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《微細(xì)電火花制備大長徑比微細(xì)電極的工藝研究.pdf》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在行業(yè)資料-天天文庫。
1、第1期組合機床與自動化加工技術(shù)No．12016年1月ModularMachineTool＆AutomaticManufacturingTechniqueJan．2016文章編號：1001—2265(2016)01—0140—04DOI：10．13462／j．cnki．mmtamt．2016．01．039微細(xì)電火花制備大長徑比微細(xì)電極的工藝研究孟潔，白基成，李強，曹剡(哈爾濱工業(yè)大學(xué)機電工程學(xué)院，哈爾濱150001)摘要：針對電火花塊電極磨削效率高和線電極磨削精度高的優(yōu)點，采用塊電極磨削為微細(xì)電極的粗磨削、線電極磨削為微細(xì)電極的中、精磨
2、削方式，對大長徑比微細(xì)電極的制作技術(shù)進行研究。通過分析微細(xì)電火花加工大長徑比微細(xì)電極的影響因素，對影響大長徑比微細(xì)電極制作的加工參數(shù)進行了大量的工藝試驗，得到各參數(shù)對微細(xì)電極制作的影響規(guī)律，優(yōu)選得到相關(guān)的大長徑比微細(xì)電極的加工參數(shù)，并進行了實驗驗證。關(guān)鍵詞：微細(xì)電火花；微細(xì)電極；塊電極磨削；線電極磨削；大長徑比中圖分類號：TH162；TG661文獻標(biāo)識碼：ATheResearchofMicroElectrodewithLargeAspectRatiobyMicro·EDMMENGJie，BAIJi—cheng，LIQiang，CAOY
3、an(SchoolofMechatronicEngineering，HarbinInstituteofTechnology，Harbin150001，China)Abstract：BecauseofhighefficiencyofBEDGandhighprecisionofWEDGinprocessing，combingBEDGandWEDGtogethertobethemethodoffabricatingmicroelectrodewithlargeaspectratio，whichcontainsthreesteps，thero
4、ughprocessingbyBEDG，theintermediateandfinishprocessingbyWEDG．Thenagroupofparametersforthethreeprocessingstepsareobtainedthroughenormousexperimentsandmadeexpefimen·talverification．Keywords：micro—EDM；microelectrode；BEDG；WEDG；largeaspectratio效率低，表面質(zhì)量不理想。哈爾濱工業(yè)大學(xué)李剛通過O引言采用塊電極
5、粗加工，刃口電極精加工相結(jié)合的方法，加隨著微機電系統(tǒng)的發(fā)展，對微型結(jié)構(gòu)的零部件需工出直徑3．5／zm，長度為6m的微細(xì)電極，但刃口電求量越來越大。目前，加工微型結(jié)構(gòu)的方法很多，其中極的制作和安裝限制了其發(fā)展J。S．H．Choi等人采微細(xì)電火花銑削加工技術(shù)以其非接觸式加工、不受材用電火花光刻法通過光致抗蝕劑掩模成功加工電極直料硬度限制等優(yōu)勢成為加工微型結(jié)構(gòu)的一種重要方徑為5／xm，長度為3mm，帶有0．0錐度的大長徑比微法。采用微細(xì)電火花銑削技術(shù)加工具有微型腔、微小細(xì)電極引?？滓约半A梯孔等微型結(jié)構(gòu)的零部件，需要制備直徑很由于存在二次安裝
6、誤差，采用電解或者光刻法等小的微細(xì)電極；另一方面，在微細(xì)電火花銑削加工中，方法加工的微細(xì)電極，無法作為微細(xì)電火花銑削加工微細(xì)電極的損耗非常嚴(yán)重，微細(xì)電極的長度在很大程用的工具電極。因此，對于研究采用微細(xì)電火花技術(shù)度上影響了銑削的加工效率，而且微細(xì)電極的精度也在線制作高精度的大長徑比微細(xì)電極的技術(shù)具有重要會影響型腔或者孔的精度，因此需要制備大長徑比微意義細(xì)電極。1微細(xì)電極的制作方法目前國內(nèi)外很多學(xué)者對微細(xì)電極的制作有相關(guān)的研究。日本學(xué)者增澤隆久采用線電極磨削裝置加工出目前微細(xì)電極的制作方法總體分為離線制作和在直徑為2．m的微細(xì)軸。韓國首
7、爾大學(xué)的SeHyun線制作兩種。離線制作方法有通過冷拔得到金屬細(xì)Ahn等人利用微細(xì)電解方法加工出直徑為3m，長度絲，或者通過切削、磨削等方法。通過冷拔得到的金為4mm的微細(xì)電極。美國學(xué)者Ra’aA，Said在Cu．屬絲會出現(xiàn)直徑不一致等缺陷，而通過切削或磨削得S04·5HO溶液中用玻璃絕緣鉑電極的側(cè)壁加工出到的電極精度會受到很明顯的切削力影響。另外，離直徑為2Sum，長為6．5mm的銅微細(xì)電極，但是加工線制作的電極再次安裝時會產(chǎn)生二次安裝誤差，重復(fù)收稿日期：2015—03—04基金項目：江蘇省科技支撐計劃(BE201248)作者簡介：
8、孟潔(199O一)，女，甘肅慶陽人，哈爾濱工業(yè)大學(xué)碩士研究生，研究方向為微細(xì)電火花銑削加工工藝，(E—mail)mengi2011@163．com。2016年1月孟潔，等：微細(xì)電火花制備大長徑比微細(xì)電極的工藝研究·141
