《無塵室相關(guān)標準》PPT課件.ppt

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1、無塵室相關(guān)標準無塵室原理無塵室衡量標準無塵室驗收標準Contents無塵室原理無塵室概念:以工業(yè)鋁材(或不銹鋼方通、鐵方通噴塑)作為框架,采用風(fēng)機濾網(wǎng)機組FFU送風(fēng),四周用防靜電垂簾(或鋼化玻璃),內(nèi)部凈化級別可達100～100K級,適用局部凈化級別要求高的區(qū)域。對微?？刂?、溫度、濕度、照明、噪聲、靜電、微振的多功能綜合整體。無塵室原理依據(jù)送風(fēng)方式的不同：可分為亂流式(非均勻流型)和單一方向式(均勻流型)。Class1～100均采用單向流送風(fēng)方式，即在同一截面的任一點，氣流的方向和速度均保持一致，將室內(nèi)的塵埃粒子以最快

2、的速度帶走。靠送風(fēng)氣活塞般的擠壓作用。新風(fēng)量不小于總風(fēng)量的2%~4%。Class1000～100000采用非單向流送風(fēng)方式，以不均勻的速度呈不平行流動，伴有回流或渦流，主要靠氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣，將室內(nèi)的污染逐漸排出，以實現(xiàn)凈化?？繗饬鲾U散來稀釋。新風(fēng)量不小于總風(fēng)量的10%~30%。測量單位：微米(micrometer),1um=1m的百萬分之一。無塵室衡量標準潔凈度——參照STD-209E無塵室衡量標準AirChange&HEPA遮蔽率無塵等級AirChange(次/hr）HEPA遮蔽率Class100240~480

3、50%~100%Class100017~24010%~35%Class10000108%~10%Airchange:FFU的表面積*風(fēng)速*FFU數(shù)量/CleanRoom體積HEPA遮蔽率：FFU的表面積*FFU數(shù)量/CleanRoom面積無塵室衡量標準風(fēng)速、溫濕度氣流速度為：0.3~0.5m/s(60~100ft/min)。一般之溫度控制范圍：T=(21±2)℃一般之濕度控制范圍：(45±5)﹪RH無塵室衡量標準壓差在兩個無塵室間合理的設(shè)計壓力差應(yīng)為10Pa，而在無塵室和未確認潔凈等級的區(qū)域應(yīng)保持有15Pa的壓力差。當

4、產(chǎn)生這些壓力差有實際困難時，維持5Pa的最小壓力差是可以接受的。無塵室驗收標準用ParticleCounter(MetOne）測空氣中之粒子總數(shù)及大小(離作業(yè)面為30公分)。依據(jù)ISO14644-1可分為三種操作狀態(tài)：⑴完工狀態(tài)-無制程設(shè)備、原料或工作人員。⑵完工后停止生產(chǎn)狀態(tài)-室內(nèi)有制程設(shè)備，不含工作人員。⑶運轉(zhuǎn)狀態(tài)-三者皆在工作狀態(tài)。無塵室驗收標準取樣次數(shù)要求單一方向氣流的測試數(shù)量方法一、氣流的流入體積/25方法二、氣流的流入體積/潔凈度等級的平方根選數(shù)字小者非單一方向氣流的測試數(shù)量方法：氣流的流入體積/潔凈度等級

5、的平方根例如：計算iMac所使用的潔凈室的測試數(shù)量(1.6*3+2.3*2.4+2.7*7.01+1.3*2.44+1.66*3.2)*2.2m/=3次例如：計算M97所使用的潔凈室的測試數(shù)量方法一、(16*1.9*2.1)m/25=3次方法二、(16*1.9*2.1)m/=7次無塵室驗收標準潔凈度取樣要求取樣需兩點以上測試點要平均分布各測試點須一個以上的取樣數(shù)全體需5個以上的取樣數(shù)各測試點的取樣數(shù)不一樣也可以無塵室驗收標準潔凈度判斷標準兩個條件需同時滿足：在每個測試點的粒子濃度平均值應(yīng)在CLASS上限值以下這些平均值

6、的平均在95%的信賴界限的上限值在CLASS上限值以下無塵室驗收標準實例說明在RingRoom空態(tài)下，共取3個點，每個點測量0.5um的粒子，測量記錄如下：第一點8、0第二點20、8第三點11、23、14判斷依據(jù)一、在各測試點的粒子濃度平均值應(yīng)在CLASS上限值以下第一點的平均值（8+0)/2=4第二點的平均值（20+8)/2=14第三點的平均值（11+23+14)/3=16小結(jié)：滿足無塵室驗收標準判斷依據(jù)二、這些平均值的平均在95%的信賴界限的上限值在CLASS上限值以下上限值UCL=M+SE*UCL系數(shù)M：平均值的

7、平均M=(4+14+16)/3=11.3SE：標準誤差SE=SD/SD：標準偏差L：測試點數(shù)量SD==6.429SE=6.429/=3.71無塵室驗收標準UCL系數(shù)：95%信賴界限的UCL系數(shù)上限值UCL=M+SE*UCL系數(shù)=11.3+3.71*2.9=22.1總結(jié)：滿足無塵室驗收標準其余要求序號驗收項目驗收標準尺寸備注1立柱/橫梁鐵方通噴塑100*100mm2托框/盲板冷軋鋼板噴塑1200*670mm3黑色網(wǎng)格狀防靜電PVC窗簾/門簾靜電阻值：106~1094無塵室鎮(zhèn)流器/鎮(zhèn)流器飛利浦/T8燈管1200mm5FFU

8、美埃/米河1175*575*250風(fēng)機檔位：3檔6高效過濾器美埃1170*570*70mm7初效過濾器米河495*495*45mm8電線（電路圖另附）無錫滬安國標9配電箱/開關(guān)斯奈德注：1.PVC窗簾與地面高度為15~20cm，且應(yīng)該在立柱內(nèi)側(cè)。2.配電箱是三相電，電壓380V。圖片欣賞FFU風(fēng)淋室1.2米方通立柱托框初效高效自己