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《微光學研究及其應用》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在工程資料-天天文庫。
1、［論文題目］1摘耍：1關(guān)鍵詞：1TheResearchAndApplicationOftheMicroOptics1Abstract:1Keywords:10前言21微光學主耍內(nèi)容21」梯度折射率光學21.2二元光學32微光學器件42.1陣列光學器件52.2衍射光學器件52.3三維集成光學器件62.4自聚焦透鏡63微光機系統(tǒng)及其應用73.1微光機電系統(tǒng)73.2微光機電系統(tǒng)的特點73.3微光機電系統(tǒng)精確控制方面的應用83.4微光機電系統(tǒng)在軍事領(lǐng)域和空間的應用93.5微光機電系統(tǒng)的應用前景和展望114微光
2、學集成探測器114.1微光學集成探測器原理114.2結(jié)構(gòu)設計124.3微光學集成探測器展望125微光學的加工方法125.1光刻方法125.2蝕亥IJ方法135.3超精密機械加工技術(shù)146結(jié)論15參考文獻15微光學研究及其應用摘要：本文主要概括了微光學的主要內(nèi)容以及應用現(xiàn)狀和前景。微光學技術(shù)是90年代發(fā)展起來的光電前沿學科，是光電技術(shù)陣列化、微型化、智能化的主要發(fā)展方向。由于微光學技術(shù)的迅速發(fā)展，促進了微光學元件在實踐屮的應用，木文通過對陣列光學元件、衍射光學器件、三維集成光學器件、自聚焦透鏡的描述，介
3、紹了微光學器件的研究、應用及加工方法。微光學近代發(fā)展方向有微光學與微機電結(jié)合成微系統(tǒng)以及微光學探測。微光機電系統(tǒng)（MOEMS）是近兒年在微機電系統(tǒng)（MEMS）中發(fā)展起來的一支極具活力的新技術(shù)系統(tǒng)，它是由微光學、微電了和微機械相結(jié)合而產(chǎn)生的一種新型的微光學結(jié)構(gòu)系統(tǒng)。對于微型以及微弱探測，本文提出一?種微光學集成探測器。微光學將給傳統(tǒng)光學、傳統(tǒng)工業(yè)帶來根本性的變化。關(guān)鍵詞：微光學微光學器件微光機電系統(tǒng)微光學集成探測TheResearchandApplicationoftheMicroOpticsAbstr
4、act:ThisarticlemainlysummarizesthemajorcontentoftheMicroOpticsaswellasitscurrentsituationandprospect.TheMicroOpticswasdevelopedintoaforwardsubjectofOpticsinthe1990'sandithasbecometheprincipaldirectionsofanaying,micromationandintelligentizationoftheoptic
5、stechnology.TherapiddevelopmentoftheMicroOpticshasstimulatedtheapplicationofthe?Thisarticlewillintroducetheresearch,applicationandmanufacturingmethodofthemicroopticsdevicethroughthedescriptionofarrayedopticsdevice,diffractionopticsdevice,3Dintegratedopt
6、icsdeviceandauto-focusinglens.TheMicroOpticsdevelopstowardstwodirection,-themicro-systemincorporatedbytheMicro-OpticsandthemicromechanicsandtheMicroOpticsScanning.MOEMSisaveryvigorousnewtypeofthemicroopticsstructuresystemwithafewyears'originincorporated
7、bytheMicroOptics,theMicroElectronicsandtheMicroMechanics?Andanewmicroopticsintegratedscannerwillbeintroducedinthispaperintheaspectofmicromationandmicroscanning?Themicroopticswillbringthefundamentalchangestothetraditionalopticsandindustry.Keywords:MicroO
8、pticsmicroopticsdevicemoemsmicroopticsintegratedscanner0前言⑴近年來隨著微電子學和光電子學的快速發(fā)展，微光學這一新的學科領(lǐng)域的研究正在興起。微光學是研究一維、二維和三維的小型化光學器件和系統(tǒng)的一門高技術(shù)。它涉及到材料研制、設計、精細加工、器件集成以及用其實現(xiàn)光束發(fā)射、聚焦、準直、偏折、分割、復合、開關(guān)、耦合、接收等功能和光纖傳感、光學信息處理、成像系統(tǒng)、光通信、光計算、光互連、光盤、光學神經(jīng)網(wǎng)絡和生
