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1、乳酸乙酯在光刻膠中的應(yīng)用資料一、什么是光刻膠光刻膠又稱(chēng)光致抗蝕劑，由感光樹(shù)脂、增感劑和溶劑三種主要成分組成的對(duì)光敏感的混合液體。感光樹(shù)脂經(jīng)光照后，在曝光區(qū)能很快地發(fā)生光固化反應(yīng)，使得這種材料的物理性能，特別是溶解性、親合性等發(fā)生明顯變化。經(jīng)適當(dāng)?shù)娜軇┨幚?，溶去可溶性部分，得到所需圖像。光刻膠廣泛用于印刷電路和集成電路的制造以及印刷制版等過(guò)程。光刻膠的技術(shù)復(fù)雜，品種較多。根據(jù)其化學(xué)反應(yīng)機(jī)理和顯影原理，可分負(fù)性膠和正性膠兩類(lèi)。光照后形成不可溶物質(zhì)的是負(fù)性膠；反之，對(duì)某些溶劑是不可溶的，經(jīng)光照后變成可溶物質(zhì)的即為正性膠?；?/p>
2、于感光樹(shù)脂的化學(xué)結(jié)構(gòu)，光刻膠可以分為三種類(lèi)型。①光聚合型，采用烯類(lèi)單體，在光作用下生成自由基，自由基再進(jìn)一步引發(fā)單體聚合，最后生成聚合物，具有形成正像的特點(diǎn)。②光分解型，采用含有疊氮醌類(lèi)化合物的材料，經(jīng)光照后,會(huì)發(fā)生光分解反應(yīng),由油溶性變?yōu)樗苄?，可以制成正性膠。③光交聯(lián)型，采用聚乙烯醇月桂酸酯等作為光敏材料,在光的作用下,其分子中的雙鍵被打開(kāi)，并使鏈與鏈之間發(fā)生交聯(lián)，形成一種不溶性的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，而起到抗蝕作用，這是一種典型的負(fù)性光刻膠。二、光刻膠的主要技術(shù)參數(shù)?a、分辨率（resolution）。區(qū)別硅片表面相鄰圖形
3、特征的能力。一般用關(guān)鍵尺寸（CD，CriticalDimension）來(lái)衡量分辨率。形成的關(guān)鍵尺寸越小，光刻膠的分辨率越好。b、對(duì)比度（Contrast）。指光刻膠從曝光區(qū)到非曝光區(qū)過(guò)渡的陡度。對(duì)比度越好，形成圖形的側(cè)壁越陡峭，分辨率越好。c、敏感度（Sensitivity）。光刻膠上產(chǎn)生一個(gè)良好的圖形所需一定波長(zhǎng)光的最小能量值（或最小曝光量）。單位：毫焦/平方厘米或mJ/cm2。光刻膠的敏感性對(duì)于波長(zhǎng)更短的深紫外光（DUV）、極深紫外光（EUV）等尤為重要。d、粘滯性/黏度（Viscosity）。衡量光刻膠流動(dòng)特性
4、的參數(shù)。粘滯性隨著光刻膠中的溶劑的減少而增加；高的粘滯性會(huì)產(chǎn)生厚的光刻膠；越小的粘滯性，就有越均勻的光刻膠厚度。光刻膠的比重（SG，SpecificGravity）是衡量光刻膠的密度的指標(biāo)。它與光刻膠中的固體含量有關(guān)。較大的比重意味著光刻膠中含有更多的固體，粘滯性更高、流動(dòng)性更差。粘度的單位：泊（poise），光刻膠一般用厘泊（cps，厘泊為1%泊）來(lái)度量。百分泊即厘泊為絕對(duì)粘滯率；運(yùn)動(dòng)粘滯率定義為：運(yùn)動(dòng)粘滯率=絕對(duì)粘滯率/比重。單位：百分斯托克斯（cs）＝cps/SG。e、粘附性（Adherence）。表征光刻膠粘
5、著于襯底的強(qiáng)度。光刻膠的粘附性不足會(huì)導(dǎo)致硅片表面的圖形變形。光刻膠的粘附性必須經(jīng)受住后續(xù)工藝（刻蝕、離子注入等）。f、抗蝕性（Anti-etching）。光刻膠必須保持它的粘附性，在后續(xù)的刻蝕工序中保護(hù)襯底表面。耐熱穩(wěn)定性、抗刻蝕能力和抗離子轟擊能力。g、表面張力（SurfaceTension）。液體中將表面分子拉向液體主體內(nèi)的分子間吸引力。光刻膠應(yīng)該具有比較小的表面張力，使光刻膠具有良好的流動(dòng)性和覆蓋。h、存儲(chǔ)和傳送（StorageandTransmission）。能量（光和熱）可以激活光刻膠。應(yīng)該存儲(chǔ)在密閉、低溫
6、、不透光的盒中。同時(shí)必須規(guī)定光刻膠的閑置期限和存貯溫度環(huán)境。一旦超過(guò)存儲(chǔ)時(shí)間或較高的溫度范圍，負(fù)膠會(huì)發(fā)生交聯(lián)，正膠會(huì)發(fā)生感光延遲。三、光刻膠的應(yīng)用模擬半導(dǎo)體（AnalogSemiconductors）發(fā)光二極管（Light-EmittingDiodesLEDs）微機(jī)電系統(tǒng)（MicroelectromechanicalSystemsMEMS）太陽(yáng)能光伏（SolarPhotovoltaicsPV）微流道和生物芯片（Microfluidics&Biochips）光電子器件/光子器件（Optoelectronics/Phot
7、onics）封裝（Packaging）三、乳酸乙酯在光刻膠中的應(yīng)用1、做光刻膠的溶劑，主要是代替PMA、PM.PMA介紹PM介紹2、做光刻膠的清洗液，代替NMP.光刻膠在IC行業(yè)的應(yīng)用，只要是有集成電路，它就會(huì)有光刻膠。另外，使用光刻膠的過(guò)程中，它有個(gè)清洗多余光刻膠的過(guò)程，這個(gè)清洗的過(guò)程，是用光刻膠蝕刻以后，用水和堿溶液清洗，但是在水和堿溶液清洗之前，有個(gè)中間的過(guò)渡過(guò)程，以前是用NMP來(lái)清洗，但是由于NMP有毒性，最近換成乳酸酯來(lái)清洗。這是在集成電路中的應(yīng)用。所以一般提供光刻膠，也會(huì)提供清洗液。所以做光刻膠和做光刻膠
8、的清洗液用乳酸酯來(lái)替代是一個(gè)產(chǎn)品的組合。除集成電路以外，還有一個(gè)顯示器行業(yè)，LCD行業(yè)，主要是往兩塊玻璃板中間灌液晶，然后使用封裝膠封裝。封裝過(guò)后需要切邊，清洗，它也需要用乳酸酯來(lái)清洗，以前用NMP，現(xiàn)在用乳酸酯替代。它的的主要好處同樣是NMP有毒，對(duì)環(huán)境有污染。乳酸酯是對(duì)人體無(wú)毒的，對(duì)環(huán)境無(wú)害的。雖然乳酸酯的成本可能會(huì)高點(diǎn)，但是乳酸酯加上清洗
