傳感與測(cè)試技術(shù) 教學(xué)課件 作者 978-7-302-28748-3 第3章-常用傳感器3.3.2電量型—電荷輸出型.ppt

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1、常用傳感器傳感器定義、組成及分類(lèi)電參量型傳感器電量型傳感器光電式傳感器光纖傳感器數(shù)字式傳感器2021/9/171電壓輸出型傳感器電荷輸出型傳感器電量型傳感器測(cè)量電路電量型傳感器2021/9/172電荷輸出型傳感器被測(cè)量變化能引起傳感器輸出電荷或電流變化的傳感器統(tǒng)稱(chēng)為電荷輸出型傳感器。電荷輸出型傳感器直接輸出的是電量,后續(xù)測(cè)量電路只需電荷放大器或電壓放大器即可。在此將重點(diǎn)介紹典型的電荷輸出性傳感器——壓電式傳感器。2021/9/173壓電式傳感器(PiezoelectricSensor)是以具有壓電效應(yīng)的壓電器件為核心組成的傳感器。能實(shí)現(xiàn)機(jī)

2、械能和電能的相互轉(zhuǎn)換,是典型的雙向能量轉(zhuǎn)換型傳感器,故又稱(chēng)為自發(fā)電式和機(jī)電轉(zhuǎn)換式傳感器。應(yīng)用其正壓電效應(yīng)可實(shí)現(xiàn)壓力等非電量的電測(cè)量,輸出電荷量,是典型的電量型傳感器;應(yīng)用其逆壓電效應(yīng),可制成力發(fā)生器、位移驅(qū)動(dòng)器等。壓電式傳感器2021/9/174壓電效應(yīng)壓電效應(yīng):某些電介質(zhì)物體在某方向受壓力或拉力作用產(chǎn)生形變時(shí),表面會(huì)產(chǎn)生電荷;當(dāng)外力撤消后,物體又重新回到不帶電狀態(tài),這種現(xiàn)象成為壓電效應(yīng)。當(dāng)作用力方向改變時(shí),電荷極性隨之改變,把這種機(jī)械能轉(zhuǎn)化為電能的現(xiàn)象稱(chēng)為“正壓電效應(yīng)”,簡(jiǎn)稱(chēng)壓電效應(yīng)。壓電式傳感器FF極化面圖3.57正壓電效應(yīng)原理圖20

3、21/9/175壓電效應(yīng)壓電式傳感器三效應(yīng):橫向效應(yīng):沿y軸加力切向效應(yīng):垂直z軸方向形成力矩。縱向效應(yīng)橫向效應(yīng)切向效應(yīng)石英晶體的三軸:X軸—電軸。在垂直于此軸的面上壓電效應(yīng)最強(qiáng)。Z軸—光軸,也稱(chēng)中性軸。光線(xiàn)沿該軸通過(guò)石英晶體時(shí),無(wú)折射,沿該軸方向上沒(méi)有壓電效應(yīng)。Y軸—機(jī)械軸。在電場(chǎng)作用下,沿該軸方向的機(jī)械變形最明顯。縱向效應(yīng):沿x軸加力2021/9/176壓電效應(yīng)壓電式傳感器逆壓電效應(yīng)(Reversepiezoelectriceffect):由于外電場(chǎng)作用導(dǎo)致物體的機(jī)械變形現(xiàn)象,稱(chēng)為逆壓電效應(yīng),又稱(chēng)電致伸縮效應(yīng)。具有壓電性的電介質(zhì)(壓電

4、材料),能實(shí)現(xiàn)機(jī)-電能量的相互轉(zhuǎn)換。2021/9/177壓電材料壓電材料的主要性能參數(shù):壓電常數(shù)(piezoelectricityconstant):衡量材料壓電效應(yīng)強(qiáng)弱的參數(shù),直接關(guān)系到壓電輸出靈敏度。彈性常數(shù)(elasticityconstant):材料的彈性常數(shù)(剛度)決定著壓電器件的固有頻率和動(dòng)態(tài)特性。介電常數(shù)(dielectricconstant):固有電容與介電常數(shù)有關(guān),而固有電容又影響著壓電傳感器的頻率下限。機(jī)電耦合系數(shù)(machine-electricalcouplingcoefficient):在壓電效應(yīng)中,轉(zhuǎn)換輸出的能

5、量(如電能)與輸入的能量(如機(jī)械能)之比的平方根。它是衡量壓電材料機(jī)電能量轉(zhuǎn)換效率的一個(gè)重要參數(shù)。電阻(resistance):壓電材料的絕緣電阻將減少電荷泄漏,從而改善壓電傳感器的低頻特性。居里點(diǎn)(curiepoint):壓電材料開(kāi)始喪失壓電性的溫度。壓電式傳感器2021/9/178壓電材料壓電材料的分類(lèi):壓電晶體(piezoelectriccrystal)、壓電陶瓷(piezoelectricceramics)、新型壓電材料。石英晶體(quartz,SiO2)具有壓電性的單晶體統(tǒng)稱(chēng)為壓電晶體。單晶材料的壓電效應(yīng)是由于這些單晶受外應(yīng)力時(shí)

6、內(nèi)部晶格結(jié)構(gòu)變形,是原來(lái)宏觀表現(xiàn)的電中性狀態(tài)被破壞而產(chǎn)生電極化。石英晶體是典型而常用的壓電晶體。主要性能特點(diǎn):壓電常數(shù)小,其時(shí)間和溫度穩(wěn)定性好;機(jī)械強(qiáng)度和品質(zhì)因數(shù)高,剛度大,固有頻率高,動(dòng)態(tài)特性好;居里點(diǎn)573℃,無(wú)熱釋電性,且絕緣性好、重復(fù)性均好。壓電式傳感器2021/9/179壓電材料石英陶瓷(piezoelectricceramics)壓電陶瓷是一種經(jīng)極化處理后的人工多晶鐵電體。所謂“多晶”,它是由無(wú)數(shù)細(xì)微的單晶組成;所謂“鐵電體”,它具有類(lèi)似鐵磁材料磁疇的“電疇”結(jié)構(gòu)。每個(gè)單晶形成一單個(gè)電疇,無(wú)數(shù)單晶電疇的無(wú)規(guī)則排列,致使原始的壓

7、電陶瓷呈現(xiàn)各向同性而不具有壓電性。要使之具有壓電性,必須作極化處理。極化處理(polarization):在一定溫度下對(duì)材料施加強(qiáng)直流電場(chǎng),迫使“電籌”趨向外電場(chǎng)方向作規(guī)則排列;極化電場(chǎng)去除后,趨向電籌基本保持不變,形成很強(qiáng)的剩余極化,從而呈現(xiàn)壓電性。壓電式傳感器2021/9/1710壓電材料石英陶瓷(piezoelectricceramics)主要性能特點(diǎn):壓電常數(shù)大,靈敏度高;制造工藝成熟,成形工藝性也好,成本低廉,利于廣泛應(yīng)用;具有熱釋電性。新型壓電材料新型壓電材料常見(jiàn)的有壓電半導(dǎo)體和有機(jī)高分子壓電材料。壓電半導(dǎo)體(piezoele

8、ctricsemiconductor):其顯著特點(diǎn)是:既具有壓電特性,又具有半導(dǎo)體特性。有機(jī)高分子壓電材料:合成高分子聚合物(質(zhì)輕柔軟,抗拉強(qiáng)度較高,蠕變小,耐沖擊,熱釋電性和穩(wěn)定相較好,便于

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