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《微光電實驗室》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在行業(yè)資料-天天文庫。
1、實驗室簡介潔淨(jìng)室介紹氣體系統(tǒng)環(huán)安系統(tǒng)純水系統(tǒng)潔淨(jìng)室的定義將一定空間範(fàn)圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子排除，並將室內(nèi)之溫度、濕度、潔淨(jìng)度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分佈、噪音、震動、照明及靜電控制在某一需求範(fàn)圍之空間，稱之。微光電實驗室溫度控制在22±1。C，濕度為55±5％。潔淨(jìng)室的等級潔淨(jìng)度1（class1）代表每立方英呎室內(nèi)之空氣所含有大或等於0.5um之微塵粒子不超過1顆潔淨(jìng)度10級則不超過10顆，依此類推。微光電實驗室分為100、1000、10000級三個區(qū)域，100級為E-beamwriter專屬區(qū)域，
2、1000級為黃光室內(nèi)有cleanbench、Aligner、bonder及量測設(shè)備，10000級為鍍膜、CVD、爐管設(shè)備區(qū)域。潔淨(jìng)室的設(shè)計本實驗室100級採垂直層流式設(shè)計，空氣氣流運動成一均勻之直線，經(jīng)由安裝在天花板上的FFU進(jìn)入室內(nèi)，再由高架地板回風(fēng)。1000及10000級則採亂流式設(shè)計，空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔淨(jìng)室天花板上的HEPA進(jìn)入潔淨(jìng)室，並由潔淨(jìng)室兩側(cè)隔間牆板回風(fēng)。氣流非直線型運動而成不規(guī)則亂流或渦流狀態(tài)。註：FFU為HEPA(終端濾網(wǎng))+送風(fēng)機排氣風(fēng)車洩漏氣回風(fēng)外氣入循環(huán)風(fēng)車前級濾網(wǎng)初級濾網(wǎng)
3、中級濾網(wǎng)冰水盤管加濕器加熱線圈排氣風(fēng)車設(shè)備空調(diào)箱純水系統(tǒng)介紹?純水系統(tǒng)主要為去除水中之不純物,包括懸浮物、微粒子、有機物、維生物、電解質(zhì)及氣體等,由此提高純水電阻值至極限程度,以確保水質(zhì)之高純度。?無塵室使用純水的電阻值一般在18MΩ.以上,阻值越高代表水質(zhì)越好,因為離子越少。純水製造流程微光電實驗室的環(huán)安系統(tǒng)?廢水處理?廢氣處理?氣體監(jiān)測與遮斷系統(tǒng)?逃生路線規(guī)劃及消防系統(tǒng)配置實驗室安全課程消防系統(tǒng)平面圖環(huán)安系統(tǒng)微光電實驗室逃生路線及消防系統(tǒng)配置圖二氧化碳滅火器位置逃生路線偵溫器沖身洗眼器回風(fēng)道HDP
4、EtcherLPCVDE-BeamWriterSputterE-GunPECVDFurnaceICPgasroomAirshowerE-Gun+ThermalDektakCleanbenchOMSpinnerengineroomDryScrubberOfficeEllipsometerRTAProbestationBonderAlignerUV-Ozone走廊走廊實驗室使用的氣體氣體監(jiān)測與遮斷系統(tǒng)緊急自動遮斷氣體濃度監(jiān)測氣瓶櫃中的氣體偵測器警報停止鈕氣體監(jiān)控系統(tǒng)位於無塵室入口正前方緊急遮斷氣體濃度監(jiān)測
5、警報信號燈停止供氣鈕氣體濃度監(jiān)測器復(fù)歸1.依序按下Menu鍵、Enter鍵2.按下F5鍵，跳出特殊氣體外洩警報處理程序氣體偵測器偵測到某氣體外洩，超過Alarm1設(shè)定值時開始動作（警報響，警示燈亮），超過Alarm2設(shè)定值時，已斷電停止供氣。警報動作時，觀察氣體濃度監(jiān)測器螢?zāi)?，該氣體是否持續(xù)有外洩讀值，若氣體持續(xù)外洩超過Alarm2設(shè)定值時，請立即按下停止送氣開關(guān)。若無氣體外洩，則按下警報停止鈕，拉起停止送氣開關(guān)（繼續(xù)供氣），解除氣體濃度監(jiān)測器自動斷氣的功能。廢水處理系統(tǒng)混合池調(diào)勻池1調(diào)勻池2活性碳池
6、PH值偵測器鼓風(fēng)機加藥機排放4F暫存槽Cleanbench稀釋後排出Wetscrubber廢水處理槽酸鹼廢氣BCl3HBrCl2SiCl4燃燒吸附水洗SiH4NH3DCSTEOSH2DryScrubberWetScrubber廢水處理槽廢氣處理系統(tǒng)
