國家納米科學(xué)中心納米加工技術(shù)實驗室收費標準與收費辦法

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1、國家納米科學(xué)中心納米加工技術(shù)納米加工技術(shù)實驗室收費標準與收費辦法納米加工技術(shù)實驗室收費標準與收費辦法實驗室收費標準與收費辦法（暫行）實驗室收費標準與收費辦法（暫行）1．重點合作用戶(長期在納米加工技術(shù)實驗室加工樣品、合作研究，且知識產(chǎn)權(quán)共享)，加工費用享有特別折扣；2．預(yù)付加工費用且在研究成果中致謝國家納米科學(xué)中心納米加工技術(shù)實驗室，給予優(yōu)惠:一次預(yù)付10萬以上9折，20萬以上8折，30萬以上7折；3．普通用戶，按收費標準收費；4．付費方式：提供有效帳號，每季度按實際機時收取費用。國家納米科學(xué)中心納米加工技術(shù)國家納米科學(xué)中心納米加工技術(shù)實驗室國家納米科學(xué)中

2、心納米加工技術(shù)實驗室設(shè)備設(shè)備收費標準設(shè)備收費標準(暫行)儀器收費標準說明CEE勻膠機200元/片（6吋）此收費標準只針對單獨涂膠工藝；100元/片（4吋）特殊光刻膠收費另議。60元/片（其他）VistecEBPG5000+電子束曝光1300元/小時包括涂膠、熱板、顯影臺、顯微鏡；系統(tǒng)30分鐘為基本時間單位。MA6亞微米紫外對準系統(tǒng)800元/小時自備光刻版；包括涂膠,熱板,顯影臺,顯微鏡；30分鐘為基本時間單位。SentechSI500刻蝕系統(tǒng)800元/小時15分鐘為基本時間單位；特殊深度、未知和特殊工藝價格另議。Plasmalab100ICP180刻蝕系8

3、00元/小時15分鐘為基本時間單位；統(tǒng)特殊深度、未知和特殊工藝價格另議;低溫工藝:開機費200元/次,液氮300元/次。等離子去膠機300元/小時15分鐘為基本時間單位?？焖俸辖馉t300元/小時30分鐘為基本時間單位。掃描電鏡500元/小時30分鐘為基本時間單位。光譜橢偏儀30元/點建模價格另議。其它測量設(shè)備（臺階儀、半導(dǎo)體150元/小時15分鐘為基本時間單位；測試儀）特殊條件，價格另議。電子束蒸發(fā)800元/小時30分鐘為基本單位；材料費：厚度<50nm，超過部分30元/10nm，貴金屬價格另議。Lab18磁控濺射設(shè)備800元/次普通金屬<50nm，超過部

4、分10元/10nm，貴金屬另議。30分鐘為基本單位；SI500DICP-CVD800元/小時超厚膜根據(jù)沉積時間，清洗費200元/次。DISCO劃片機500元/小時換刀200元/次；30分鐘為基本單位；1小時內(nèi)客戶可以自由選擇按刀（10刀起）計費或按時間計費。