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《MEMS器件設(shè)計(jì)與原理.pdf》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線(xiàn)閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在行業(yè)資料-天天文庫(kù)。
1、CourseNo.04813190MEMS器件與設(shè)計(jì)MEMSDevices&Design教室：二教5082009年2月24日時(shí)間：每周二5:30-8:30pmFeb17-June1th,2009教師張海霞，教授62752536-17，Cell:13701113366Email：zhanghx@ime.pku.edu.cn楊振川，副教授62752536-18Email:Z.yang@ime.pku.edu.cnOffice:IME,PKU,2ndfloorOfficehour,9am-8pmeveryday北京大學(xué)微電子學(xué)研究院MEMS器件與設(shè)計(jì)（第一講）張海霞2009-2-17
2、課程簡(jiǎn)介本課程的主要內(nèi)容是通過(guò)深入細(xì)致地講述MEMS設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)理論和研究方法，結(jié)合幾種常用的MEMS器件作為研究實(shí)例，讓學(xué)生了解和掌握MEMS器件和系統(tǒng)，從原理設(shè)計(jì)、工藝設(shè)計(jì)、系統(tǒng)設(shè)計(jì)，到加工測(cè)試的整個(gè)設(shè)計(jì)過(guò)程，以及其中應(yīng)該關(guān)注的主要問(wèn)題和這些問(wèn)題的研究、解決方法。同時(shí)，培訓(xùn)目前MEMS研究中常用的軟件工具，讓學(xué)生掌握最先進(jìn)的輔助研究工具，提高設(shè)計(jì)效率和質(zhì)量。北京大學(xué)微電子學(xué)研究院MEMS器件與設(shè)計(jì)（第一講）張海霞2009-2-17課程安排2月17日CourseOverviewLecuture1:IntroductiontoMEMS，Instructor：ZHANGHaixia
3、2月24日Lecture2:SmallisDifferent:MEMSDesignandFabrication，Instructor：ZhangHaixia3月03日Lecture3:IntroductiontoMechanicsofMaterials，Instructor：YANGZhenchuan3月10日Lecture4:SensingandActuationofMEMS，Instructor：YANGZhenchuan3月17日Lecture5:ProcessDesignTechnology，Instructor：YANGZhenchuan3月24日Lecture6:P
4、rocessEffectonstructuredesign&Layoutdesign,Instructor：YANGZhenchuan3月31日Lecture7:SoftwareTraining:ANSYS(1)，Instructor：YANGZhenchuan4月07日Lecture8:SoftwareTraining:ANSYS(2)，Instructor：YANGZhenchuan4月14日Lecture9:SoftwareTraining:ANSYS(3)，Instructor：YANGZhenchuan4月21日Lecture10:MEMSSystemDesign，I
5、nstructor：YANGZhenchuan4月28日Lecture11:MEMSInertialSensors，Instructor：YANGZhenchuan5月05日Lecture12:MEMSDevicedesign1:Accelerometer，Instructor：YANGZhenchuan5月12日Lecture13:MEMSDevicedesign2:SiCPressureSensor，Instructor：ZHANGHaixia5月19日Lecture14:MEMSDevicedesign3:Bio-MEMS，Instructor：ZhangHaixia5月
6、26日Lecture15:Future:NEMS，Instructor：ZhangHaixia6月01日Lecture16:FinalProject北京大學(xué)微電子學(xué)研究院MEMS器件與設(shè)計(jì)（第一講）張海霞2009-2-17課程評(píng)分標(biāo)準(zhǔn)FirstProjectFinalProject20%50%Homework30%北京大學(xué)微電子學(xué)研究院MEMS器件與設(shè)計(jì)（第一講）張海霞2009-2-17北京大學(xué)信息學(xué)院微電子學(xué)研究院張海霞AliceZhangzhanghx@ime.pku.edu.cn62752536-17提提綱綱一、MEMS的定義與特點(diǎn)二、MEMS的發(fā)展歷程三、北大的MEMS
7、研究四、作業(yè)北京大學(xué)微電子學(xué)研究院MEMS器件與設(shè)計(jì)（第一講）張海霞2009-2-17一、MEMS微機(jī)電系統(tǒng)Micro-Eelectro-MechanicalSystems，簡(jiǎn)稱(chēng)MEMS，是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展并拓寬起來(lái)的微小型化革命，它是集物理、化學(xué)和生物的敏感器（執(zhí)行信息獲取功能）、執(zhí)行器與信息處理和存儲(chǔ)為一體的微型集成系統(tǒng)，泛指采用大批量微機(jī)械加工方法制造的微小型集成器件和系統(tǒng)。北京大學(xué)微電子學(xué)研究院MEMS器件與設(shè)計(jì)（第一講）張海霞2009-2-17大腦－信息處理(集成電路)腿腳－
