資源描述：
《多弧離子鍍靶電流對(duì)膜層形貌與性能的影響-論文.pdf》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在應(yīng)用文檔-天天文庫(kù)。
1、下半月出版Material&HeatTreatmentl材料熱處理技術(shù)●表面改性技術(shù)●多弧離子鍍靶電流對(duì)膜層形貌與性能的影響張會(huì)霞，戰(zhàn)宏偉2'馮光光3'盧龍(1．淮海工學(xué)院機(jī)械工程學(xué)院，江蘇連云港222005；2．綠源工程設(shè)計(jì)研究有限公司，江蘇連云港222000；3．江蘇科技大學(xué)材料學(xué)院．江蘇鎮(zhèn)江212003)摘要：采用滲氮與多弧離子鍍復(fù)合技術(shù)，在不同靶電流條件下制備Ti0．33A10．67N膜層，分析靶電流對(duì)膜層形貌、膜層厚度、結(jié)合力及顯微硬度等性能的影響。得出靶電流設(shè)計(jì)范圍內(nèi)存在一個(gè)最佳值，以獲得膜層最優(yōu)性能。關(guān)鍵詞
2、：多弧離子鍍；Tin33AIo．67N；靶電流中圖分類號(hào)：TGI74文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A文章編號(hào)：1001．3814(2012)22．0151．02EfectsofTargetCurrentonSurfacePatternandPropertiesofTi啷AFilmsbyMulti-arcIonPlatingZ】NGHuixia，Z】Hongwei，F(xiàn)ENGGuangguang3，LULong(1．CollegeofMechanicalEngineering，HuaihaiInstituteofTechnology，Lian
3、yungang222005，China；2．JiangsuLvyuanEngineeringDesignResearchCo．，Ltd．，Lianyungang222000，China；3．DepartmentofMaterial，JiangsuUniversityofScienceandTechnology，Zhenjiang212003，China)Abstract：Ti∞loNfilmwaspreparedbymulti—arcionplatingtechnologywithdiferenttargetcurren
4、t．Theefectsof．67targetcurrentonthesurfacepaRem，thickness，adhesions~engthandvickershardnessofTi0．33A10．67Ncoatingwereanalyzed．Thebesttargetcurrentparameterswithinthescopeoftheexistencewereobtained．Keywords：multi-arcionplating；Ti03燦7N；targetcurrent．齒輪的失效形式多種多樣【】。表面
5、強(qiáng)化技術(shù)是表1試驗(yàn)設(shè)備總表一覽Tab．1Equipmentsusedintheexperiment改善齒輪失效的有力措施，并日益成熟，其中具有良設(shè)備名稱設(shè)備型號(hào)設(shè)備名稱設(shè)備型號(hào)好耐磨和耐腐蝕性能的陶瓷涂層在齒輪表面強(qiáng)化領(lǐng)等離子脈沖滲氮爐LDⅣ【z．5O掃描電鏡JSM．6480域得到廣泛應(yīng)用[4-9]。本實(shí)驗(yàn)運(yùn)用多弧離子鍍復(fù)合技術(shù)，多弧離子鍍膜機(jī)LD．800硬度計(jì)HR．150A在齒輪常用材料40Cr基體上制備Ti。．，Al。．67N膜層，金相顯微鏡EPIPHOT300金相顯微硬度儀HVS．1000通過改變靶電流來探討靶電流
6、工藝參數(shù)對(duì)多層復(fù)合膜層表面形貌及性能的影響。靶材的元素成分及致密度都對(duì)膜層的質(zhì)量有很大的影響。本實(shí)驗(yàn)采用鈦鋁成分配比為1：1、1：2、1：1實(shí)驗(yàn)設(shè)備及方法3的TiAl合金靶及純度為99．99％的純Ti靶。本試驗(yàn)中各工序所使用的設(shè)備及型號(hào)見表1。試離子滲氮后采用多弧離子鍍技術(shù)對(duì)試件表面進(jìn)驗(yàn)中離子氮化與離子鍍?cè)囼?yàn)所采用的試樣為外徑行鍍膜處理。54nlnl、內(nèi)徑38mill、高10mm的圓環(huán)試件。摩擦工2實(shí)驗(yàn)結(jié)果及分析作面的粗糙度為0．4Ixm，其他面粗糙度為0．8Ixm。2．1靶電流對(duì)膜層表面形貌的影響在掃描電鏡下觀察不同的
7、靶電流下膜層的表面收稿日期：2012—05．02基金項(xiàng)目：重慶大學(xué)機(jī)械傳動(dòng)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室2009年度開放基金資形貌。結(jié)果如圖1所示?？梢?。隨合金靶電流的增加，助項(xiàng)目(SKLMT．KFKT．200907)：江蘇省海洋資源開發(fā)研究膜層表面的大熔滴增多．在膜層沉積過程中，靶材表院2011年度開放基金資助項(xiàng)目fJSIMRI1C27)面并不能形成均勻的電流分布，靠近弧斑處能獲得作者簡(jiǎn)介：張會(huì)霞(1975一)，女，江蘇連云港人，講師，碩士，主要研究方向較高的電流密度，而距弧斑較遠(yuǎn)的位置，其電流密度是機(jī)械設(shè)計(jì)、摩擦學(xué)：電話：0518．
8、8589．5327；E．mail：hxzhang201l@l63．corn相應(yīng)減小。合金靶電流較小時(shí)，在沉積過程中容易熄《熱加工工藝》2012年第41卷第22期151材料熱處理技術(shù)~Matedal&HeatTreatment2012年11月梁亞紅，竹濤，馬廣大．溶膠一凝膠法制備納米Ti()2薄膜的研保，2007，27
