料科學與電子信息產業(yè)的理想裝備。1落射式明／暗場正置顯微鏡原理落射式暗場顯微鏡(Thereflectedlightdarkfieldmicroscope)是利用光學上的丁達爾效應，使通過聚光系統(tǒng)的光源中央光束被環(huán)形遮光板阻擋，不能由上而下地通過物鏡照射在標本上，而是使照明光線改變路徑后傾斜地照射在觀察
