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《淺談高頻干擾對(duì)硅芯爐的影響及防護(hù)措施》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在行業(yè)資料-天天文庫(kù)。
1、團(tuán)■口豳磊材料制備魚(yú)工藝薹與設(shè)備魚(yú)淺談高頻干擾對(duì)硅芯爐的影響及防護(hù)措施吳斌，姚婕，雷小博(西安理工晶體科技有限公司，陜西西安710077)摘要：高頻電源是硅芯生產(chǎn)設(shè)備中的重要組成部分。目前硅芯爐都具備單爐次拉制多根硅芯的能力。與早期拉制單根設(shè)備相比需要母料的體積加大．直徑不斷加粗。母料體積越大，就越難熔化，因此高頻電源都需要提高振蕩頻率來(lái)熔化更粗的母料。伴隨著振蕩頻率增加高頻噪聲也相應(yīng)增加。同時(shí)對(duì)硅芯爐電氣控制柜及其內(nèi)部的電氣元件的干擾也就隨之增大。主要分析高頻噪聲對(duì)硅芯爐運(yùn)行產(chǎn)生的干擾及其原因和危害。同時(shí)針對(duì)這些干擾提出一些防護(hù)
2、措施。關(guān)鍵詞：高頻電源，硅芯爐，高頻噪聲，防護(hù)措施中圖分類號(hào)：TF806．9文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A文章編號(hào)：1004．4507(2012)04—0013．04ShallowAnalysisonEffectfromHigh-frequencyInterferenceandProtectionWaysforSiliconCoreFurnaceWUBin，YAOJie，LEIXiaobo(XUATCrystalGrowingTechnologyCoLtd，Xi’An710077，China)Abstract：Highfrequencypower
3、supplyisanimportantunitofsiliconcoreproductionprocess．Atpresent，Siliconcorefurnacehasachievedtheabilitytoproduceseveralsiliconrodsduringeachproductioncycle．Comparingwiththeoldversionfurnaceduringeachproductioncycleonlyproducingsinglesiliconrod，thediameterofitsoriginal
4、siliconrodbecomeslarger．Thelargertheoriginalsiliconrodis，themoredificultitistomelt．Inordertoensuretheoriginalsiliconrodmelting，thetankcircuitfrequencyofthepowersupplyisrequestedincrease．Thisleadstothehigh—frequencyelectricalnoiseinevitablyincreasedwhichmayafecttheelec
5、tricalcontrolcabinetrunsometimes．Thispaperanalyzesthedisadvantagesofthesiliconrodfurnace，whicharisebythehigh—frequencyelectricalnoiseincludingitsharmandreason．Bytheway，italsosuggestssomevalidandpracticalprotectionways．Keywords：SiliconCoreFumace，High—frequencyelectrica
6、lnoise，Protectionways收稿日期：2012．02．01材料制備工藝與設(shè)備電子工業(yè)專用設(shè)備I早期的硅芯爐單爐次只能拉制1根硅芯，其工作狀態(tài)。母料一般為+28～4Omm，高頻電源的振蕩頻率A通常是2．1～2．3MHz。隨著多晶硅產(chǎn)能的不斷提B高，新型的硅芯爐具備每爐次拉制15～21根C68~61omm硅芯棒的能力，這樣的產(chǎn)量需要的N母料規(guī)格一般都在+80～110mm之間，如果還用原來(lái)高頻電源的振蕩功率和振蕩頻率來(lái)熔料，效率非常低。由于高頻的振蕩頻率越高，母料表面的集膚效應(yīng)越強(qiáng)，化料速度越快。故現(xiàn)在的高頻電l源都將自身
7、的振蕩頻率提高到2．8～3．0MHz，以便熔化大直徑的母料。隨著振蕩頻率的升高，高頻噪聲在硅芯爐運(yùn)行時(shí)的干擾作用也就越來(lái)越明顯。輕則影響電氣儀表的顯示，重則影響硅芯爐速l■■度系統(tǒng)，導(dǎo)致拉制出非等徑的硅芯棒?？梢哉f(shuō)高頻圖1高頻電源與電氣控制柜連線圖干擾是硅芯爐能否穩(wěn)定運(yùn)行的一道難題。1．2高頻噪聲對(duì)直流供電系統(tǒng)及其相關(guān)電氣元件的1高頻噪聲對(duì)硅芯爐電氣系統(tǒng)的干擾和危害干擾硅芯爐電氣控制柜的直流系統(tǒng)是由工頻電高頻噪聲分為兩種傳播方式。一種為傳導(dǎo)方壓，通過(guò)開(kāi)關(guān)電源變換到DC24V、DC5v，繼而式，另一種為空間輻射方式。傳導(dǎo)方式是指高頻
8、噪給PLC、繼電器、編碼器等元件供電。由于交流線聲通過(guò)導(dǎo)線、地線等導(dǎo)體進(jìn)入到被干擾設(shè)備，影響路上本身就存在干擾，通過(guò)導(dǎo)線干擾也會(huì)傳到開(kāi)其正常工作。而空間輻射是高頻噪聲在空氣中以關(guān)電源。同時(shí)開(kāi)關(guān)電源本身就是高頻設(shè)備，更加容“場(chǎng)”傳播，對(duì)電氣設(shè)備及其元
