磁控濺射技術和透明導電薄膜

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時間:2019-07-14

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資源描述:

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1、磁控濺射技術和透明導電薄膜薄膜的種類及應用磁控濺射技術原理及應用透明導電薄膜性能及應用薄膜:在固體表面上鍍上一層于基體材料不同的薄層材料。厚度通常在幾微米以下。薄膜的種類及應用電子工業(yè):電極、電阻膜、電介質(zhì)膜、絕緣膜、透明導電膜、超導膜等。光學工業(yè):熒光膜、反射膜、增透膜、干涉膜等。機械工業(yè):硬化膜、耐熱膜、耐腐蝕膜等。能源工業(yè):聚熱膜、防反射膜、透射膜等。傳感器:熱敏、氣敏、壓敏、氧氣傳感器、紅外線傳感器等。其它:裝飾膜等。電學薄膜光學薄膜機械薄膜裝飾薄膜薄膜的制備手段氣相法:化學氣相沉積(CVD

2、)物理氣相沉積(PVD)——熱蒸發(fā)濺射離子鍍分子束外延液相法:化學鍍、電鍍、浸漬鍍等。其他方法:噴涂、涂敷等。濺射原理濺射示意圖成膜示意圖薄膜的生長電子在正交電磁場中的運動磁控濺射靶材結構圖磁控濺射儀器結構圖磁控濺射儀器外觀大型多弧離子/磁控濺射鍍膜機??稍谳^大體積的工件表面鍍制厚度均勻的金屬、合金、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物等防腐、耐磨、導電透明等多種功能薄膜。磁控濺射技術的優(yōu)點薄膜與基底的結合力強。鍍膜均勻,可鍍大面積薄膜。鍍膜種類豐富:各種金屬(合金)薄膜各種金屬氧化物、碳化物、氮化物、硼

3、化物等薄膜其它(如類金剛石薄膜等)基底種類豐富:金屬、玻璃、陶瓷、有機玻璃(薄膜)等透明導電薄膜厚度:幾十~幾百納米透明性:與玻璃接近導電性:與金屬接近透明導電薄膜種類氧化銦錫(ITO)摻鋁氧化鋅(ZAO)多層結構:ITO/Ag/ITO、TiO2/Ag/TiO2、ITO/ZnO、SiO2/ITOITO薄膜電學性能電阻率7×10-5~10-4Ω?cm與金屬鉛導電能力接近。ITO薄膜光學性能其他性能反射紅外線(熱鏡)反射電磁波(>80%)吸收紫外線透明導電薄膜的應用液晶顯示器(LCD)觸摸屏太陽能電池除

4、霜防霧保溫、隔熱電磁屏蔽軍事領域:雷達隱身透明導電薄膜發(fā)展前景材料的選擇:開發(fā)新材料應用:拓展新領域謝謝!

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