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《真空并聯(lián)機器人軌跡規(guī)劃仿真.pdf》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在行業(yè)資料-天天文庫。
1、第29卷第12期計算機仿真2012年12月文章編號：1006—9348(2012)12—0211—05真空并聯(lián)機器人軌跡規(guī)劃仿真黃玉釧1’2一，曲道奎卜3，徐方’’3(1．中國科學(xué)院沈陽自動化研究所，遼寧沈陽110016；2．中國科學(xué)院研究生院，北京100049；3．沈陽新松機器人自動化股份有限公司，遼寧沈陽110168)摘要：為了實現(xiàn)FROG—LEG型真空并聯(lián)機器人準(zhǔn)確經(jīng)過多個中間位姿點的路徑規(guī)劃，研究了類機器人NURBS曲線路徑規(guī)劃的關(guān)鍵問題。通過建立FROG—LEG型并聯(lián)機器人等效的串聯(lián)運動學(xué)模型，獲得了機器人運動學(xué)的正反解，在運動學(xué)基礎(chǔ)上設(shè)計J，該類機器
2、人基于NURBS曲線的路徑規(guī)劃方案：通過Matlab的robottool工具箱，進行了FROG—LEG型真空并聯(lián)機器人運動學(xué)和路徑規(guī)劃的仿真。仿真結(jié)果證明，路徑規(guī)劃方案可以很好的讓機器人通過中間插補位姿：從而從理論上解決了FROG—LEG型真空并聯(lián)機器人路徑規(guī)劃中需要精確經(jīng)過多個插補位姿的難題，并為實現(xiàn)FROG—LEG型真空并聯(lián)機器人采用NURBS曲線軌跡規(guī)劃提供理論依據(jù)。關(guān)鍵詞：真空并聯(lián)機器人；運動學(xué)；軌跡規(guī)劃；非均勻有理樣條曲線中圖分類號：TP242文獻標(biāo)識碼：BNumericalSimulationforVacuum—-parallelRobotsTraj
3、ectoryPlanningHUANGYu—chuanl’2?，QUDao—kuil?，XUFan91'3(I．ShenyangInstituteofAutomation，ChineseAcademyofSciences，ShenyangLiaoning110016，China；2．GraduateSchooloftheChineseAcademyofSciences，Beijing10049，China；3．SIASUNRobot＆AutomationCo，Lfd，ShenyangLiaoning110168，China)ABSTRACT：Towellfulf
4、iUthetrajectoryplanningpassingthroughseveralinterpolationpointsforFROG—LEGvac—uum—parallelrobots，thekeypointonusingNURBSfortrajectoryplanningwasresearched．Thesolutionofkinemat—icsandinversekinematicsandtrajecloryplanningschemeusingNURBSwastheoreticallyobtainedbyestablishingancquivale
5、ntserialmodeloftheparallelrobots．ThenthesimulationtrajectoryplanningbasedonNURBSwascarriedoututilizingrobottoolofMatlab．Simulationresultsshowthatthismethodcanbeusedtoachievethegoalofthevac—uum——parallelrobotspassingaccuratelyinsertedorientationandposition．Ourresultstheoreticallysolve
6、thecriticalproblemonvacuum—parallelrobotspassingaccuratelyinsertedorientationandposition，andshowgreatpotentialsofaccomplishingFROG—LEGvacuum—parallelrobotstrajectoryplanningbasedonNURBS．KEYWORDS：Vacuum—parallelRobots；Kinematics；Trajectoryplanning；NURBS1引言在集成電路制造業(yè)中，硅片需要在生產(chǎn)線上不同的工藝加工模塊之
7、間進行高效的傳輸和定位，真空并聯(lián)機器人正是完成這一任務(wù)的關(guān)鍵裝備之一，是符合集成電路工藝精度和凈化要求，具有高精度、高效率、高潔凈度和高可靠性的半導(dǎo)基金項目：國家科技重大專項Ic裝備機械手及硅片傳輸系統(tǒng)系列產(chǎn)品研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化(2009ZX02012)收稿日期：2012—03—15修回日期：2012—03—20體自動化專用機器人¨’2‘?。機器人搬運硅片可以看成是從初始位姿到終止位姿的軌跡規(guī)劃，常用的軌跡規(guī)劃方法有：3—4—5正則多項式；4—5—6—7正則多項式；擺線運動與拋物線擬合的線性函數(shù)等”。4—5—6—7正則多項式相對3—4—5正則多項式的優(yōu)點是可以保證加速
8、度的變化沒有急動；擺線運
