資源描述：
《ITO靶材制備技術(shù)進(jìn)展》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在應(yīng)用文檔-天天文庫。
1、B60ITO靶材制備技術(shù)進(jìn)展孫本雙張紅梅扈百直劉孝寧王東新劉秉寧（西北稀有金屬材料研究院，國(guó)家鉭鈮特種金屬材料工程技術(shù)研究中心，寧夏石嘴山市753000）摘要：本文詳細(xì)介紹了氧化銦錫（ITO）靶材的性能與應(yīng)用，分析了國(guó)內(nèi)外ITO靶材制備技術(shù)的發(fā)展，比較了國(guó)內(nèi)外主要ITO靶材生產(chǎn)廠家的生產(chǎn)狀況，最后介紹了西北稀有金屬材料研究院ITO靶材研發(fā)和生產(chǎn)進(jìn)展。1、ITO靶材的性能及應(yīng)用摻錫氧化銦（IndiumTinOxide,簡(jiǎn)稱ITO）材料是一種n型半導(dǎo)體材料，該種材料包括ITO粉末、靶材、導(dǎo)電漿料及ITO透明導(dǎo)電薄膜。ITO粉末
2、是制備ITO靶材和導(dǎo)電漿料的原料，ITO靶材是磁控濺射制備ITO透明導(dǎo)電薄膜的原料。這種透明導(dǎo)電薄膜對(duì)可見光透過率>85％，紅外光反射率達(dá)90%，且導(dǎo)電性好，有優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性、熱穩(wěn)定性和刻蝕性，是一種用途十分廣泛的特種薄膜材料，主要用作透明電極。其主要應(yīng)用分為：1、平板顯示器（FPD）產(chǎn)業(yè)，如液晶162顯示器（LCD）、薄膜晶體管顯示器（TFT-LCD）、電激發(fā)光顯示器（EL）、場(chǎng)發(fā)射顯示器（FED）、電致有機(jī)發(fā)光平面顯示器(OELD)、等離子顯示器(PDP)等；2、光伏產(chǎn)業(yè)，如薄膜太陽能電池；3、功能性玻璃，如紅外線反
3、射玻璃、抗紫外線玻璃如幕墻玻璃、飛機(jī)、汽車上的防霧擋風(fēng)玻璃、光罩和玻璃型磁盤等三大領(lǐng)域（圖1）。163圖1ITO靶材的應(yīng)用領(lǐng)域在LCD上的應(yīng)用，如圖2所示，其可形成電極，與液晶電極構(gòu)成正負(fù)極以驅(qū)動(dòng)液晶分子旋轉(zhuǎn)，以呈現(xiàn)出不同的文字、圖案與畫面。ITO透明導(dǎo)電薄膜在顯示器及光電產(chǎn)品的應(yīng)用上，扮演著關(guān)鍵的角色。ITO靶材是LCD產(chǎn)業(yè)鏈的重要一環(huán)，是基本的配套材料。近年來隨著平面顯示器行業(yè)的蓬勃發(fā)展，對(duì)ITO靶材的需求也大大增長(zhǎng)。因此無論是靶材生產(chǎn)商或使用者，都非常關(guān)注ITO靶材的動(dòng)向，其后續(xù)發(fā)展更是值得觀注的課題。圖2ITO在T
4、FT-LCD的應(yīng)用示例2、ITO靶材的市場(chǎng)需求及供應(yīng)164隨著中國(guó)經(jīng)濟(jì)的發(fā)展和全球產(chǎn)業(yè)分工的深化，日本、臺(tái)灣地區(qū)、韓國(guó)的許多平板顯示器制造企業(yè)都將他們的制造基地移到中國(guó)大陸。如液晶顯示器制造巨頭三星、LG-Philips、臺(tái)灣的友達(dá)光電等已紛紛在中國(guó)內(nèi)地建廠，未來中國(guó)大陸將成為全球最大的液晶顯示器制造中心。同時(shí)中國(guó)許多本土企業(yè)也正規(guī)劃或已經(jīng)涉入TFT-LCD、OLED、LCDTV等產(chǎn)品的研究與制造。未來幾年全世界LCD市場(chǎng)整體數(shù)量將以每年20%以上的速度增長(zhǎng)，預(yù)計(jì)2007年將增至420億美元，2010年LCD產(chǎn)值將超過80
5、0億美元。ITO靶材作為制造LCD的三大關(guān)鍵材料之一，需求量也隨之穩(wěn)[1]定成長(zhǎng)。2007年國(guó)內(nèi)ITO靶材需求量約150噸，預(yù)計(jì)2010將超過500噸（表１）。2001年以前ITO靶材的用途主要以STN及彩色濾光片為主，其中用于TN-LCD約占9％,用于STN-LCD約占17％,PDP約占12％，TFT-LCD18％，CF36％，其他約5％。隨著平板顯示產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，今后將向TFT-LCD應(yīng)用轉(zhuǎn)移。表１當(dāng)前國(guó)內(nèi)ＴＦＴ－ＬＣＤ生產(chǎn)線建設(shè)情況公司名稱地址投資技術(shù)開建量產(chǎn)規(guī)格產(chǎn)能（片狀態(tài)備注/月）深圳汕尾3億USDG2.520
6、052007.9400×30k規(guī)模生＜4寸液晶信利500mm產(chǎn)上海上海33億RMBG4.520062008730×30k規(guī)模生＜4寸產(chǎn)品天馬920mm產(chǎn)京東方成成都31億RMBG4.520082009.10730×30k規(guī)模生液晶、筆記都920mm產(chǎn)本京東方光北京13.4億USDG520032005.51200×100k規(guī)模生小尺寸液晶電科技1300mm產(chǎn)165上廣電上海80億RMBG5200220041200×90k規(guī)模生液晶顯示、NEC1300mm產(chǎn)筆記本龍騰光電昆山7億USDG5200420051200×30k規(guī)模生
7、液晶顯示、1300mm產(chǎn)筆記本深超廣電深圳15億USDG5200620081200×60k+規(guī)模生液晶顯示、1300mm30k產(chǎn)筆記本武漢天馬武漢40億RMBG4.520082010.12730×30k建設(shè)中＜15寸產(chǎn)品920mm成都天馬成都30億RMBG4.520082010730×30k建設(shè)中＜15寸產(chǎn)品920mm京東方合合肥175億RMBG620092010.121500×90k建設(shè)中液晶電視肥1850mm中電熊貓南京138億RMBG6200920111500×60+建設(shè)中液晶電視1850mm20k龍騰光電昆山8.7
8、億USDG7.5200920111950×90k建設(shè)中液晶電視2250mm京東方北京280億RMBG8.520092011.32200×90k建設(shè)中液晶電視2500mm龍飛光電昆山33億USDG8.5200920112200×90k建設(shè)中液晶電視2500mm深圳華星深圳245億RMBG8.52010.1
