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1、第2期機電元件Voi.25No.22005年6月ELECTROMECHANICALCOMPONENTSJun.2005工藝與材料封接工藝對玻璃與可伐合金結(jié)合性能的影響胡君遂，堵永國，陳文莉，唐珍蘭（國防科技大學(xué)材料工程與應(yīng)用化學(xué)系，湖南長沙410073）摘要：采用正交試驗方法研究了封接工藝對玻璃與可伐合金結(jié)合性能的影響。利用電子萬能實驗機和金相法分別測試了封接件的剪切強度和顯微組織。結(jié)果表明：在封接工藝過程中，封接氣氛（N2流量）是最主要的影響因素，封接溫度次之，封接時間的影響最小。關(guān)鍵詞：高真空度繼電器；封接工藝；結(jié)合性能中圖
2、分類號：TM58文獻標(biāo)識碼：A文章編號：1000-6133（2005）02-0037-04InfluenceoftheSealingProcessBetweentheGlassandKovarontheBondingPropertiesHUJun-sui，DUYong-guo，CHENWen-li，TANGZhen-lan（DepartmentofMateriaiEngineeringandAppiiedChemistry，NationaiUniversityofDefenseTechnoiogy，Changsha410073，
3、China）Abstract：Infiuenceoftheseaiingprocessbetweenthegiassandkovaronthebondingpropertieswasstudiedbyorthogonaitestingmethod.Bymeansoftheeiectronicuniversaitestingmachineandthegranu-iarityanaiyzer，thepaperstudiedthebondingstrengthandstructureofthegiass-to-kovar.Theres
4、uitsshowthatthefiuXofN2wasanimportantfactortotheguaiityoftheseaiing.Theseaiingtemperaturewasthesecondimportantfactorandtheseaiingtimewasthethird.Keywords：highvacuumreiay；seaiingprocess；bondingproperties兩者的結(jié)合性能，而玻璃-可伐合金的封接工藝又直1引言接影響到結(jié)合性能。因此開展封接工藝的研究對于提隨著我國航天工程的飛速發(fā)展，對航
5、天繼電器的高航天繼電器的真空度水平是十分有益的，對于促進［1，2I要求越來越高。目前，航天繼電器主要采用我國航天事業(yè)的發(fā)展有著重要的現(xiàn)實意義。DM—308型電子玻璃與可伐合金封接，泄漏率高是長2實驗期困擾其達到超高真空度的關(guān)鍵。經(jīng)分析，最主要的影響因素是繼電器底座的封接強度和氣密性。在玻璃2.1實驗材料與可伐合金體系確定的情況下，封接強度主要取決于選用外購的、粒度小于40目的DM—308型電收稿日期：2005-05-0838機電元件2005年子玻璃造粒粉與2mm厚的4J29可伐合金板作為原表1封接工藝正交試驗結(jié)果材料。流量封接溫
6、度封接時間剪切強度氣孔率試驗號N2Mpa%2.2實驗方法11（T）1（920C）1（5min）99.672.412.2.1玻璃-可伐合金封接件的制備22（＠）2（960C）2（10min）112.041.94將玻璃粉壓制成!5mmX2.5mm的圓柱形素33（＠）3（1000C）3（15min）103.652.13坯，~700C固化，制成絕緣子；將可伐合金板裁41（T）2（960C）3（15min）98.102.57成尺寸為10mmX10mm、內(nèi)孔4.5mm的片，超聲52（＠）3（1000C）1（5min）102.642.25波清
7、洗后備用；把絕緣子與可伐合金片裝配在一起63（＠）1（920C）2（10min）91.932.88置于石墨夾具中，然后放入管式爐中，通N2高溫71（T）3（1000C）2（10min）86.423.16燒結(jié)制備玻璃-可伐合金封接件。82（＠）1（920C）3（15min）87.463.092.2.2正交試驗93（＠）2（960C）1（5min）84.373.32在影響玻璃與可伐合金結(jié)合性能的諸多封接工注：T：1L/minX2min，0.5L/min；＠：1.5L/minX2min，1.0L/藝因素中，根據(jù)前期的工作，選取N2流量
8、、封接min；＠：2L/minX2min，1.5L/min。溫度、封接時間這三個因素，采用三水平的正交試表2封接工藝正交試驗極差表［3］驗，通過比較其極差的大小，確定影響次序。N2流量封接溫度封接時間2.2.3性能表征I94.7393.0295.56用電子萬能實
