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《半導(dǎo)體氧化物薄膜的制備及其性能研究.pdf》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線(xiàn)閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在行業(yè)資料-天天文庫(kù)。
1、分類(lèi)號(hào)：0611密級(jí)：公開(kāi)單位代碼：10427學(xué)號(hào)：2011010117濟(jì)南蟲(chóng)毒’碩士掌位論文半導(dǎo)體氧化物薄膜的制備及其性能研究研究生姓名導(dǎo)師姓名學(xué)科(領(lǐng)域)申請(qǐng)學(xué)位類(lèi)別答辯時(shí)間郝沛沛陳長(zhǎng)龍化學(xué)工程與技術(shù)工學(xué)碩士2014年5月23日StudyontheSynthesisandPropertiesofSemiconductorOxideThinFilmsUndertheSupervisionofCHENChangLongAThesisSubmittedtotheUniversityofJinanInPartia
2、lFulfillmentoftheRequirementsFortheDegreeofMasterofEngineeringScienceUniversityofJinanJinan，Shandong，P．R．ChinaMay，2014原刨性聲明本人鄭重聲明：所呈交的學(xué)位論文，是本人在導(dǎo)師的指導(dǎo)下，獨(dú)立進(jìn)行研究所取得的成果。除文中已經(jīng)注明引用的內(nèi)容外，本論文不包含任何其他個(gè)人或集體已經(jīng)發(fā)表或撰寫(xiě)過(guò)的科研成果。對(duì)本文的研究作出重要貢獻(xiàn)的個(gè)人和集體，均已在文中以明確方式標(biāo)明。本人完全意識(shí)到本聲明的法律責(zé)任由本人承
3、擔(dān)。論文作者簽名：奸扣凈日期：201牛蘚s目)>q關(guān)于學(xué)位論文使用授權(quán)的聲明本人完全了解濟(jì)南大學(xué)有關(guān)保留、使用學(xué)位論文的規(guī)定，同意學(xué)校保留或向國(guó)家有關(guān)部門(mén)或機(jī)構(gòu)送交論文的復(fù)印件和電子版，允許論文被查閱和借鑒；本人授權(quán)濟(jì)南大學(xué)可以將學(xué)位論文的全部或部分內(nèi)容編入有關(guān)數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行檢索，可以采用影印、縮印或其他復(fù)制手段保存論文和匯編本學(xué)位論文。助公開(kāi)口保密(——年，解密后應(yīng)遵守此規(guī)定)論文作者簽名：請(qǐng)辛韋導(dǎo)師簽名：≯球僅丸日期：2。1．}緝s
4、9l哆a濟(jì)南大學(xué)碩士學(xué)位論文目錄目勇毛???????????????????
5、????????????????????????I摘要?????????????????????????????????VAbstract???????????????????．：?????????????????????．1～rII第一章緒論????????????????????????????．11．1前言???????????????????????????????????????11．2半導(dǎo)體材料??????????????????????????．1I．2．1半導(dǎo)體材料的基本性質(zhì)?????????
6、?????????一21．2．2半導(dǎo)體材料的分類(lèi)????????????????????一31．2．3半導(dǎo)體材料的制備方法??????????????????。41．3薄膜材料???????????????????????????．61．3．1薄膜材料的特性?????????????????????一71．3．2薄膜材料的分類(lèi)?????????????????????一81．4納米材料???????????????????????????lO1．5二氧化錫材料?????????????????????????
7、ll1．5．1二氧化錫基本特征????????????????????ll1．5．2二氧化錫的能帶結(jié)構(gòu)及其光電性質(zhì)?????????????121．6二氧化鈦材料?????????????????????????121．6．1二氧化錫基本特征????????????????????131．6．2二氧化鈦的能帶結(jié)構(gòu)???????????????????131．7氧化銦材料??????????????????????????141．7．1氧化銦基本特征?????????????????????．141．7．2氧化
8、銦合成近況?????????????????????．14第二章二氧化錫薄膜材料的制備及其性能研究?????????????．．152．1實(shí)驗(yàn)部分???????????????????????????152．1．1實(shí)驗(yàn)試劑與儀器?????????????????????152．1．2二氧化錫薄膜的制備及表征????????????????162．2結(jié)果與討論??????????????????????????19半導(dǎo)體氧化物薄膜的制備及其性能研究2．2．1探討二氧化錫晶種薄膜的制備條件????????????
9、?192．2．2探討二氧化錫薄膜溶劑熱生長(zhǎng)的條件????????????212．2．3成分分析????????????????????????252。2．4形貌分析????????????????????????262．2．5二氧化錫薄膜的氣敏性質(zhì)研究???????????????282．3本章小結(jié)???????????????????????????31第三章二氧化鈦薄膜材料的制備及其性能研究??
