集成電路超純水設備的核心技術.doc

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1、集成電路超純水設備的核心技術　　集成電路超純水設備采用EDI(Elcctrodeionization)是一種將離子交換技術、離子交換膜技術和離子電遷移技術相結合的純水制造技術。它巧妙的將電滲析和離子交換技術相結合，利用兩端電極高壓使水中帶電離子移動，并配合離子交換樹脂及選擇性樹脂膜以加速離子移動去除，從而達到水純化的目的。在EDI除鹽過程中，離子在電場作用下通過離子交換膜被清除。同時，水份子在電場作用下產(chǎn)生氫離子和氫氧根離子，這些離子對離子交換樹脂進行連續(xù)再生，以使離子交換樹脂保持最佳狀態(tài)?！　〖呻娐烦兯O備技術要點：　　1、水質(zhì)符合2

2、000版藥典標準和GMP中的各項規(guī)定?！　?、單體和管道設備符合GMP的要求(如后端處理設備如殺菌器、膜濾、終端水箱均采用316L不銹鋼才料)?！　?、純化水水質(zhì)標準：產(chǎn)品二級出水電導2μs/cm或電阻率：0.5MΩ。CM，氨0.3μg/ml，硝酸鹽0.06μg/ml，重金屬0.5μg/ml。　　集成電路電路板生產(chǎn)過程中，F(xiàn)PC/PCB濕流程絕大部分工藝都是相似的。各個工藝環(huán)節(jié)對純水的要求遼寧萊特萊德環(huán)境工程有限公司沈陽分公司提供集成電路用純水設備也是大同小異。我們在集成電路生產(chǎn)過程中常用到的電鍍銅，錫，鎳金;化學鍍鎳金;PTH/黑孔;表面

3、處理蝕刻等生產(chǎn)過程都需要用到不同要求的純水。因為線路板生產(chǎn)過程中使用的藥水不同，生產(chǎn)工藝流程的差異，對純水的品質(zhì)要求也不一樣。最關鍵的指標是：電導率(電阻率)，總硅，pH值，顆粒度。線路板、電路板用純水因為本身工藝流程的不同對純水制造的工藝流程也不同?！　∵|寧萊特萊德環(huán)境工程有限公司沈陽分公司提供