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《多線切割機的現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在應(yīng)用文檔-天天文庫。
1、萬方數(shù)據(jù)·趨勢與展望·電子工業(yè)EqmpmentforElectronic苣Produ懸ctsM設(shè)anuf備acturin—g圈■二1■口多線切割機的現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢本刊特約稿王I宗摘要：對多線切割機的現(xiàn)狀、代表機型及發(fā)展趨勢作了簡要介紹。關(guān)鍵詞：多線切割機；光伏電池層底；擺動切割；陶瓷繞線輪；鍍金剛砂切割線；激光水刀切割機中圖分類號：TN305文獻標識碼：A文章編號：1004—4507(2008)11-0010．02MultiWireSawCurrentSituationandTrendWANGCong多線切割機作為全新概念的新型切割設(shè)備，從20世紀60年代提出
2、多線切割的理念到今天趨于完善L二經(jīng)歷了四十多個春秋。限于當時技術(shù)水平和控制理念要使多線切割付諸于世的確會有相當大的難度，20世紀80年代中期世界上第一臺町以實用的多線切割機問世。其豐要以機械結(jié)構(gòu)為豐，拉線張力控制采用磁粉離合器，張力調(diào)節(jié)使用弓型機械搖臂，收放線使用帶減速器的交流電機，還配有龐大的齒輪減速箱和鏈條齒輪傳輸機構(gòu)，工作臺驅(qū)動依靠砝碼配重，電控主要足繼電器和時間繼電器。無論機構(gòu)如何，但它畢竟是可以實用的錐犁多線切割機。此后1986—1987年是實驗型的第一代，1988—1990年是第二代，以后大約2～3年更新一代，今天市場銷售的已經(jīng)是第九代第十代多線切
3、割機。多線機切割晶片的彎曲度(BOW)小，翹曲度(Warp)小，平行度(Tarp)好，總厚度公差(TTV)小，片間切割損耗少，加工晶片表面損傷層淺，粗糙度小，切片加工出片率高，生產(chǎn)效率高，投資回報率高。因此，應(yīng)用多線切割機足發(fā)展規(guī)?；a(chǎn)和提高生產(chǎn)效率的必然選擇，使用多線切割機加工各類收稿日期：2008．10．26晶片是必然趨勢，特別適用于太陽能光伏電池超薄基片的批量加J=。進入2l世紀技術(shù)進步和科技發(fā)展，現(xiàn)代多線切割機科技含帚已與21世紀80年代不能同日而語，今大的多線切割機已經(jīng)集成了現(xiàn)代制造技術(shù)、工藝技術(shù)，現(xiàn)代控制技術(shù)、現(xiàn)代傳感技術(shù)和新型材料，例如交流伺服
4、電機及驅(qū)動系統(tǒng)、工、【k控制計算機、運動控制卡及總線系統(tǒng)、主軸油霧潤滑冷卻及間隙密封單元、恒定張力快速走線系統(tǒng)等。山?。陨舷到y(tǒng)的擇優(yōu)選用，使現(xiàn)代多線切割機適用于大直徑IC硅片，光伏電池襯底超薄片，砷化鎵、磷化鋼、碳化硅、鯤酸鉀、鉭酸鋰、光學(xué)玻璃等多種硬脆材料的切片加工。l多線切割機的主要制造商家極其特點廿l=界范圍內(nèi)制造多線切割機的主要商家足瑞士和日系公司，主要有：公司代表機型瑞士HCTE400SD／500SDE400E．12MEYERBURGERD$264／265B$800／801日本NTCMWM444B／454B／442DM匭q萬方數(shù)據(jù)ui烹pmen子t
5、for工Electr業(yè)onic苣Produ用ctsM設(shè)anuf備acturing一．趨勢與展望．·趄劈與晨星·高鳥MWS_44SN／-610SD安永TW320多線切割機的主要技術(shù)指標有：加工工件最人尺寸；卸載方式；鋼絲行走方式主軸數(shù)；切割線控張力制；最大鋼絲速度；線輪直徑；鋼絲儲線容量。瑞士HCT公司成立于1984年，正是多線切割機醞釀期，公司主攻多線切割機，10年磨一劍，20世紀90年代中期推出E400SD、E500SD、DNC900／G多種大型多線切割機迅速占領(lǐng)品片切割市場。上述兩種機型均為陰軸多線切，其中前者為雙臺面切割機。E500ED一8及E400E一
6、12為300mm設(shè)備。公司推出的多線切方機可同時切方晶錠525根，適用于太陽能光伏電池準方片的晶錠刨方加工。HCT公司的E400SD照片瑞士的MEYERBURGER是著名的大直徑內(nèi)圓切片機供應(yīng)商，而在多線切割機的開發(fā)上有點滯后，但后來高效多產(chǎn)也使其在多線切割機市場占據(jù)重要地位。其DS264／265種機型在中國市場占有率較高，機器本身體積龐大，較重，穩(wěn)定性好，切片精度較高。DS264為雙軸雙電機驅(qū)動，驅(qū)動力較人。但軸和電機轉(zhuǎn)動慣量較大，空載時兩軸同步性較難掌握，換線輪繞線較繁瑣。裝料長度800mm可在長度方向裝載125mill×125mm×400mm晶錠兩根，切
7、出180斗m薄片。DS265切割最大直徑巾300rain裝載長度300mm，可選擇雙工件臺同時切割兩根晶錠和鍍金剛石粉的鋼絲線及晶錠擺動切割單元。DS271型可使裝載能力提高20％。日本NTC的機犁較多，在世界市場占有率較高，其MWM442DM性價比高，固內(nèi)廠家購買較多，該機兩根土軸線輪使用一臺電機驅(qū)動，主動輪和被動輪之間通過切割鋼絲線連接，最小20N的張力纏繞數(shù)百圈，被動輪不會丟轉(zhuǎn)且制造成本降低，主動輪、收線輪、放線輪均為交流電機帶變頻器，控制系統(tǒng)根據(jù)張力采樣分別對各電機發(fā)出啟動、停止、加速、減速指令，控制各電機運轉(zhuǎn)。線速最大l000m／min，可往復(fù)行走。
8、機器內(nèi)部設(shè)有斷線保護裝置一旦斷線整機立
