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《基于激光干涉儀的FANUC系統(tǒng)VMC的定位精度檢測與誤差補(bǔ)償.pdf》由會員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在行業(yè)資料-天天文庫。
1、自動化DOI：10．3969／j．issn．1009-9492．2015．10．023基于激光干涉儀的FANUC系統(tǒng)VMC的定位精度檢測與誤差補(bǔ)償周麗霞，周樹強(qiáng)，覃琴(成都航空職業(yè)技術(shù)學(xué)院，四川成都610100)摘要：利用英國雷尼紹公司生產(chǎn)的MLIO激光干涉儀，對配有FANUCOi數(shù)控系統(tǒng)的立式加工中心進(jìn)行誤差數(shù)據(jù)采集，通過激光干涉儀配套軟件繪制定位誤差曲線，并生成誤差補(bǔ)償數(shù)據(jù)，將誤差補(bǔ)償數(shù)據(jù)輸入FANUC0i系統(tǒng)，可以顯著提高機(jī)床的加工精度。關(guān)鍵詞：FANUC數(shù)控系統(tǒng)；激光干涉儀；誤差補(bǔ)償中圖分類號：TH17文獻(xiàn)標(biāo)識碼：A
2、文章編號：1009—9492(2015)10—0094一O3UsingLaserInterferometertoMeasureandCompensatePositioningAccuracyinFANUCSystemVMCMachineZHOULi—xia，ZHOUShu—qiang，QINQin(ChengduAeronauticVocationalandTechnicalCollege，Chengdu610100，China)Abstract：UsingRenishawML10laserinterferometercan
3、measurethepracticeerrordatainFANUCOisystemVMCmachine．drawthepositioningaccuracyen_0rcurve．a(chǎn)ndcreatedatesofenl0rcompensation．whichareinterredintoFANUC0isystemforimprovingtheprocessingprecisionofCNCmachine．KeyWOrds：FANUCCNCsystem：laserinterferometer；errorcompensation
4、0引言和補(bǔ)償數(shù)控機(jī)床螺距誤差的方法。隨著數(shù)控加工中心的廣泛應(yīng)用，對零件加工1激光干涉儀測量線性誤差的原理精度要求也越來越高，數(shù)控機(jī)床的精度也有了更雷尼紹公司的激光干涉儀ML10主要由激光高的要求。為了保證加工質(zhì)量，對數(shù)控機(jī)床的定頭、環(huán)境補(bǔ)償單元、玻璃鏡組件、機(jī)械結(jié)構(gòu)件及配位精度進(jìn)行檢測和補(bǔ)償是最根本的，由于本文中套軟件組成。其中激光頭發(fā)出波長約為0．633Ixm、的半閉環(huán)系統(tǒng)機(jī)床的定位精度主要是受到滾珠絲且波長穩(wěn)定的激光；玻璃組件有分光鏡和反射杠精度的影響，滾珠絲杠的精度主要受到制造誤鏡；機(jī)械結(jié)構(gòu)件用來支撐激光頭，可自由調(diào)整
5、并差和使用磨損的影響，所以通過對數(shù)控機(jī)床進(jìn)確保光路進(jìn)入測量路徑；環(huán)境補(bǔ)償單元可以采集行定期檢測，并對數(shù)控系統(tǒng)進(jìn)行正確螺距誤差補(bǔ)現(xiàn)場環(huán)境的大氣壓力和濕度以及機(jī)床本體的溫償，來提高數(shù)控機(jī)床的加工定位精度。度，將環(huán)境對測量的影響計(jì)入系統(tǒng)里。利用Renishaw激光干涉檢測實(shí)際誤差，通過線性測量是測量機(jī)床精度中最常見的一種測FANUC系統(tǒng)軟件的誤差補(bǔ)償界面對立式加工中心量，其典型安裝布局示意圖如圖1所示。線性測進(jìn)行補(bǔ)償，從而提高數(shù)控機(jī)床的定位精度。文章量光學(xué)組件包括一只分光鏡和兩只反射鏡。把其以加工中心的軸為例說明使用激光干涉儀測量
6、中一只反射鏡用緊固螺釘固定在分光鏡上，構(gòu)成收稿日期：2015—04—07周麗霞等：基于激光干涉儀的FANUC系~LVMC的定位精度檢測與誤差補(bǔ)償干涉鏡，激光頭發(fā)出的光束會射入干涉鏡，再分(2)參數(shù)3621設(shè)置為30，表示從螺距誤差補(bǔ)為兩道光束。一道光束射向連接在分光鏡上的反償數(shù)據(jù)表的第3O號開始填人軸的補(bǔ)償值，一共射鏡(固定反射鏡)，而第二道光束則通過分光鏡射要填15個(gè)。人第二個(gè)反射鏡(移動反射鏡)。這兩道光束再(3)參數(shù)3622設(shè)置為44，由于誤差補(bǔ)償間隔反射回分光鏡，重新匯聚之后返回激光頭，當(dāng)移是60mm，全長一共補(bǔ)償1
7、5個(gè)數(shù)據(jù)，并且從螺距動反射鏡在移動過程中，返回激光頭的干涉光束誤差補(bǔ)償數(shù)據(jù)表中的第3O號開始，一共要填15會呈現(xiàn)明暗變化，激光頭接收到返回的干涉光個(gè)。所以最后一個(gè)就是數(shù)據(jù)表中第44號，所以束，激光頭內(nèi)部傳感器檢測出條紋明暗的變化，3622設(shè)置為44。并通過信號處理電路處理并計(jì)算出移動反射鏡所(4)參數(shù)3623設(shè)置為1，表示補(bǔ)償倍率為1移動的距離。倍，實(shí)際補(bǔ)償值=補(bǔ)償值×補(bǔ)償倍率。假設(shè)出現(xiàn)明暗條紋的次數(shù)為Ⅳ，反射鏡移動(5)參數(shù)3624設(shè)置為60，補(bǔ)償間隔60mm，的距離為Ⅳ倍的二分之一波長(O．633m)。所每隔60mm，激
8、光干涉儀采集一次數(shù)據(jù)。以移動反射鏡隨著工作臺在移動過程中，通過檢(6)進(jìn)人螺距誤差設(shè)定畫面(進(jìn)入界面方測到明暗條紋變化的次數(shù)，就可得到工作臺移動法：按下“system”鍵-+按下擴(kuò)展軟鍵_+按下的距離?！奥菅a(bǔ)”軟鍵)，將表格中所有值都清零。第三步：打開激光干涉儀配套線性測量軟件，進(jìn)行測量前
